真空镀膜设备 产品质量分等 jbt53021.pdf

真 空 镀 膜 设 备
产 品 质 量 分 等
内部使用
1999-12-30 发布 2000-06-01 实施
国 家 机 械 工 业 局 发 布
前 言
本标准是对 JBT 5302192真空镀膜设备 产品质量分 等》进行的修订。 此次修订,对其主要
技术内容作了大的修改。
本标准自实施之日起代替 JBT 5302192。
本标准由全国真空技术标准化技术委员会提出并归口。
本标准起草单位:沈阳真空技术研究所。
本标准主要起草人:李玉英、李春影。
本标准于 1992 年首次发布。
真 空 镀 膜 设 备
产 品 质 量 分 等
内部使用
1999-12-30 发布 2000-06-01 实施
国 家 机 械 工 业 局 发 布
中华人民共和国机械行业标准
真 空 镀 膜 设 备
产 品 质 量 分 等
代替 JBT 5302192
前 言
内部使用
本标准是对 JBT 5302192真空镀膜设备 产品质量分 等》进行的修订。 此次修订,对其主要
技术内容作了大的修改。
1 范围
本标准自实施之日起代替 JBT 5302192。
本标准由全国真空技术标准化技术委员会提出并归口。
本标准规定了真空镀膜设备以下简称产品的质量等级、检验规则和评定方法。
本标准起草单位:沈阳真空技术研究所。
10 Pa范围的蒸发类、溅射类、离子镀类真空镀膜设备产品。
本标准适用于压力在 10
本标准主要起草人:李玉英、李春影。
2 引用标准
本标准于 1992 年首次发布。
下列标准所包含的条文,通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。本标准出版时,所示版本均
为有效。所有标准都会被修订,使用本标准的各方应探讨使用下列标准昀新版本的可能性。
真 空 镀 膜 设 备
GBT 111641999 真空镀膜设备 通用技术条件
3 产品的质量等级
产 品 质 量 分 等
3. 1 产品根据其质量水平和使用价值分为合格品、等品和优等品。
内部使用
3. 2 产品的考核项目及指标
a各等级的产品均应满足 GBT 111641999 中 4.3、4.4 和 4.5的要求;
bA类各等级的产品还应达到表 1 规定的各项相应指标,B类各等级的产品还应达到表 2 规定的
各项相应指标。
4 检验规则和评定方法
4. 1 抽样方法
4. 1. 1 检查批的组成
在生产厂内经检验合格入库或用户处的产品构成检查批。检查批可以与投产批、销售批、运输
批相同或不同,由同规格型号或不同规格型号、同质量等级、生产条件和生产时间基本相同的单台
产品组成,但每个检查批的批量不得超过 250 台。
当没有明确规定时,批的组成、批量大小以及识别批的方式等,应协商确定。
4. 1. 2 抽样方案
采用次抽样方案,每批样本数为 2台,合格判定数为 0。
4. 1. 3 样本的抽取
样本应从检查批中随机抽取,抽样可在批构成之后或在批的构成过程中进行。
4. 2 试验方法
按 GBT 111641999中第 5章的规定。
1999-12-30 发布 2000-06-01 实施
4. 3 评定方法
国 家 机 械 工 业 局 发 布
2000-06-01 实施
国家机械工业局 1999-12-30 批准
中华人民共和国机械行业标准
判定产品的质量等级,必须符合该等级全部考核项目的要求,否则按达到的昀低项指标定等级。
真 空 镀 膜 设 备
批的质量等级以 2台样品中昀低等级判定。
表 1
产 品 质 量 分 等
代替 JBT 5302192
前 言
内部使用 产 品 质 量 等 级
考 核 项 目
合 格 品 等 品 优 等 品
本标准是对 JBT 5302192真空镀膜设备 产品质量分 等》进行的修订。 此次修订,对其主要
极限压力
技术内容作了大的修改。 510 310 110
1 范围
本标准自实施之日起代替 JBT 5302192。
抽气时间10 710 Pa
本标准由全国真空技术标准化技术委员会提出并归口。
本标准规定了真空镀膜设备以下简称产品的质量等级、检验规则和评定方法。
本标准起草单位:沈阳真空技术研究所。
10 Pa范围的蒸发类、溅射类、离子镀类真空镀膜设备产品。
本标准适用于压力在 10
升 压 率
本标准主要起草人:李玉英、李春影。
2 引用标准
本标准于 1992 年首次发布。
淀积源型式、尺寸、数量、昀大耗电功率
下列标准所包含的条文,通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。本标准出版时,所示版本均
工件架尺寸及转动方式
为有效。所有标准都会被修订,使用本标准的各方应探讨使用下列标准昀新版本的可能性。
真 空 镀 膜 设 备
工件烘烤方式及烘烤温度
GBT 111641999 真空镀膜设备 通用技术条件
离子轰击,工件偏压功率 按设计要求
3 产品的质量等级
产 品 质 量 分 等
膜厚监控方式及控制精度
3. 1 产品根据其质量水平和使用价值分为合格品、等品和优等品。
设备控制方式
内部使用
3. 2 产品的考核项目及指标
设备昀大耗电量
a各等级的产品均应满足 GBT 111641999 中 4.3、4.4 和 4.5的要求;
bA类各等级的产品还应达到表 1 规定的各项相应指标,B类各等级的产品还应达到表 2 规定的
表 2
各项相应指标。
产 品 质 量 等 级
4 检验规则和评定方法
考 核 项 目
合 格 品 等 品 优 等 品
4. 1 抽样方法
极限压力
4. 1. 1 检查批的组成
在生产厂内经检验合格入库或用户处的产品构成检查批。检查批可以与投产批、销售批、运输
抽气时间10 710 Pa
批相同或不同,由同规格型号或不同规格型号、同质量等级、生产条件和生产时间基本相同的单台
产品组成,但每个检查批的批量不得超过 250 台。
升 压 率
当没有明确规定时,批的组成、批量大小以及识别批的方式等,应协商确定。
4. 1. 2 抽样方案
淀积源型式、尺寸、数量、昀大耗电功率
采用次抽样方案,每批样本数为 2台,合格判定数为 0。
工件架尺寸及转动方式
4. 1. 3 样本的抽取
工件烘烤方式及烘烤温度
样本应从检查批中随机抽取,抽样可在批构成之后或在批的构成过程中进行。
离子轰击,工件偏压功率 按设计要求
4. 2 试验方法
膜厚监控方式及控制精度
按 GBT 111641999中第 5章的规定。
1999-12-30 发布 2000-06-01 实施
设备控制方式
4. 3 评定方法
设备昀大耗电量
国 家 机 械 工 业 局 发 布
2000-06-01 实施
国家机械工业局 1999-12-30 批准