机械部分目录
1.综述
1.1用途
1.2技术特征
1.3主要技术参数
4附件
2.设备安装与要求
2.1设备的工作环境
2.2冷却水源与排水
3电源
4氩气源
5泵组系统的排气管路
2.6设备的平面布置及厂房高度
2.7地基构造
2.8操作平台
9设备拆箱
2.10设备安装
3.炉子本体的结构说明
3.1结构筒述
2坩埚轴驱动装置
3主炉室
4翻板阀
3.5副炉室
6将晶驱动装置
3.7副炉室及炉盖升降操作
3.8主炉室升降操作
3.9水冷系统
3.10使用与操作
3.10.1调整
3.10.2准备与试运转
4.真空系统与充气系统
4.1真空系统
4.1.1主炉室抽真空系统
4.1.2副室真空系统
4.1.3真空计
4.1.4密封
4.2充气系统的使用
4.3真空系统及充气系统的维护及注意事项
维护与修理
5.1坩埚轴驱动部件的维修
5.2蜗轮、蜗杄减速器的维修
3将晶提拉部件的维修
5.4伺服机组的维修
5水冷系统的维修
5.6翻板阀的维修
5.7管道的维修
拆装
6.1坩埚轴的拆装
2电极的折装
卷丝轮的拆装
4翻板阀的拆装
7.常见故障及排除方法
7.1真空抽不到指标
2埚升不稳
3埚转不稳
7.4籽品轴升降不稳有抖动现象
5将晶轴转动不稳
7.6飞车
7.7偷转
7.8不转
7.9重锤左右摆动
10液面抖动
11等径过程中出现晶体扭曲现象
7.12计长显示不稳或不准
13拉晶过程中速度记录曲线出现尖刺
14欧陆表显示断偶(or)
7.15非故障报警
16加热过程中电流突然下降
7.17加热电压加至0V突然回
7.18过流
8.DRF95
单晶炉杋械部分说明书附图
20
DRFE9S外形图
DRF95地基图1
F3
DRFE95地基图2
平面布置图
FS
DRFE95平面布置图2
DRF95单品炉安装准备图
DRFE9S坩埚升降及传动机构
F8
DRFE95坩埚旋转机构
DRF95炉底板及电极结构
F10
DRF95炉室及管道结构
F
DRF95主观察窗及保护窗
F12
DRF95 IRCON控径窗
F
DRF95翻板阀结构
F14
DRF95副室管道结构
F15
DRF95副室结构
F16
DRF95将晶旋转机构
F17
DRF95将晶提升机构
F18
DRF95主泵及除尘器机构
杌械部分
1.综述
1.1用途
DRF5单晶炉属软轴直拉式单晶炉,它是在真空及惰性气体环境中,通过石墨电阻加
热器将多晶硅材料加热并熔化,然后用直拉法生长无位错的单晶设备。该设备可以大规模
生产集成电路、太阳能等行业所需的高质量的
硅单晶。
该设备可使用20”或、22、24”的热系统,投料90~150Kg,拉制8”~10”的单品,
此设备提供两对(四个)电极,可满足用户采用两温区加热的工艺要求。
1.2技术特征
本设备采用软籽品轴及独特的将晶提升机构,因而降低了单晶炉的高度。故可在一般
的厂房中安装使用,既便于装配、维修及拉晶操作,又保证了将晶轴的稳定性
DRF95型单晶炉在性能和控制系统上又作了多次地改进,首先在机械结构方面:采用
了先进的磁流体密封技术、浮动式翻板阀、椭圆式炉盖、浮动式主、副室提升机构、提拉
钢丝绳稳定杋构及先进的帽型集流环技术等
各炉室均为顶升式,主炉室、副炉室均由液压装置实现上移,上升到位后对称旋出
保证了主机性能稳定可靠,同时也便于机动取出品体、拆装热场系统以及清理炉内各处
因考虑主、副室的热变形,副室及炉盖的提升均采用了浮动式提升机构,避免因热变
形而引起的卡死现象。单晶提升采用了可承重25Kg的钨合金编织钢丝软轴
主、副炉室之间,设有浮动式翻板阀,可在维持热场工艺温度的情况下,取出单晶、
提渣、更換籽畾或补充加料等,以便能连续拉晶,因而提高拉品的生产效率。
电控系统(温度控制、晶体直径控制、速度控制等)采用了CPU、PLC智能逻辑控制器
PID等进行控制。功能全,精度高,稳定性好。埚升、埚转、晶升、品转采用了性能稳定
可靠的进口直流伺服电机或交流伺服电机。并采用了
多楔带或同步带传动,这样既可传递
大的扭矩,又使速度精确、运动平稳且无振动。
电器控制方面具有以下的特点:
(1)温度自动控制工控机
(2)电机调速控制工控机
(3)单品直径自动控制系统
(4)单晶、熔体自动跟踪系统
(5)单品重量及长度显示系统
拉晶的有关参数:将品轴和坩埚轴的转动速度、晶升和埚升速度、炉内压力、各冷
部位温度等皆由15”エ业专用液晶触摸显示屏显示,整个系统能稳定生长直径8”~10
直径均匀的无位错单晶。本设备具有各种联锁及安全保护措施,例如
各冷却部位水温检测和报警,冷却水欠压报警
籽晶轴、坩埚轴超限位报警及应急手动提升机构
主、副炉室限位互锁,欠电压及欠电流保护等
本设备配置有主控制柜及功率控制柜,主控柜用于实现各种控制操作及各种参数显示
功率控制柜用于提供热场加热电源(详见电器部分的说明书)
另外,主机上部设有维修平台,以便于维修或日常检修。
1.3主要技术参数
1.拉制晶体最大直径
10"(中256mm
熔料量(依据客户):
90Kg(20"坩埚)
120Kg(20”坩埚)
50Kg(24坩埚)
950×125
炉底尺寸:
950×400mm
炉筒尺寸
950×850mr
翻板阀通径:
Φ300
炉盖法兰通径
Φ300
6.副炉室尺寸:
300×2500
7.将晶拉速范围:
mm
min
8.将晶快升/快降:
约400mm/min
9籽晶转速范围:
0-30 rpm
10.将晶在炉内的有效行程:
3500mm
11.将晶在副室内的有效行程:
2050mm
2.坩埚慢升速度范围:
0.02-1 mm/min
13.坩埚快升/快降:
约120mm/min
14.坩埚转速范围:
15.坩埚升、降的最大行程
450mm
16.电源电压/烦率/相数
380V/50HZ/3