JJG 462-2004 二等标准电离真空计.pdf

中华人民共和国国家计量检定规程
JJG452-2004
二等标准电离真空计
Secondary Standard Ionization Vacuum Gauges
2004-09-21发布
2005-03-21实施
国家质量监督检验檢疫总局发布
JG462~-2004
二等标准电离真空计检定规程
8JG452-2004
Verification Regulation of Secondary
8代替JG-462-86
Standard Ionization Vacuum Gauges
本规程经国家质量监督检验检疫总局2004年09月21日批准,并自
2005年03月21日起施行。
归口单位:全国压力计量技术委员会
主要起草单位:中国计量科学研究院
大连市计量检定测试所
参加起草单位:北京兴华真空仪表厂
本规程委托全国压力计量技术委员会负责解释
JJG462-2004
本规程主要起草人:
于红燕(中国计量科学研究院)
赵士燕(中国计量科学研究院)
曲传民(大连市计量检定测试所)
参加起草人:
徐自勇(北京兴华真空仪表厂)
JG462--2004
目录
范围
2概述…
计量性能要求
3.1控制单元
3.2示值检定
(((
4通用技术要求
+444·4444导4+单444甲44+甲年甲+=44=aam=。
4.1控制单元……………………
222
4.2规箐
5计量器具控制……
5.1检定条件
=。==。=====
5.2检定项目…
5.3检定方法
5.4检定结果的处理
7)
5.5检定周期
附录A检定证书(内页)格式……
===aa====·
附录B检定结果通知书(内页)格式
0
附录C检定记录单格式…
二等标准电离真空计检定规程
1范
本规程适用于测量范为(5×10-4~1x10-)Pa的二等标准电离真空计的首次检
E、后续检定和使用中检验。
2概述
等标准电离真空计由控制单元和标准规管(以下简称规管)组成。
二等标准电离真空计的工作原理(图1)是基于一定条件下待测气体压力n与气体
的离子流1成正比,计算公式如下。
1
式中p一待测气体压力,Pa
S一规管系数,Pa-
l:一收集极离子流,A
发射电流,A
图1电离真空计工作原理图
V.一加速极对阴极中心点电压;V一阴极中心点对地电压;1。一发射电流
1一收集极离子流;A一加速极;F一阴极;C一收集极
当检定规管系数时,可把公式(1)写成
式中
标准压力,Pa。