JCT 179-2011 透明石英玻璃坩埚.pdf

ICS81.040.30
Q35
备案号:34411-2012
JC
中华人民共和国建材行业标准
JC/T179-2011
代替JC/T179-1981,JC/T226-198
逶明石英玻璃坩埚
Transparent quartz crucibles
2011-12-20发布
2012-07-01实施
中华人民共和国工业和信息化部发布
JC/T179-2011
本标准按照GB/T1.1-2009给出的规则起草。
本标准代替JC/T179-1981《QSG1、QSG2透明石英玻璃坩埚》和JC/T2261981《QSG3透明石英
玻璃坩埚》。与JC/T179-1981和JC/T226-1981相比,除编辑性修改外主要技术变化如下:
本标准将JC/T179-1981和JC/T226-1981进行合并;
一一增加了术语和定义(见第3章)
增加了产品分类(见第4章)
一修改了对QSG1、QSG2、QSG3石英坩場十三种杂质元素总含量的要求(见5.3.1,1981年版的第
1章
增加了检验规则(见第7章);
增加了对标志、包装、运输和贮存的要求(见第8章)。
本标准由中国建筑材料联合会提出。
本标准由全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会(SAC/TC447)归ロ。
本标准主要起草单位:中国建筑材料检验认证中心、中国建筑材料科学研究总院。
本标准主要起草人:张浩运、吴洁、杨学东、郑丽英。
本标准所代替标准的历次版本发布情况为
JC/T179-1973、JC/T179-1981
JC/T226~-1981。
JC/T179-2011
透明石英玻璃坩埚
范
本标准规定了SG1、QSG2和QSG3三种透明石英玻璃坩埚的术语和定义、分类、技术要求、试验方
法、检验规则以及标志、包装、运输和肥存。
本标准适用于半导体工业生产单晶硅用的透明石英玻璃坩埚。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅所注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包插所有的修改单)适用于本文件。
GB/T3284石英玻璃化学成分分析方法
GB/T5949透明石英玻璃气泡、气线检验方法
GB/T10701石英玻璃热稳定性试验方法
JC/T1048-2007单晶硅生长用石英坩埚
3术语和定义
JC/T1048界定的术语和定义适用于本文件。
4分类
透明石英玻璃坩埚分为三类
QSG1高纯透明石英玻璃坩埚;
QS2透明石英玻璃坩埚;
0SG3内涂层高纯透明石英玻璃坩埚。
5技术要求
规格尺寸
5.1.1SG1、QSG2透明石英玻璃坩埚的形状和规格尺寸及偏差符合图1及表1的规定
JC/T179--2011
说明
一厚度:
一外径;
R一底半径
hー一高度
图1透明石英玻璃坩埚
表1QSG1、QSC2透明石英玻璃坩埚规格尺寸及偏差
单位为毫米
外径
高度
底半径
厚度范围
同一横截面的厚度公差
h
D-1
2.0~2,8
0.3
802
D-2
0~2.8
2
106
2.0-2.8
0.3
75土2
2.0~2.8
0.3
130#
110±2
2.0~2.8
0.4
注:外径D>130m的坩埚的规格尺寸及偏差由供需双方商定。
5.1.2sG3内涂层高纯透明石英玻璃坩埚的形状和规格尺寸及偏差符合图1及表2的规定。
JC179~-2011
表2QSG3内涂层高纯透明石英玻璃坩埚规格尺寸及偏差
单位为毫米
外径
高度
底半径
厚度
同一横截面的厚度公差
D
H
60士2
D-1
2,0士0.5
0.3
D-1
90
70土2
2.0土0.5
0.3
100
80士3
2.3±0.5
D-2
90土3
2.3士0.5
0,3
14
75士3
D-2
2.3±0.5
0.3
2
130
D-2
110士3
2.5士0.5
0.4
2
5.2外观质量
5.2.10SG1、QSG2坩埚按外观质量分为一级和二级,并应符合表3的规定。
表3QSG1、QSG2坩埚外观质量
外观指标
项目
级
二级
弧度部分
0.1~0.2
0.3~0.4
直径/mm
气泡
直线部分
0.1~0.3
0.3~0.7
允许数量/(个/100cm)
≤2
≤4
丝状长径/m
0.5~3.0
1.0~7,0
气泡群
点状直径/m
0.3~-2.0
0.5~3.0
允许总数/(个/100cm)
≤5
≤8
弧度部分
14
长径/
暗
直线部分
1~3
允许数量/(条个/100cm)
≤2
≤4
丝状长径/m
0.1~1.0
0.2~1.5
色斑
点状直径/m
0.1~0.3
0.2~-0.5
允许总数/(个/100cm)
≤2
≤4
痕直径
不允许
≤13
痕
痕深度/m
不允许
≤0.3
掀痕
D100mm以下坩埚
≤2
数量
不允许
D101m~D130mm坩埚
≤3