JB-T7463-2005_热阴极电离真空计.pdf

ICS23.160
N68
中华人民共和国机械行业标准
JB"T7463--2005
代替JB/T7463--1994
热阴极电离真空计
Hot cathode ionization gauge
2005-05-18发布
2005-11-01实施
中华人民共和国国家发展和改革委员会发布
JB/T74632005
目次
前言
范围
2规范性引用文件
4甲·d静?t
3术语和定义
4技术要求
甲甲甲节4中中导中中中甲甲甲甲中=出点q甲甲中P甲甲中甲甲甲甲学中中·由由甲甲中中中
4.1工作环境
4.2外观
4.3电参数的示值误差
4.4真空计压力示值误差
4.5电参数稳定性
4.6使用安全性能
中串中
4.7输出信号.
4.8输出接口与通信接口
4.9抗运输环境性能…
5试验方法
5.1外观试验
B
5.2电参数示值误差试验
5.3真空计压力示值误差采用图3所示等效离子流法进行试验.
5.4电参数稳定性试验.
3456
55使用安全性能试验.
自自D上中中口P即甲甲
5.6输出信号试验
5.7输出接口与通信接口试验
5.8抗运输环境性能试验
甲甲·由由q4甲pdr甲
6检验规则
6.1通则
6.2出厂检验
6.3型式检验
7标志、包装、贮存
7.1标志
7.2包装
导要导哪中命h春P甲D导甲争申自D静厚D4 BLLAL.P看甲甲B
7.3贮存
●单中
图1发射电流的测试电路
图2加速极对阴极电位的测试电路
图3真空计压力示值误差测试电路
图4发射电流随压力变化稳定度的测试电路
甲P?号号DD上甲D上中D中中上●4PD专●D中 IPRBPAE●→号自静自甲甲甲p甲甲P导甲邮事·每
JBT7463-2005
前言
本标准代替JB/T7463~-194《热阴极电离真空计
本标准与JB/T7463-1994相比,主要变化如下:
由于原标准的适用范围不包含数显式真空计,存在缺陷,本标准增加了数显真空计的相关条款,
对标准中技术要求、试验方法等,进行了相应的调整与修订
调整了规范性引用文件内容
将原标准5.3标志、包装和贮存调整为独立的第7章
本标准由中国机械工业联合会提出
本标准由全国真空技术标准化技术委员会( SAC/IC18)归口。
本标准负责起草单位:北京北仪创新真空技术有限责任公司、成都正华电子仪器有限公司、沈阳真
空技术研究所。
本标准参加起草单位:成都瑞普电子仪器公司。
本标准主要起草人:徐自勇、张雅静、王砚龄、辜国征、周祖政、陈健
本标准所代替标准的历次版本发布情况为:
ZBY2271984、JBT7463~-1994
JB/T74632005
热阴极电离真空计
1范围
本标准规定了热阴极电离真空计(电离规管标准另订)的技术要求、试验方法、检验规则以及标志、
包装和贮存等技术内容。
本标准适用于与中真空、高真空、超高真空热阴极电离规管(以下简称规管)配套使用的热阴极电
离真空计(以下简称真空计)。对于进口的同类真空计亦可参照使用。
2规范性引用文件
下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件,其随后所有的
修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本标准,然而,鼓励根据本标准达成协议的各方研究
是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件,其最新版本适用于本标准。
GB/T191包装储运图示标志(GB/T191--2000, egv ISO780:1997)
GB/2829周期检査计数抽样程序及表(适用于对过程稳定性的检验)
GB/T3163真空技术术语
GB/T3369工业自动化仪表用模拟直流电流信号
GBT3370工业自动化仪表用模拟直流电压信号
GB/T6107使用串行二进制数据交换的数据终端设备和数据电路终接设备之间的接口(idt
EIA/TIA-232-E)
GB/T6587.1电子洲量仪器环境试验总纲
GBT11014平衡电压数字接口电路的电气特性( eqv ELA RS-422A:1978)
GB/T15414仪器仪表包装通用技术条件
JB/T9329仪器仪表运输,运输贮存基本环境条件及试验方法
EIAATA-574使用串联二进制数据交换的数据终端设备和数据电路终接设备之间的9插针非同
步接口
3术语和定义
GB/T3163确立的以及下列术语和定义适用于本标准
真空计 vacuum gauge
测測量低于一个大气压的气体或蒸汽压力的仪器。
注:某些常用的真空计实际上不直接测量压力,而测量在规定条件下与压力有关的某些其他物理量。
3.2
灵敏度系数 sensitivity coefficient
对于一给定压力,真空计指示的读数变化,除以对应压力变化。
注:某些真空计灵敏度系数与气体性质有关,在这种情况下灵敏度通常指氮气而言。
3.3
热阴极电离真空计 hot cathode ionization gauge
通过热阴极发射电子使气体电离的一种电离真空计。