面向半导体设备的Interface A通信方法研究.pdf

第5期
杌槭设计与制造
2012年5月
Machinery Design Manufacture
文重编号:1001-3997(2012)05-0273-02
面向半导体设备的 Interface A通信方法研究
叶家发12刘明哲2
(1中国科学院研究生院,北京100039)(2中国科学院沈阳自动化研究所,沈阳110016
Research on communication method of interface a for semiconductor equipment
YE Jia-fal2, LIU Ming-zhe?
( Graduate University of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100039, China)
(Shenyang Institute of Automation, Chinese Academy of Sciences, Shenyang 110016, China
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〔摘要】针对半导体设备エ厂自动化的设备数据采集需求,给出了一种基于 Interface A标准的
通信方法,该方法构造了设备的通用模型,设计了设备通信的安全认证和授权机制,并给出了采集设备
实时数据的方法,可满足エ厂自动化系统对半导体设备的数据采集和设备控制需求。
关键词:半导体设备; Interface A;数据采集;工厂自动化
Abstract According to the requirement of equipment da acquisition of semiconductor manufactur-
ing equipment in the factory automation, this paper present a communication soltion based on SEMI In-
terface A standards. The method, constructing the common equipment model of semiconductor equipment, 3
designing secure authentication and authorization mechanisms, and giving way to real-time data acquisition
i would meet the requirement of equiment data acquisition and control for semiconductor eguipment in the i
i factory automation.
Key words: Semiconductor equipment; Interface A; Data collection; Factory automation
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中图分类号:TH16文献标识码:A
引言
输XML格式消息,可以允许芯片制造商采集更加复杂且更加有
随着半导体集成电路的生产制造向着300mm晶圆的生产方用的数据,如晶圆加工に艺设备、泵系统监控、化学物质输送监控
向发展,生产者对半导体制造设备的数据需求急剧增加,并且还进等等。这些接口的定义为APC、e- Diagnostic、Run-to-Run等上层
步要求设备支持各种与TJ自动化相关的SEMT国际标准,以及应用客户提供更好的基础。 Interface A通信模型,如图1所示。
一系列“设备工程能力”"( Equipment Engineering Capabilities),如
表1 Interface A优势
SECS/GEM
Interface A
E-诊析数据采集,配方管理,故障检测和分类,Run-To-Run控制只支持连接一个用户支持同时连接多个用户
等上层应用。而实现这些应用最重要的因素也是获取各种设备数只有部分自我描述功能,E125标准的元数据可以对各种设备进行描
据。因此,更多更高质量的数据是目前支持设备精确生产制造和
依靠好的帮助文档
述,使得设备具有良好的自我描述能力
E120标准定义了设备各个组成部分的类,描
优化工厂自动生产所急切需要的。SEMI( Semiconductor SECS/GEM数据相对平淡述设备的数椐能凊晰直观地体现出设备组成
Equipment and Materials International)制定了半导体设备通信标数据在 SECS/GEM消 Interface A使用XML.来存储数据,简单,通用
准 Interface A,用于提高半导体生产制造中生产者与工厂设备之息中格式相对固定
性强
间的通信能力,为设备数据采集提供便利的通信接口,帮助生产
缺乏安全机制E132标准设计了设备认证和授权管理
者状取各种所需的数据。针对生产大尺寸晶园时对半导体设备数
应用客户
据采集更高的需求,结合对 SEMI Interface A国际标准的研究,提
出了一种基于 Interface A标准的通信方法。
数锅发布(SOAPHTTP
2 Interface A标准介绍
存储安全管理
E132
E125
2.1标准协议
接名邀据描述」数橳采集存储
Interface A包括四个标准协议规范:E120: Common Equip
通用设备模型
Mode,通用设备模型。E125: Equipment Self Description设备自我描
nterface A通信模型
映射的SEMI标准
述。E132:. Equipment Client Authentication/Authorization设备客
户端认证授权。E134: Data Collection Management数据采集管理。
?半导体被备?
2.2 Interface A通信优势
图1 Interface A通信模型
相比 SECS/GEM通信方法,其优势如表1所示
3 Interface A通信设计
2.3标准模型
3.1构造设备模型
InterfaceA标准的通信技术采用SOAP/HTTP协议方式来传
设备模型是 Interface A通信的重要创新,它可以用于形象
次来稿日期:2011-07-08女基金项目:国家科技重大专项项目(2009-10)