JBT 10075-1999 冷阴极电离真空计技术条件.pdf

DD
中华人民共和国专业标准
ZBV285~84
冷阴极电离真空计技术条件
Specifications of cold cathode ionization gauge
1984-12-10发布
1985-10-01实施
中华人民共和国机械工业部批准
中华人民共和国专业标准
UDC
冷阴极电离真空计
ZBY285-84
技术条件
Specifications tf cld
cathede ionization gauge
本标准适用于测量压强不小于5×10-°Pa(3.8×10~Torr)的潘宁真空计、冷阴极磁控管真空
计和冷阴极反磁控管真空计(以下简称真空计)。
配套使用的冷阴极电离真空规管应符合ZBY286~-84《冷阴极电离真空规管技术条件》的规定。
技术要求
1.1外观
真空计的机箱外壳及零部件的表面处理应良好,标志的文字、符号和标记均应清晰。
机箱尺寸
真空计的机箱尺寸应符合GB3047,1-82《面板、架和柜的尺ず系列》的规定。
1.3工作条件
真空计在下述环境条件和供电电源下应能正常工作
a。周田环境温度为0~+40℃y
b.相对湿度为10~75%(25℃时)y
大气压强为86~108kPa(860~1080 m bar)。
d.电源电压为220±22V,频率为50±2Hz。
1.4耐压性能
1.4.1真空计供电电源端子与机外売之间应能经受频率为50Hx、电压为1kV的正弦交流电历时
1分钟的耐压试验,应无击穿、飞弧现象。
1.4,2真交计规管工作电压输出端子与机箱外壳或接地端子之间应能经受下表中所规定直流电压值
历时1分钟试验,应无击穿、飞弧现象。
工作电压(kV)
>08~1
>1~1
>15~2
试验电压(kV)
5
2倍工作电压+1
1.5本底电流
在工作条件下。真空计本底电流值应不大于测量范聞下限放电电流的20%。
1,6最大允许误差
在工作条件下,真空计示值误差的误差极限应不超出下述范围:
当压强大于5×10Pa时:-60%~+100%
当压强小于5×106Pa时:-70%へ+200%
1.7稳定性
在工作条件下,真空计示值在1小时内相对变化量不应超过±20%。
1,8输出倍号
当真空计有输出信号时,应满足下述要求
机工业部1984-12-10发布
1985-10-01施
BY285--8
1.8.1真空计模拟直流电压信号范围应符合GB3370-82《工业自动化仪表用模拟直流电压信号
的规定。
1.8.2真空計输出数字信号的编码应采用8
21=-十进制编码,并列出逻辑“1”、“0”
状态的电平值及负载能力。
1.9抗运环境性能
真空计在运输包装条件下,应能符合ZBY002-81《仪器仪表运输、运输贮存基本环境条件及试验
方法》的要求。其中:高温试验选用+55℃y低温试验选用-40Cy跌落高度为250mm。
试验后,真空计仍应符合本标准1.4~1,7的要求。
2试验方法
2.1真空计是否符合1,1的要求,用目测方法进行检查。
2。2真空计是否符合12的要求,用钢板尺或卷尺进行检查。
压的值开始缓慢增加到规定值。试验电压的误差不应超过±10%,?试验电压从最小或从不超
2。3真空计是否符合1,4的要求,应在工作条件下进行耐压试验,试验电压从最小或从不超过工作电
2。4真空计是否符合1,5的要求,测试用的接线方法如图1所示。
TY
220V
图1本底电流的測试
图中:TYーー自耦调压器,0~250V
Ⅴ一1級交流电歴表,0~250Vy
D一被检真空计的控制单元和指示单元
冷阴极电离真空规管
试验在相对湿度为75%(25℃时)的大气条件下进行。试验条件按GB2423,3-81《电工电子产品
基本环境试验规程试验Ca:恒定湿热试验方法》的规定,达到规定湿度2天后进行测试。
测试时,真空计的供电电压V为242V,规管处于大气状态。接通电源30分钟后,真空计指示单元
指示的电流值即为本底电流值。
2.5真空计是否符合1,6的要求,采用下列方法和装置进行检查
2.5.1最大允许误差分别在供电电压为242V和198V的条件下进行测试。
2。5。2校谁采用动态直接比较法进行。它的基本原理是将待校准的真空计和标准真空计接在同一校准
室上,该室所需压强可以通过动态平衡调节取得。
2.5。3校准装置如图2所示。它主要由下列几部分组成
ZBY285-84
图2.校准装置示意图
图中:1一校准室」
被校真空计y
3一一标准真空计y
监测真空计
微调阀
6一一氮气源
7一一抽气调节阀。
2.5,3。1若干个测量范互相衔接的标准真空计(或经校准过的真空计)。当压强大于5X10~6Pa
时,其误差不超出±10%;当压强小于5X10~5Pa时,其误差不超出±40%。
2.5。3,2动态平衡真空系统应满足下述条件
a。校准室容积不小于所有连接到校准室上规管总容积的50倍
b。校准室的残余压强不得超过校准压强下限的2%
c。动态注入校准室的气体分子至少与其器壁碰撞一次后方能进入规管;
d。校准室与规管连接的过渡管道流导不小于1X10-2m3?S-1
监测校准室中压强的电离真空计。
2.5.34校准用的气。其纯度不低于99.9%。
2.5。3。5温度计(-10~+50℃;误差限±1℃)。
2.5.4校准前,规管必须按产品规定的方法通电老化或除气处理。
2.5,5校准按压强上升程序进行。当监测真空计指示校准室内压强读数在3分钟内变化小于1%后,
同时记下标准真空计和被检真空计的示值。
2。.5,6每个量级压强示值均匀分布选择读数点不少于3点,进行整个测量范園的校准
257真空计每一校准点相对示值误差按下式计算