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QSG3
透明石英玻璃坩埚本标准适用于半导体工业拉制单品用的高纯透明
石英玻璃坩埚。
本坩埚采用天然石英熔制成坏体,并在其内表面涂一层高纯
人造石英玻璃层。
技术要求
物理、化学性能指标
(1)化学成分
a.内涂层化学成分
铝、钙、镁、钛、铜、铁、钻,镍、锰、硼、钾、钠、理十三个杂质元素的总含
量不得大于0.001%
其中:铝≤5×10[-4]%;
铜≤0.1×10[-4]9%6
铁≤0.5×10[-4%:硼≤0.1×10[-43%
钾≤1×10[-4]9%
钠≤1×10[-4]%。
b.坩埚坏体化学成分
铝、钙、镁、钛、铜、铁、钻、镍、锰、硼、钾、钠、锂十三个杂质元素的总含
量不得大于0.01%。
其中:铝≤60X10[-43%;铜≤0.1×10[-4]9%
铁≤5×10[-4]%:硼≤0.3×10[-4]%
钾≤4×10[-4]%:钠≤4×10[-4]9%
(2)热稳定性
试样在1100℃至20℃温度急变下试验三次,不产生裂纹。
(3)抗结晶性
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试样在1200℃温度下恒温半小时,不允许出现直径大于3毫米的析晶白点,0.5~
3毫米的析晶白点,每100平方厘米不得超过10个
(4)涂层厚度应均匀,折合重量应符合表1规定。
表1
外径D
涂层重量
外径D
涂层重量
臺米
克
毫米
克
06
3.5
114
00
4.(0
130
7.(0
2.外观指标
(1)坩埚坏体部分(见表2)。
直径
度部分0
0.3一0.4
气泡毫米
线部分0.3-0.7
允许数量(个/厘米[2])
≤6
长径
弧度部分
1
暗疤毫米
直线部分
允许数量(条/100厘米[2])
≤4
丝状长径(毫米)
点状直径(臺米)
0.2-0.8
色斑允许总数(个/100厘米[2])
≤4
透明颍柆允许数量(个/100厘
≤30
米2)
波纹(毫米)
0.3
注:①缺陷宽度小于点状下限的按丝状计。
②非圆形缺陷的直径均按算术平均值计
(2)坩口部不得有缺口,不得有深、宽大于4毫米的表皮崩落。
(3)坩埚内表面不允许有色斑沽污和析晶
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(4)坩埚内表面涂层上每100平方厘米中允许透明颗粒(直径在0.5-0.7毫米)
为10个。
形状与规格尺寸
3.半导体用透明石英坡璃坩埚的形状与规格尺寸应符合下图及表3规定。
表3
同一横截面
外径「高度底半径「厚度范的厚度公差
R
80+0.660±2
D
2.00.5
90+0.670±2
D)-22.0±0.
0.9
100+0.680±3
D
2.3+0.5
0
106+0.690±3
D-2
3+0.5
114+0.6753
2.3+0.5
0.
130+0.6110土3
I)-2
.5+0.5
0).4
.6
、试验方法
4.化学成分
按JC1866-81《石英玻璃原料及制品中微量杂质元素的分析方法》中的规定进
5.热稳定性
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按JC187一7:3《
石英玻璃热稳定性检验方法》中的规定进行。
6.抗结晶性
按JC188-73《石英玻璃抗结晶性检验方法》中的规定进行。
气泡
按JC190一81《
透明石英玻璃气泡、气线检验方法》中的规定进行。