GBT 11446.9-1997 电子级水中微粒的仪器测试方法.pdf

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GB/T11446.3~11446.10--1997
前
言
GB/T1146.3~1146.-10-1997是分别对GB11446.3~89电子级水檢测方法通则》、
GB11446.4-89《电子级水电阻率的测试方法》、GB11446.5~89《电子级水中痕量金属的原子吸收分
光光度测试方法》、GB11446.689《电子级水中痕量二氧化硅的分光光度测试方法、GB114.7-89
《电子级水中痕量氯离子的离子色谱涸试方法》、GB114.8-89《电子级水中总有机碳的测试方法》
GB11446.9-8《电子级水中微粒的仪器测试方法》、GB11416.10-89《电子级水中细菌总数的膜培
养测试方法》进行修订
由于GB/T11446.1增加了金属镍、硝酸根离子、曎酸根离子、酸根离子的技术指标,在本标准中
增加了原子吸收分光光度法测定金属镍以及用离子色谱法测定硝酸根、磷酸根、硫酸根的测试方法。细
蘭的测试方法只用潓膜培养法,对测总有机碳方法也作了全新政写,对测试方法通则,测电阻率的方法、
全硅的测定方法等都作了一些修订并重新政写。
本标准从实施之日起,同时代替GB1146.3~1146.1089。
本标准由中华人民共和国电子工业部提出
本标准由电子工业部标准化研究所归口。
本标准起草单位:中国科学院半导体研究所,电子工业部标准化研究所
本标准主要起草人:闻瑞悔、李晓英、王在忠、徐学敏、孙目盼、刘任重、许秀欣。
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中华人民共和国国家标准
电子级水中微粒的仪器測试方法
GB/T1146.9-1997
T'est method for particles in electronic
代替GB11446.9--89
grade water by instrument
1范
本标准规定了电子级水中微粒的仪器测定方法
本标准适用于电子级水中微粒的连续式或单次检测计数,测定的粒径大于或等于0.5pm,微粒的
浓度为(0~10000个/mL
2引用标准
下列标准所包含的条文,通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。本标准出版时,所示版本均
为有效。所有标准都会被修订,使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性。
GB/T11446.1-1997电子级水
GB/T114.3-1997电子级水测试方法通则
定义
微粒 particl
除气体以外,分散在水中并和水形成一个均匀液相的物质。高纯水中所说的微粒是指小于1m的
胶体颗粒,也包括微生物及其尸体、碎片等
4原理
東经聚焦的激光垂直于水样流向方向入射,水中的微粒将产生光散射效应,散射光的强度与微粒
的大小具有一定的关系,散射光经棗光镜会聚到光电倍增管,将光信号变成电脉冲,电脉冲的数目和幅
度分别与水中微粒的数目和直径成正比;电脉冲信号经放大后,输入微机,再经微机处理后,显示或打印
出检测结果。
本方法的原理方框图如下
He-Ne激光光源
水样
光电转换系统
放大系统
徽机输出
国家技术监督局1997-09-01批准
1998-09-01实施
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GB/T11446.9-1997
5试剂
空白用水:应符合GB/T1146.1电子级水1级
带有微机的激光散射式亚微米级液体中粒子计数和检测仪器。
7测试步聚
7.1仪器测试前的准备
按仪器说明书开启电源,使仪器进入准备工作状态
7.2测试方式选择
7.2.1连续采样:先用去油洗涤剂清洗管道,再通EW-I级电子水冲洗30mn,按仪器连绂刈试的操
作规程进行测试
7.2.2单次采样:采样瓶先用去油洗涤剂猜洗,再用EW-1级电子级水清洗,然后取采样瓶4/5体积
的水样并加盖置于洁净室中备用。采样瓶在取样前,用孔径0.2pm微孔滤膜过滤过的水冲洗数次。取
样时应防止外界的污染。然后按仪器单次涸试的操作规程进行测量。
8检测结果的计算
按下式计算每毫升水中的微粒数
式中:P一每毫升水样中的微粒数,个/mL
P一第次测量的水样中的微粒数,个/mL;
n一一测量的次数(本标准规定n≥5)。
9分析误差
本方法的相对偏差小于20%。
10试验报告
试验报告的格式按GB/T11446,3-1997第6章要求。
11注意项
111采样及测试过程中防止外界污染。采样过程,容器、环境及检测腔的污染,水中的气泡和测量过程
的振动,水流速度的变化也会影响测量,因此,应在100级的洁净室内进行测量。水流速度必须稳定。
11.2实验室和环境的温度必须稳定,最好在10C~30℃之间。
11.3水样不能搅动,应静止30mn后再测定。
11.4本方法使用的仪器应定期进行校正
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