JBT 10076-1999 冷阴极电离真空规管技术条件.pdf

D
中华人民共和国专业准
06-97
ZY1286-84
冷阴极电离真空规管技术条件
Specifications of cold cathode ionization vaouum gauge head
1984-12-10发布
1985-10-01实施
中华人民共和国机械工业部批准
中华人民共和国专业标准
UDC
冷阴极电离寘空规管技术条件
ZBV286-84
Specifications of cold cathode
ionization vacuum gauge head
本标准适用于测量压强不小于5×10“Pa(3.8x10~Torr)的潘宁型、磁控型和反磁控管型冷
阴极电离真空规管(以下筒称规管)。
1技米求
外观
a。玻璃规管外壳无裂纹或明显的气线、气泡等缺陷
规管与真空系统连接部分表面不应有影响密封性能的刘伤;
规管工作磁铁与管売之间应有调整和固定装置
规管外壳与管基之间的固定应牢固
e。规管绝缘件表面应清洁无污染
规管电极装架应牢固、无松动等现象
9。规管应有明显、清晰的标志。
,2连
规管与真空系统连接部分应满足下述要求
a.连接管道为玻璃管时应采用硬质玻璃y
圆形管道连接时,管道外径应为15,5±0。5
采用法兰连接时,法兰尺寸应符合有关标准的规定。
工作火气条件
规管在下述条件下应能正常工作
a。周围环境温度为0~+40℃y
。相对湿度为10~75%(25℃时)
c。大气压强为86~108KPa(860~1080mbar)。
密封性
规管对氨气的漏率应为
Q≤1×10~4P
(1)
式中:Q一漏率,Pam3?S
P一规管测量范围的下限值,Pa。
5绝缘性能
在工作大气条件下,规管阳极和阴极之间的绝缘电阻应为:
R>10
(2)
式中:R一绝缘电阻,S2
V一规管工作电压,V
机被工业部1984-12-10发布
1985~-10-01施
Z8Y286-84
P一规管测量范图的下限值,P
S一规管测量范調下限灵敏度,A/Pa。
6故性
单个规管特性曲线对标准曲线的相对压强偏差应不超出下述范围
当压强大于5×10“3Pa时:-50%~+70%
当压强小于5×10Pa时:-60%~+150%。
7激发时间
规管在测量范围的下限值附近时,从加上工作电压到开始正常放电之间的时间间隔应不大于30秒
1.8稳定性
规管在测量范内由双值现象引起的特性曲线对平均值的相对压强偏差不应超出土20%。
9抗运输环境性態
规管在运输包装条件下,应能符合ZBY002-81《仪器仪表运输、运输贮存基本环境条件及试验方
法》的要求。其中:高温试验选用+55℃;低温试验选用一40℃;跌落高度为250mm。
试验后,规管仍应符合本标准1,1a、b、d、f,1,4和1,6的要求。
2试验方法
2.1规管是否符合11的要求,用目测或相应的工具来进行检查。
2。2规管是否符合1,2的要求,用观察或相应的检测工具来进行检查。
2.3规管是否符合1,4的要求,在相应灵敏度的氨质谱检漏仪上进行检查。
24规管是否符合15的要求,使规管处于大气状态,用相当于规管工作电压的兆欧表或其它绝缘电
阻测量仪器,分别在下述条件下直接测量阳极和阴极之间的绝缘电阻:
a。温度:+40℃。试验条件按GB2423,2-81《电工电子产品基本环境试验规程试验B:高温
试验方法》中22,3条的规定,达到规定温度0.5小时后进行测试。
b。湿度:75%(25℃时)。试验条件按GB2423,3~81《电工电子产品基本环境试验规程试验
Ca:恒定湿热试验方法》的规定,达到规定湿度2天后进行测试。
25规管是否符合1.6的要求,采用下列方法和装置进行检查:
2.5。1计算单个规管特性曲线的压强偏差(与标准曲线比较),按下式进行:
A
X100
式中:△一相对压强偏差,%;
A一选定点压强值,Pas
A。一标准曲线对应的压强值,Pa。
每个量级选点不少于3点
2.5,2校淮采用动态直接比较法进行。它的基本原理是将待校准的真空计和标准真空计接在同一校准
室上,该室所需压强可以通过动态平衡调节取得。
2.5.3校准装置如下图所示。它主要由下列几部分组成:
2.5。3.1若干个测量范围互相衔接的标准真空计(或经校准过的真空计)。当压强大于5×10~°Pa
时,其误差不超出士10%;当压强小于5×105Pa时,其误差不超出±40%
ZBY286-84
校准装置示意图
图中
一校准室
2一一被校真空计
标准真空计
4一一监测真空计y
微调泗y
6一一氮气源y
7ー一抽气调节阀。
2。5。3。2动态平衡真空系统应满足下述条件
a。校准室容积不小于所有连接到校准室上规管总容积的50倍;
校准室的残余压强不得超过校准压强下限的2%y
动态注入校准室的气体分子至少与其器壁碰撞一次后方能进入规管
d.。校准室与规管连接的过渡管道流导不小于1×10-2m3S1。
2。53。3监测校准室中压强的是电离真空计。
25.3,4校准用的氮气。其纯度不低于99,9%。
2.53。5温度计(-10~+500;误差±1℃)。
校准时,规管配用稳定的真空计控制单元。其工作电压误差不超过±1%;其放电电流读数采
用精确度等级不低于0,5级的电流读数装置。
2.5。5校准前规管必须按产品规定的方法通电老化或除气处理。
2。5。6校准按压强上升程序进行。当监测真空计指示校准室内压强读数在3分钟内変化小于1%后,
同时记下标准真空计示值和被检规管的放电电流读数。
2。6规管是否符合1.7的要求,在真空系統上被检规管抽至规定的压强下限值附近,关闭真空计控制
单元0。5小时后再打开。用秒表测得激发时间。
测试时,允许使用配套控制单元中的辅助激发装置。真空系统的真空度监测可以采用电离真空计,