DB31 374-2006 半导体行业污染物排放标准.pdf

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上海市地方标准
DB31/374-2006
半导体行业污染物排放标准
The discharge standards of pollutants for semiconductor industry
2006-11-01发布
2007-02-01实施
上海市环境保抽局
上海市质量技术监督局发布
DB31/374-2006
目次
前
1范
2规范性引用文件
术语和定义
技术内容.
6标准的实施与监督
DB31/374-2006
前
为贯彻《中华人民共和国环境保护法》、《中华人民共和国水污染防治法》、《中华人民共和因大气污
染防治法》、《中华人民共和国海洋环境保护法》,加强半导体企业污染物的排放控制,保障人体健康,
维护生态平衡,结合上海市实际情况,制定本标准。
本标准主要有以下特点:1)适用于半导体企业水污染物、大气污染物排放的管理;2)水污染物排
放根据功能区执行分级标准;3)大气污染物排放不根据功能区进行分级;4)对现有半导体企业规定达
到拆发性有机物(VOC、)排放标准的时限,对其余污染源不冉按建设时间规定排放限值。
半导体企业的噪声控制、固体废物控制按国家和本市的有关规定执行。
本标准实施之凵起,半导体企业水污染物排放按本标准执行,不再执行DB31/19-1997《污水综合
排放标准》;半导体企业大气污染物扑放按本标准执行,不再执行GB16297-1996《大气污染物综合排
放标准》。
本标准为首次发布
本标准由上海市环境保扩局提出并归口。
本标准由上海市环境科学研究院和上海市集成电路行业协会负贾起草。
本标准由上海市人民政府2006年10月13日批准
本标准由上海市环境保扩局负责解释
DB31/374-2006
半导体行业污染物排放标准
范围
本标准规定了半导体企业的水污染物和大气污染物排放标准值
本标准适用于半导体企业的水污染物排放管理、大气污染物排放管理,以及半导体企业建设项日环
影响评价、建设项日环境保护设施设计、竣工验收及其投产后的污染控制与管理。
2规范性引用文件
下列标准利本标准表5、表6所列分析方法标准及规范所含的条款通过本标准的引用而成为本标准的
条款,与本标准同效。
环境空气质量标准
GB3097
海水水质标准
地表水环境质量标准
GB/T12997水质采样方案设计技术规定
GB/T12998水质采样技术指导
GB/T12999
水质采样样品的保存和管理技术规范
GB13271
锅灯大气污染物排放标准
T1615
固定污染源排气中颗粒物测定与气态污染物采样方法
GB16297
大气污染物综合排放标准
地表水和污水监测技术规范
水污染物排放总量监测技术规范
当上述标准和规范被修订时,应使川其最新版本。
术语和定义
下列术语和定义适用于本标准
3.1半导体企业 semi conductor industry
指从事半导体分立器件或集成电路的制造、封装测试的企业
3.2特殊保护水域 special protected water area
指经国家或上海市人民政府批准的自然保护区范围内水域:GB3838中TT类水域;由本市各区、县