JCT 2064-2011 半导体用透明石英玻璃棒.pdf

ICS81.040.30
Q35
备案号:3408-2012
JC
中华人民共和国建材行业标れ
JC/T2064--2011
半导体用透明石英玻璃棒
Transparent quartz glass rods for semiconductor
2011-12-20发布
2012-07-01实施
中华人民共和国工业和信息化部发布
JC/"2064--2011
本标准按照GB/T1.1-2009给出的规则起草。
本标准由中国建筑材料联合会提出。
本标准由全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会(SAC/TC447)归ロ。
本标准负责起草单位:久智光电子材料科技有限公司。
本标准参加起草单位:中国建筑材料检验认证中心、中国建筑玻璃与工业玻璃协会
本标准主要起草人:末维宁、吴洁、王春玲、张锦。
本标准为首次发布。
JCnT2064--2011
半导体用透明石英玻璃棒
1范围
本标准规定了半导体用透明石英玻璃棒(以下简称石英玻璃棒)的术语和定义、分类和标记、要求、
试验方法、捡验规则以及标志、包装、运输和贮存等。
本标准适用于半导体行业生产中使用的透明石英玻璃棒。
冶金、化学工业用透明石英玻璃棒也可参照本标准执行。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅所注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T3284石英玻璃化学成分分析方法
GB/T4121石英玻璃热变色性试验方法
GB/T10701--2008石英玻璃热稳定性试验方法
GB/T12442石英玻璃中羟基含量检验方法
JC/T597-2011半导体用透明石英玻璃管
3术语和定义
JC/T597界定的术语和定义适用于本文件。
4分类和标记
4.1分类
按用途分为太阳能级石英玻璃棒T级)和电子级石英玻璃棒们级)。
4.2标记
产品按分类(T或D)、产品名称、产品规格、生产批号、标准编号的顺序标记。
示例:符合JC/T2064-2011,直径为20m,长度为1000m,生产批号为20091221的太阳能级透明石英玻璃棒
标记为:
-石英琍棒-20X1000-20091221-JC/T2064~-2011
5要求
5.1规格尺寸及尺寸公差
直径及直径公差
JCT2064-2011
直径及直径公差应符合表1的规定。
表
单位为毫米
直径范围
直径公差
8≤中<16
16≤中<20
士0.5
20≤中<30
士0.8
注:特殊规格的石英玻璃棒,由供需双方商定。
5.1.2长度公差
应小于等于5mm。
5.1.3椭圆度
不应大于直径公差的绝对值。
5.1.4弯曲度
不应超过棒长的0.1%
5.2外观质量
外观缺陷应符合表2的规定。各项外观指标均对每米石英玻璃棒而言
表2
外观缺陷
要求
中<0.3mm
不计
气泡
0.3mm≤≤0.5mm
<5个
中>0.5mm
不允许
破皮气泡
不允许
≤1mm
允许有3条
长度
>1 mm
不允许
破皮气线
不允许
色线等其他缺陷
不允许
5.3理化性能
5.3.1杂质元素含量
5.3.1.1T级石英玻璃棒
JC/T2064-201
T级石英玻璃棒的铝、铁、钙、镁、钛、铜、钴、锰、線、锂、钠、钾、硼十三种杂质元素的总含
量应小于等于30.00X10,其中:铁含量应不大于1.50X10,钛含量应不大于3.00×10,铜含量应
不大于0.80×10,硼含量应不大于0.20×10°,锂、钠、钾总含量应不大于5.00×10°
5.3.1.2D级石英玻璃棒
D级石英玻璃棒的铝、铁、钙、镁、钛、铜、钻、锰、镍、锂、钠、钾、硼十三种杂质元素的总含
量应不大于25.00×10,其中:铁含量应不大于0.80×10,钛含量应不大于2.00×X10,铜含量应不
大于0.50X10,硼含量应不大于0.10X10,锂、钠、钾总含量应不大于2.50X10。
5.3.2羟基含量
应不大于220x102。
5.3.3热稳定性
石英玻璃棒在1200℃±5℃下保温20min,置于20℃士5℃的空气中冷却,试验三次,不应出现裂
纹、缺口或崩落(切、磨口处小于3mm的断面崩落不计)。
5.3.4热变色性
石英玻璃棒在1200C士5℃下保温2h,在290nm波长处热处理前、后的透射比变化平均值△T应
小于等于4%。
5.3.5抗析晶性
石英玻璃棒在1400℃±5℃下保温6h,析晶层平均厚度应小于等于80um
6试验方法
6.1规格尺寸及尺寸公差
6.1.1直径、直径公差及椭圆度
用分度值不大于0.02mm的游标卡尺等量具进行测量。
测量石英玻璃棒两端及中部的直径,同一截面上測量点不少于3个,取所有测量数据中的最大值减
公称直径所得代数差为直径上公差,最小值减公称直径所得代数差为直径下公差。同一截面上最大值减
最小值,其差值的最大值为椭圆度值。
6.1.2长度
用分度值为1mn的钢直尺或钢卷尺沿长度方向测量最短处和最长处
6.1.3弯曲度
将石英玻璃棒放在准确度不低于2级的平台上,使两端紧贴平台转动石英玻璃棒,用分度值不大于
0.02m的塞尺测量石英玻璃棒与平台之间的最大间隙,用最大间隙值再除以公称长度。
6.2外观质量
将石英玻璃棒平行放于两支额定功率不低于36W荧光灯下,石英玻璃棒与光源距离不超过600m,
采用黑色树底,进行目测检验,必要时可用分度值不大于0.02m的游标卡尺等量具进行测量。