JB-T 7621-1994 电力半导体器件工艺用高纯水.pdf

K46
中华人民共和国机械行业标准
JB/"TP7621-1994
电力半导体器件工艺用高纯水
1994-12-09发布
1995-06-01实施
中华人民共和国机械工业部发布
中华人民共和国机械行业标准
JB/T7621-1994
电力半导体器件工艺用高纯水
1主题内容与适用范围
本标准给出了电力半导体器件エ艺用高纯水(下称高纯水)的级别、技术要求、测试方法和检验规
本标准适用于去离子处理后的高纯水。
2引用标准
GB1146电子级水及其检测方法
3术语
3.1电导率 electrical conductivity
在规定温度下,1cm'水溶液两相对面之间测得的电阻值的例数。电导率通常以us/cm为单位。纯水
的理论电导率为0.0548us/cm(25℃时)。
3.2电阻率 resistivity
电导率之倒数。纯水的理论电阻率为18.3MQ?cm(25℃时),温度升高时电阻率下降
3.3颗粒物质 granular substance
除气体以外,以非液态形式分散在水中,并形成非均匀相混合物的物质
3.4总有机碳(TOC) total organic carbon
水中以各种有机物形式存在的碳的总量。包括易被一般强氧化剂氧化的有机物和需用特殊方法氧化
的有机物。
3.S总因体 total sol
水样蒸发、烘干后线留的固体总量。
6全硅 totai silicon
水中可溶性硅和以二氧化硅胶体状态存在的硅的总量,金硅和可溶性硅之差即为胶体硅。
3.7富纯水 High-pure water, ultrapure wate
电率在5Macm以上,各种形式存在的物质含量有一定规定限的很纯净的水
3.8原水 raw water
纯化处理之前的水。常用的原水有自来水、井水、河水等
9終端 terminal
高纯水生产流程中经过各道净化工艺后,水的出口或使用地点。可分别称为制水终端和用水点
3.10徴量 micro- amount
试样量在1mg左右
3.1痕量 trace amount
试样量在1g左右
3.12百万分とー(ppm) part per million
重量比的量,相当于每百万重量的溶夜中含一单位重量的溶质。在水质分析中,一般也认为相当于
机械工业部1994-12-09批准
1995-06-01实施
JB/T7621-1994
每升水样含杂质的毫克数(mg/L)。
3.13十亿分之ー(ppb) part per billio
重量比的单位,相当于每十亿重量单位重量的溶液中含一单位重量的溶质,在水质分析中,“般セ
认为相当于每升水样含杂质的徴克数(g/L
4高纯水的级别
4.1高纯水可分为电子级高纯水和普通高纯水,分别用符号配I和p标志。
4.2电子级高纯水
4.2.1在制造工艺中使用电子级高纯水的电力半导体器件有姐下特点:
,具有精细图形结枃;
b.对器件表面有特殊要求;
c.工艺对水质有特定的严格要求。
4.2.2电子级高纯水分为两个级别:特级和1级。它们的标志分别是:
特级电子级高纯水:EHーT
一级电子级高纯水:EH-I
43普通高纯水
4.3.1普通高纯水用于一般电力导半体器件的制造工艺中
4.3.2普通高纯水分为三个级别,1級、级和级。它们的标志分别是:
级普通高纯水:pH
级普通高纯水:pHIーI
级普通高纯水PHI-
4.4电阻率低于5M?cm的水不能称为高纯水
5技术要求
5.电子級高纯水
5.1.1电子级高纯水应考核四项内容
a.水中自由离子浓度(主要影响电阻率)
b.水中悬浮馓粒的数量和大小
c.水中有机物总量
d.水中细莤微生物状况。
5.1.2电子级高纯水的各项技术指标由表1给出
表1
指标
级别
EH-T
EH
电阻率Mcm(25c)
90%时河
(90%时向)
最小17
最小15
大于1m微粒数个/ml
大于0.5gm微粒数(最大值)个/rm
100
50
细?个数个/ml
总有机碳含量(最大值)g/L
100
JB/T7621-1994
续表1
指标
级别
EHーT
EH-I
全硅(最大值)g/L
10
氯含量(最大值)gL
钾含量(最大值)g/L
0.2
钠含量(最大值)g/L
钙含量(最大值)
/L
0.5
铝含量(最大值)gL
铜含(最大值)
0.1
总可溶性体含景(最大值〉
/L
3
10
2普通寫纯水
曹通高纯水主要考核其电阻率
5.2.3普通高纯水时技术指标由表2给出
表2
指标
级别
PI-I
PH-I
电阻率(23℃)Mcm
1215
8~<12
大于1grm的微粒数个/ml
总有机碳含量gL
500
垒硅
6测试方法和检验规则
6.1电彛测试方法
6.1,1用电导率仪测量离纯水电阻率时
a.电导池常数选用0.1~0.01cmn
b.被测高纯水应处于密封流动状态,避免任何气体混入,流速不低于0.3m/s
6.1.2在t℃时测得的电阻率值P,用下式换算成25℃时的电阻率P3
(n-C,)+0.05
式中:P3-~25℃时的电阻率,M?cm;
A-t℃时电阻率,M?cm;
G、-t℃时理论纯水的电导率,s/em。其值见附录A
a一t℃时修正系数。其值见附录A
0.05482一25℃时理论纯水电导率,Hs/cm。
5.2其它技术指标測量方法
执行GB146.5~GB1146.11中有关规定
6.3验规则
5.3.1各个级别高纯水的电阻率为经常必测项目
6.3.2对电子级高纯水,用水单位还应根据生产要求制定对徴粒数、痕量金属、细菌、有机物及二氧化
硅等各项技术指标的检验规则。