JCT 2067-2011 太阳能多晶硅用熔融石英陶瓷坩埚.pdf

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备案号:34417-2012
JC
中华人民共和国建材行业标准
JC/T2067-2011
太阳能多晶硅用熔融石英陶瓷坩埚
Fused Silica ceramic crucible for solar poly-crystalline silicon crystal growth
2011-12-20发布
2012-07-01实施
中华人民共和国工业和信息化部发布
JCT20672011
前言
本标准由中国建筑材料联合会提出。
本标准由全国工业陶瓷标淮化技术委员会(SAC/TC194)归口。
本标准主要起草单位:江西中材太阳能新材料有限公司,中材高新材料股份有限公司。
本标准主要起草人:吴翠珍、任丽敏、孙峰、董廷霞、韩加兵、王少峰。
本标准为首次发布。
JC/2067--2011
太阳能多晶硅用熔融石英陶瓷坩埚
范围
本标准规定了太阳能多晶硅用熔融石英陶瓷坩埚(以下简称石英陶瓷坩埚)的术语和定义、标记、技
术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存等。
本标准适用于太阳能多晶硅铸锭炉中用来装载多晶硅原料、进行多晶硅铸锭和熔炼提纯用的熔融石
英陶瓷坩埚。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅所注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件
GB/T2997致密定形耐火制品体积密度、显气孔率和真气孔率试验方法
GB/T3001耐火材料常温抗折强度试验方法
GB/T3284石英玻璃化学成分分析方法
GB/T5072耐火制品常温耐压强度试验方法
GB/T5990耐火材料导热系数试验方法(热线法)
GB/T7320耐火材料热膨胀试验方法
3术语和定义
下列术语和定义适用于本文件
熔融石英陶瓷 fused silica ceramic
以嫆融石英或石英玻璃为原料、采用陶瓷的制造工艺生产的一种主晶相为无定形石英的烧结体,简
称石英隗瓷。
缺损
石英陶瓷坩埚表面和边棱上形成的异常缺失,如图1a)所示
凹坑 fovea
石英陶瓷坩埚表面的口径内小外大的凹陷坑,如图1b)所示
针孔hole
孔洞 cavity
石英陶瓷坩埚表面的口径内大外小的孔眼,如图1c)所示。
JCnr2067--201
a)缺损
c)针孔(孔洞
图1外观质量
裂纹/暗纹 crack
石英陶瓷坩埚表面/内部的开裂
斑点spot
石英陶瓷坩埚表面的不同于基体颜色的点。
4标记
石英陶瓷坩埚按产品名称、产品规格和标准编号的顺序标记。
示例:规格为720mm的石英陶瓷坩埚标记为:
Crucible-720 C/T 2067-2011)
技术要求
5.1外观质量
应符合表1的规定
表1石英陶瓷坩埚外观质量
外观
A区
B区
C区
D区
E区
缺损
不允许
≤25mmX15mX5mm
变形
内角变形不能影响厚度
凹坑
宽不大于3m,深不大于2um,。毎画不多于4个宽不大于3am,深不大于2m,每面不多于8个
针孔
中≥3mm、深不小于2m,不允许
裂纹、暗纹
不允许
杂质点
不允许
注:各区城划分见图2。
JCnT2067--2011
E
B
A区:结晶区域
B区:熔化区域
C区:外壁侧面
C
D区:外壁底面
E区:口沿一距坩埚顶部2cm深的一圈的内外面
图2石英陶瓷坩埚区域分布图
5.2尺寸偏差
应符合表2的规定。
表2石英陶瓷坩埚尺寸的允许偏差
项目
相对于公称尺寸的允许偏差
埚口长度
士1%
埚底长度
士1%
坩埚高度
士1%
埚口壁厚
士2m
侧壁弯曲
土4mm
注:用户另有要求时,以双方确认的图纸要求为准。
5.3化学成分
应符合表3的规定。
表3石英陶瓷坩埚化学成分
组成
单位/质量分数
指标值
Si0
%
≥99.7
Al
≤2000
Ti
≤200
≤150
≤10
K
50
Li
≤30
X10
Mg
≤50
≤5
≤50
Mn
≤3
P
≤20
B
≤2
Ba
≤30