GBT 11446.1-2013 电子级水.pdf

ICS31-030
L 9t
中华入民共和国国家标准
GB/T11446.1--2013
代替GB/T11446.1-1997
电子级水
Electronic grade water
2013-12-31发布
2014-08-15实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布
中国国家标准化管理委员会
CB/T11446.1-2013
削旨
GB/T11446预讨结构如下
GR/T11446.1电子级水
GR/T11446.2(待定);
GB/T11446.3电子级水测试方法通则;
GB/T1146.4电子級水电阻卒的测试方法;
GB/T1146.5电子级水中浪量金属的原子吸收分光光度测试方法
GB/T11446.6电子级水中二氧化硅的分光光度测试方法
GB/T11446.7电子级水中痕量阴离子的离子色谱测试方法;
GB/T11446.8电子级水中总有机碳的测试方法;
CB/T11446.9电子级水中微粒的仪器测试方法;
-GB/T11446.10电子级水中细菌总数的滤膜培养测试方法
本部分为GB/T11446的第1部分
本部分按照GB/T1.1~2009给出的规则起草。
本部分代替GB/T11446.1ー1997《电子级水
本部分与GB/T1446.1-1997相比,主要有下列变化
“3术语和定义”中增加了“离子交换树脂”、“无菌”和“pH"”的定义(见第3章)
修政了“5要求”中“EW-I”、“EW-I1”和“EW-IⅣ”级水的电阻率指标(见第5章
修订了“5要求”中“EW-I”、“EW-I”、“EW-I”和“EW-ⅣV”级水的微粒数指标(见第5章)
“5要求”中増加了“铁”和“铅”金属离子及“氟”、“亚硝酸根”和“漠”阴离子的要求和指标(见
第5章
试验方法”中増加『“铁”、“铅”、“氟离子”、“亚硝酸根离子”和“漠离子”的捡测方法(见
第6章)。
本部分由中华人民共和国工业和信息化部提出。
本部分由中国电子技术标准化研究院归口。
本部分起草单位:信息产业部专用材料质量监督检验中心、中国科学院半导体研究所、中国电子技
术标准化研究院、中国电子科技集团公司第叫十六研究所。
本部分主要起草人:褚连青、王奕、何秀坤、段曙光、提刘旺、刘缛
本部分所代替标准的历次版本发布情况为:
GB/T11446.11989、GB/T11446.1-19S7
GB/T11446.1--20
电子级水
范
CGB/T11446的本部分规定了电子级水的级别、技术指标要求、试验方法和检验规贝
本部分适用于电子和半导体工业用高纯清洗用水。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文
件。凡是不注目期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件
GB/T11446.3-2013电子级水测试方法通则
GB/T11446,4-2013电子级水电阻率的测试方法
GB/T11446.5-2013电子级水中痕量金属的原子吸收分光光度测试方法
GB/T11446,6-2013电子级水中二氧化硅的分光光度测试方法
GB/T11446.7-2013电子级水中痕量阴离子的离子色谱测试方法
GB/T11446.8~2013电子级水中总有机碳的测试方法
B/T11446.9-2013电子级水中微粒的仪器测试方法
GB/T11446.102013电子级水细菌总数的港膜培养测试方法
3术语和定义
下列术语和定义适用于本文件
电子级水 electronic grade water
电子和半导体丁艺过程中所用的高纯水
电阻率
y
在规定温度下,lcm(正立方体)水溶液两相对面之间测得的电阻值。通常用符号P表示,单位为
欧姆厘米(Q?cm2),纯水的理论电阻率为18.3M2?cm(25℃)
3.3
全硅 total silicon
水中可溶性硅和以二氧化碓胶体状态存在的硅的总量
可溶性硅 soluble silicon
以单一分子状态存在于水中的溶解性硅酸盐
微粒性物质 granular matter
除气体以外,以非液态分散在水中,并形成非均相混合物的物质

GB/T11446.1-2013
总有机碳 lotal organie carbon:TYOC
水中以各种有机物形式存在的碳约总量。包括易被一般强氧化剂氧化的有机物和需用特殊方法氧
化的有机物
吸附 absorption
某烂多孔性粒状物质由于表面活性作用而具有吸着某些物质的现象
凝聚 coagrulation
在源水中加入某种电解质后水中带有电荷的胶体微粒被电解质中的异种电荷中和,从而使其聚集
成较大颗粒而沉降的现象。
3.9
絮凝 flocculation
水中的微粒在一定条件下相互碰憶而结为絮状沉淀的现象。絮凝一般是在凝聚作用后缓慢进
行,可除去水中更细的微粒
砂滤器 sand ffilter
用于盛放不同直径的砂粒,以除去源水中悬浮固体和混浊物的装置
活性碳过滤器 activated carbon filter
装有粒状活性碳的过港器,用于除去水中的可溶性有机物和过量的残余氯
3.12
离子交换 ion exchange
种不溶性物质与一种液体之间相互交换离子的可逆过程,该过程中物质并无实质性结构变化
禹子交换树脂 ion-exchange resin
种合城的有机离子交换材料
去离子水 deionized water
经过离子交换处理,除去了呈离子形式的杂质的高纯水
3.15
再生 regeneration
离子交换过程操作衢环中的一部分。在该部分中,用一定量的化学试剂通过离子交换树脂使其恢
复交换能力。
3.16
复合床
将阳离子交换树脂和阴离子交换树脂分州装入两个离子交换柱中,将两柱串联,使水依次通过两个
柱而被纯化。
混合床 mixed bed
将阳离子交换树脂和阴离子交换树脂混合均匀,填兖于同一离子交换柱中,其纯化效果相当于许多
复合床串联使用