GBT 32652-2016 多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料.pdf

ICS31.030
L90
中华人民共和国国家标准
GB/T32652~-2016
多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料
Fused quartz used for quartz ceramic crucibles for casting polycrystalline silicon
2016-04-25发布
2016-11-01实施
中国国家标准化管理委负会布
中华人民共和国
国家标准
多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料
B/T32652~-2016
中国标准出版社出版发行
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2016年6月第一版2016年6月第一次印刷
书号:155066?1-53852定价14.00元
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GB/T32652~-2016
前言
本标准按照GB/T1.1-2009给出的规则起草。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。
本标准起草单位:国家硅材料深加工产品质量监督检验中心、东海县产品质量监督檢验所、江苏中
腾石英材料科技有限公司、中材高新江苏硅材料有限公司、中国电子技术标准化研究院
本标准主要起草人:薄雷明、程尚栩、栾振祥、张存君、王祥、许振午、李建德、管琪、冯亚彬。

GB/T32652-~-2016
多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料
范围
本标准规定了多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料的技术要求、检验方法、检验规则及标志、包装、运
输和贮存。
本标准适用于太阳能级多晶碓铸锭石英坩埚用熔融石英料。
规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件
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3产品分类
多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料按产品粒度分为熔融石英块料和熔融石英砂料。
4技术要求
4.1外观
熔融石英块料外观应为无色透明或半透明,无异色点。
4.2灼烧失量
熔融石英料灼烧失量应小于0.05%
4.3粒度
熔融石英块料应大于或等于830m;粒径小于830gm的为熔融石英砂料。
4.4二氧化硅含量
二氧化硅含量应不低于99.95%。
4.5杂质元素含量
杂质元素总含量应小于80gg/g,各杂质元素的含量应符合表1的规定。

GB/T32652--2016
表1杂质元素含量
单位为微克每克
杂质元素
允许含量
铝(AD)
钙(Ca)
≤25
铁(Fe)
钠(Na)
15
钾(K)
锂(Li)
钛(Ti)
镁(Mg)
≤4.0
硼(B)
礫(P)
0.5
5检验方法
5.1外观
光照度不低于3001x,距离试样0.5m处目视检査熔融石英料的外观。
5.2灼烧失量
灼烧失量按照GB/T3284的规定进行测定
5.3粒度
粒度按SJ/T10380-2012的规定进行测定。
5.4二氧化硅含量
二氧化硅含量按照GB/T3284的规定进行测定。
5.5杂质元素含量
5.5.1铝、钙、铁、钠、钾、锂、钛、镁、硼元素含量按GB/T3284的规定进行测定。
5.5.2磷元素含量的测定按JC/T2027-2010规定进行。
6检验规则
6.1检验分类
多晶硅铸锭石英坩埚用熔融石英料的检验分为质量一致性检验和型式检验。
6.,2型式检验
6.2.1通则
出现下列情况之一时应进行型式检验