GBT 14603-2009 电子工业用气体 三氟化硼.pdf

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ICS71.100.20
G86
中华人民共和国国家标祖
GB/T14603-~-2009
代替GB/T14603~1993
电子工业用气体三氟化硼
Gases for electronic industry-boron trifluoride
2009-10-30发布
2010-05-01实施
中国国家标准化管理委员会发布
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GB/T14603--2009
前言
本标准代替GB/T14603一1993《电子工业用气体三氟化硼》。
本标准与GB/T14603-1993相比主要区别如下:
修改三氟化硼的适用范围(GB/T14603--1993的第1章,本版的第1章);
修改规范性引用文件(GB/T14603-1993的第2章,本版的第2章);
修改三氯化硼的技术指标内容(GB/T14603-1993的第3章,本版的第3章);
增加三氧化硼采样安全要求(本版的4.1.2);
一修改氮、氧(氩)含量的分析方法(GB/T14603-1993的4.2,本版的4.3);
修改二氧化硫含量的分析方法(GB/T14603-1993的4.2,本版的4.6);
一增加一氧化碳、四氟化碳含量的分析方法(见本版的1.3);
修改标志、包装、贮运及安全(GB/T14603-1993的第6章、第7章,本版的第5章);
增加资料性附录A,并把测定三氟化硼中的氮、氧(氯)、二氧化碳和四氟化碳含量的色谱切割
流程图雪入该附录(见附录
本标准的附录A为资料性附录。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提山。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会归ロ。
本标准起草单位:核工业理化工程研究院、大连光明化工研究院、西南化工研究设计院。
本标准主要起草人:邓建平、倪志强、孙福楠、周鹏云。
本标准所代替标准的历次版本发布情况为
GB/T146031993
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CB/T14603~-2009
电子工业用气体三氟化硼
1范围
本标准规定了电子工业用三氟化硼的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、败运及安全要求。
本标准适用于以氟气和硼单质为原料,采用直接化合的方法制得并经过纯化制取的三氟化硼;和以
氟硼酸钠为原料热分解法制得并经过纯化制取的三氟化硼。主要用于半导体器件和集成电路生产的离
予注人和掺杂
分子式:BF3
相对分子质量:67.805(按2005年国际相对原子质量计算)。
2规范性引用文件
下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件,其随后所有
的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本标准,然而,鼓励根据本标准达成协议的各方研究
是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件,其最新版本适用于本标准。
GB190危险货物包装标志
GB/T3723工业用化学产品采祥安全通则
GB7144气瓶颜色标志
GB11640铝合金无缝气瓶
GB14194永久气体气瓶充装规定
气瓶安全监察规程
危险货物运输规厕
技术要求
三氟化硼的质量应符合表1和表2的要求。
注:质量保证期为18个月。
表1直接反应法制备的产品技术指标
项目
指标
三氟化硼(BP2)纯度(摩尔分数)/10-2
99.999
99.995
氮(N2)含量《摩尔分数)/10-6
20
氧十氯(O2+Ar)含量(摩尔分数)/10-6
≥<<
10
二氧化碳(CO2)含量(摩尔分数)/10-6
四氟化碳(CF)含最(摩尔分数)/10-6
四氟化硅(SiF4)含量(摩尔分数)/10
10
总杂质含量(摩尔分数)/105
≤
10
颗粒
供需双方商定
供需双方商定
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GB/T14603-2009
表2热分解法制备的产品技术指标
项目
指标
三氟化硼(BF3)纯度(摩尔分数)/102
99.995
氮(N2)ト氧(O)+氩(A)含量(摩尔分数)/10-
氧化碳(CO2)含量(摩尔分数)/10-0
氧化硫(SO2)含量(摩尔分数)/10°
10
四氟化硅(SiF4)含量(摩尔分数)/10
硫酸盐(SO2-)含量《摩尔分数)/10-6
总杂质含量(摩尔分数)/10
50
颗粒
供需双方商定
4试验方法
4.1抽样、判定和复強
4.1.1三氟化硼产品应逐一检验并验收。当检验结果有任何一项指标不符合本标准技术要求时,则判
该产品不合格。
4.1.2三氟化硼采样安全应符合GB/T3723的相关规定。
三氟化硼纯度
4.2.1直接反应法制备三氟化硼纯度按式(1)计算
更=100一(1キ更2+西。+西2十重5)×104………
式中
5一一一三氟化硼纯度(摩尔分数),10~2
1一氮含量(摩尔分数),10
画2一氧十氩含量(摩尔分数),10-°
氧化碳含量(摩尔分数),10
重4一四氟化碳含量(摩尔分数),10-°;
。四氟化硅含量(摩尔分数),10
4.2.2热分解法制备三氟化硼纯度按式(2)计算
⑤=100-(の+2+。+)×10-4
式中
更-一三氟化硼纯度(摩尔分数),10~2;
画1空气含量(摩尔分数),10°
氧化硫含量(摩尔分数
四氟化硅含量(摩尔分数),106
の一硫酸盐含量(摩尔分数),10
氮、氧(氩)、二氧化碳、四氟化碳的测定
4.3.1仪器
采用配备带切割装置的氮离子化检测器气相色谱仪测定三氟化硼中的氮、氧(氩)、二氧化碳和四氟
化碳。气相色谱流程示意图见附录A的图A.1。
检测限的摩尔分数:0.1X10
3.2原理
电子与稀有气体碰撞形成亚稳态原子,该亚稳态原子的激发能传递到样品分子或原了;如果样品分
子或原子的电离电位(11)小于亚稳态原子的激发电位,样品将通过碰撞被电离,使离子流增大。
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