JC T 179-1981 QSGl、QSG2 透明石英玻璃坩埚.pdf

中华人民共和国建筑材料工业部部标准
C/T179-1981
QSG1、QSG2透明石英玻璃坩埚
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1981-03-01实施
发布
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资料编号:JC/T179-1981
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《QSGI、QSG2透明石英玻璃坩埚》
探
长竖
长
感密兰
本标准适用于半导体工业拉制单晶用的透明石英坡璃坩埚.
半导体用透明石英玻璃坩埚有QSG1高纯透明石英玻璃坩埚与QSG2透明石英玻璃坩
馬两种。
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、技术栗求
1.物理、化学性能指衍
1)化学成分
a.QSG1高纯透明石英玻璃坩埚
铝、钙、镁、钛、铜、铁、钻、镍、锰、硼、钾、钠、锂十三个杂质元素的总含量不得
人于0.00196。
其中:铝≤5X10[-4]%
铜≤0.1×10[-41%
铁≤0.5×10[-4]%;硼≤0.1×10[-4]%;
甲≤1×10[-4]9
钠≤1×10[-4]%。
6.0SG2透明石英玻璃坩場
铝、钙、镁、钛、铜、铁、钴、镍、锰、倗、钾、钠、锂十三个杂质元素的总含量不得
大于0.01%。
其中:铝≤60×10[-4]%;
铜≤0.1×10[-4]%
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铁≤5×10[-4]%;
硼≤0.3×10[-4]%
钾≤4×10[-4]%;
钠≤4×10[-4]%
(2)热稳定性
试样在1100℃至20℃温度急变下试验三次,不声生裂纹。
(3)抗析晶性
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试样在1200℃温度下恒温半小时,对于高纯透明石英玻璃坩埚不允许出现直径人于
0.5毫米的析晶白点;对于透明石英玻璃坩埚不允许出现直径大于3毫米的析晶白点,
0.5-3毫米的析晶白点,每100平方厘米不得超过10个
2.外观指标
(1)两种坩埚均按外观指标分为二级(见表1)。
表1
外观指标
级
二级
气直径弧度部分
0.1-0.2
0.3-0.4
毫米直线部分
0.3-0.7
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泡允许数量(个/厘米[2])
气丝状直径(毫米)
0.5-3.0
1.0-7.0
泡点状直径(毫米
0.3-2.0
群允许总数(个/100厘米[2])
≤8
暗长径弧度部分
毫米直线部分
疤允许数量(条/100厘米[2])
≤2
≤4
色丝状长径(毫米)
0.1-1.0
0.2-1.5
点状直径(毫米)
0.1-0.3
0.2-0.5
斑允许总数(个/100厘米[2])
≤2
則痕直径(毫米)
不允许
划痕深度(毫米)
不允许
≤0.3
划痕D100毫米以下坩埚
不允许
痕数量D100-130毫米坩埚
透明颗粒允许数量(个/100厘米[2])
≤10
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波纹(毫米)
≤0.2
≤0
桔皮
不允许
按标样
雾
不允许
不允许
注:i①缺陷宽度小于点状下限的按丝状计
②非圆形缺陷的直径按算术平均值计
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(2)坩埚口部应细磨(内外倒角)成烧圆。不得有缺口,不得有深、宽人于4毫米的表
皮崩落。
(3)坩埚表面光滑整洁,内表面不允许有色斑。
(4)不允许有沾污和析晶。
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