GB∕T 37403-2019 薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)用四甲基氢氧化铵显影液.pdf

ICS31.03
L90
中华人民共和国国案标准
GB/T37403--2019
薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)用
四甲基氢氧化铵显影液
Tetramethylammonium hydroxide developer for thin film transistor-liquid
crystal display(TFT-LCD)
2019-05-10发布
2019-09-01实施
中圃国家标准化管理委员会发布
GB/T37403-2019
目次
前
1范围
2规范性引用文件………………………
3技术要求
4试验方法…
5检验规则
6包装、标志、运输和贮存…
附录A(规范性附录)四甲基氢氧化铵的测定…………………6
附录B(规范性附录)碳酸根离子的测定自动电位滴定法
附录C(规范性附录)氯离子的测定离子色谱法
附录D(规范性附录)甲醇的测定顶空气相色谱法……………15
附录E(规范性附录)金属离子的测定电感耦合等离子体质谱法……………
18
附录F(规范性附录)颗粒数的测定…
GB/T37403-2019
前言
本标准按照GB/T1.1-2009给出的规则起草
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。
本标灌由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。
本标准起草单位:杭州格林达化学有限公司、中国电子技术标准化研究院。
本标准主要起草人:尹云舰、陈玉英、王香、周利超、表会川、曹可慰。
GB/T37403-2019
薄膜晶体管液晶显示器(TFI-LCD)用
四甲基氢氧化铵显影液
范围
本标准规定了薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)用四甲基氢氧化铵显影液的技术要求、试验方
法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。
本标准适用于薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)用四甲基氢氧化铵显影液。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件
GB190危险货物包装标志
GB/T191包装储运图示标志
GB/T601化学试剂标准滴定溶液的制备
GB/T602化学试剂杂质测定用标准溶液的制备
GB/T603化学试剂试验方法中所用制剂及制品的制备
GB/T605化学试剂色度测定通用方法
GB/T6678化工产品采样总则
GB/T6680液体化工产品采样通则
GB/T6682-2008分析实验室用水规格和试验方法
GB/T8170数值修约规则与极限数值的表示和判定
GB/T9725化学试剂电位滴定法通则
GB/T11446.1电子级水
GB/T1146.9电子级水中微粒的仪器测试方法
GB15258化学品安全标笠编写规定
GB500732013洁净厂房设计规范
JJF11592006四级杆电感耦合等离子体质谱仪标准规范
3技术要求
3.1性状
无色透明液体,浓度高时,有滑腻感。具有强碱性,有腐蚀性,高温下易分解。易吸收空气中的二氧
化碳,溶于水、乙醇。
3.2技术指标
技术指标应符合表1的规定。
GB/T37403-2019
表1
型号规格
项目
C-2,38
Ⅲl
色度
aren
四甲基氢氧化铵
2.380±2.380士2.380±
25+0.0325±0.05125+0.1020土0.0320±0.05120±0.10
0.003
0.005
0.01
碳酸根离子
30
mg/ Kg
氯离子
0.1
0.1
mg/ kg
甲醇
mg/kg≤
锂(Li)
0.5
0.1
4g/kg≤
硼(B)
10
0,1
钠(Na)
!y/ Kg
0.5
0.1
/lg/Kg
铝(.AI)
0,5
0.1
kg≤
钾(K)
0,1
ug/kg
10
0,5
10
0.1
Hg/kg
钛(Ti)
0.5
lg/ kg
钒(V)
0,5
0,1
y, Kg
铬(Cr)
0,5
10
0,1
ug/kg s
锰(Mn)
0.5
g/Kg
铁(Fe)
10
0.5
10
10
0.5
0.1
g/kg≤