GBT 21287-2007 电子工业用气体 三氟化氮.pdf

IS71.100.20
G86
中华人民共和国国家标准
GB/T21287-200
电子工业用气体三氟化氮
Gases for electronic industry-nitrogen trifluoride
2007-12-14发布
2008-07-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
中国国家标准化管理委页”会发有
GB/T21287-2007
目次
前言…
1范围………………1
2规范性引用文件
+.==+
3要求
4试验方法
5包装、标志、贮遇及安全…
附录A(资料性附录)切割气路流程示意图……………………に…
对录B(资料性附录)测定三氟化氮中一氧化碳的气路切换装置流程示意图…8
附录C(规范性附录)可水解氟化物和总酸度的預定
附录D(资料性附录)三氯化氮的化学性质和物理参数
12
GB/T21287-207
前
本标准根据SEMI(半导体材料和设备国际组织)的《三氟化氮》( SEMI C3.39-0304)2004年版标
准,并结合我国三氟化氮生产的实际情况割定。
本标准的附录C为規范性附录,附录A、附录B、附录1D为资料性附录。
本标准由全国半导体材料和设备标准化技术委员会气体分会(SAC/TC203/SC1)提出并归口。
本标准由湖北沙降达天门农化有限责任公司、中国船舶重工集团公司第七一八研究所负责起草。
本标准参加起草单位有:核工业理化研究院特气中心、中核红华特种气体有限公司、慕明化工研究
院、国家标准物质研究中心、西南化工研究设计院等。
本标准主要起草人:余启高、宋再卿、刘新明、戴龙侠、方治文、牛学坤、金美兰、任清贵、王少楠
本标准为首次发布。
GB/T21287-2007
电子工业用气体三氟化氮
1范
本标灌规定了瓶装电子工业用气体一一三氟化氮的技术要求、试验方法、验规则及包装、标志、运
输、储存和安全。
本标准适用于电子工业用三氟化氮。它主要用作电子工业中等离子体工艺等离子体刻蚀剂和化学
气相沉积的清洗剂。
分子式:NF
分子量:71.0019(按2001年国际相对原子量)
2规范性引用文件
下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件,其随后所有
的修改单(不包括駒误的内容)或修订版均不适用于本标准,然而,鼓励根据本标准达成协议的各方研究
是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件,其最新版本适用于本标准。
GB190危险货物包装标志
GB/T3723工业用化学产品采样安全通则(GB/T3723-1999, idt ISO3165:1976)
GB5099钢质无缝气瓶(GB5099-1985, neq ISO1405:1983)
GB/T5832.1气体湿度的测定第1部分:电解法
GB/T681气体化工产品采样通则
GB7144气瓶颜色标志
GB14194水久气体充瓶充装规定
气瓶安全监察规程
危险化学品安全管理条例
特种设备安全監察条例
要求
电子工业用气体三氟化氮应符合表1的要求。
表1技术指标
三氧化氢(NF3),10-(体积分数)
99.599.999.9899.9999.99
四短化碳(CF4),10-(体积分数)
1500500
20
(N2),10(体积分数)
≤「700
10
氧加(O2+Ar),10(体积分数
≤「700
3
ー氧化側(C,10(体积分数
000
10
二氧化碳(CO2),10(体积分数)
10
10
氧化亚氢(N2O),10=(体积分数)
10
10
六氟化硫(SF),10-(体积分数
10
可水解氯化物(以HF计)或总酸度,10(体积分数)
水(H2O),10=(体积分数)
GB/T21287-2007
4试崯方法
4.1抽样、判定和复验
4.1.1从同一来源稳定充装的电子工业用三類化氮气体构成一批,每批产品的质量不超过500kg
三類化氮抽样瓶数按表2规定从毎批产品中机抽样。每瓶三化氮构成单独的样品,进行除水分含
量外的各项杂质含量的捡验
表2瓶装三氟化产品抽样表
每批气瓶数
最少抽样气瓶数
2=8
16-25
4.1.2集装格装三類化氮产品按表2规定的批量随机抽样检验,成北验收。当检验结果有任何一项指
标不符合本部分技术要求时,则判该批产品不合格。
4.1.3裙车装
4.1.4当检验结果有一项不符合本标准要求时,则应重新加倍随机抽样并进行复验,复验结果有一项
不符合本标准要求时,则判该批产品不合格。
4.1.5应逐瓶检验水分含量,如果水分含量不合格,则判该瓶产品不合格。
4.1.6取样
根据样品瓶阀选取相应的取样进行取样。取样应当符合GB/T3723以及GB/T6681中的相关
规定,确保所取得的样品具有代表性。
4.2三氟化氮纯度
三化氮纯度按式(1)计算:
中=100一(中。十中:+中+中十。十十中十中十中。)X10………1
式中:
一三類化氮(NF1)纯度的体积分数,10-1
Φ一四類化碳(CF)的体积分数,10-
中2一复(N2)的体积分数,10
中一氧加氨(O+Ar)的体积分数,10
氧化碳(CO)的体积分数,10
一二氧化碳(CO2)的体积分数,10-
p一氧化亚氮(N2O)的体积分数,10-
中:一六氟化硫(SF4)的体积分数,10
中,一可水解氟化物(以HF计)的体积分数,10
p一水(HO)的体积分数,10。
4.3氯、氧()、四氟化碳、氧化亚紙、二氧化碳,六氟化硫含量的测定
4.3.1仪器
采用配备氨离子化测器的气相色谱仪测定三氟化氮中四氯化碳《允许采用热导气相色谱法)、氧
化亚氮、二氧化碳、六氟化硫的含量。当三氟化氮纯度的体积分数不大于99.99%时,允许采用热导气
相色谱仪定三氟化氮中氯、氧(氯)、氧化亚氮、二氧化碳、六類化硫的含量。
以上仪器均应当配备气路切割系統,用于切除样品气中绝大部分的三類化氮。典型的气路切割示