JC T 226-1981 QSG3 透明石英玻璃坩埚.pdf

中华人民共和国建筑材料工业部标准
C/T226-1981
QSG3透明石英玻璃坩埚
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实施
-NNaHo∞上
发布
筑龙网
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《QSG3透明石英玻璃坩埚》
资料编号:JC/T226-1981
兴
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P
长
书
本标准适用于半号体工业拉制单晶用的高纯透明石英玻璃坩埚。
本坩埚采用天然石英熔制成坏体,并在其内表面涂一层高纯人造石英坡璃层
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技术要求
1.物理、化学性能指标
(1)化学成分
a.内涂层化学成分
铝、钙、镁、钛、铜、铁、钻,镍、锰、硼、钾、钠、理十三个杂质元素的总含量
不得大于0.001%。
其中:铝≤5×10[-4]%;
铜≤0.⊥×10[-4]%
铁≤0.5×10[-4]%:硼≤0.1×10[-4]%;
钾≤1×10[-4]%
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钠≤1×10[-4]%。
b.坩埚坯体化学成分
铝、钙、镁、钛、铜、铁、钴、镍、锰、硼、钾、钠、伊十三个杂质元素的总含量
不得大于0.01%。
其中:铝≤60×10[-4]%
铜≤0.1×10[-4]%
铁≤5×10[-4]9%;
硼≤0.3×10L-4396:
钾≤4×10[-4]%
钠≤4×10[-4]%。
(2)热稳定性
试样在1100℃至20℃温度急变下试验三次,不产生裂纹。
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(3)抗结晶性
试样在1200℃温度下恒温半小时,不允许出现直径大于3亳米的析晶白点,0.5~3
毫米的析晶白点,每100平方厘米不得超过10个
(4)涂层厚度应均匀,折合重量应符合表1规定。
表1
外径D
涂层重量
外径D
涂层重量
毫米
毫米
106
114
100
130
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2.外观指标
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(1)坩埚坯体部分(见表2)
项
气直径弧度部分
亳米直线部分
泡允许数量(个/厘米[2])
暗长径弧度部分
毫米直线部分
4
允许数量(条/100厘米[2])
色丝状长径.(毫米
0.2-1.5
点状直径(毫米)
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斑允许总数(个/100厘米[2])
透明颗粒允许数量(个/100厘米2)
波纹(毫米)
注:①缺陷宽度小于点状下限的按丝状计
②)非圆形缺陷的直径均按算术平均值计。
(2)坩埚口部不得有缺口,不得有深、宽大于4毫米的表皮崩落。
(3)坩内表面不允许有色斑沾污和析晶
(4)坩埚内表面涂层上每100平方厘米中允许透明颗粒(直径在0.5-0.7毫米)为
10个。
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