JB-T7462-2005_热阴极电离真空规管.pdf

ECS23.160
N68
中华人民共和国机械行业标准
JB/T74622005
代替JB/T7462-1994
热阴极电离真空规管
Hot cathode vacuum gauge head
2005-05-18发布
2005-11-01实施
中华人民共和国国家发展和改革员会发布
JBT7462-2005
目次
前言
范剧
2规范性引用文件
术语和定义
4技术要求.…0000
4.1工作环境
4,2外观
4.3连接
4.4漏率
4.5零散性
2
4.6测量范围
4.7收集极与其他电极间的电阻
4.8抗运输环境性能…
5试验方法
6检验规则
6.1检验项目
自D
D中甲中4由==中由导申自D甲事
Pd口甲甲事甲电自由D事甲
6,2成品检验
6.3交收检验
中自由DP由e●由1
6.4型式检验
7标志、包装与贮存
7.1标
7.2包装
7.3贮存…0
单电由电画画甲D画甲
JB74622005
前言
本标准代替JB/T7462-1994《热阴极电离真空规管技术条件》。
本标准与JBT7462-1994相比,主要变化如下:
ー一增加了第3章术语和定义:
增加了裸规的相关内容;
增加并修改了引用标准
修改了规管的工作环境(见4.1);
一增加了裸规的封装要求(见4.3.2)
修改了检验规则的内容(见第6章)。
本标准由中国机械工业联合会提出。
本标准由全国真空技术标准化技术委员会( SAC/I'C18)归口。
本标准负责起草单位:北京大学无线电工厂。
本标准参加起草单位:成都正华电予子仪器有限公司、沈阳真空技术研究所。
本标准主要起草人:张一江、罗世敏、王学智。
本标准所代替标准的历次发布情况为:
Z7BY290-1984、JB/T7462--1994
IIII
JBT7462--2005
热阴极电离真空规管
范围
本标准规定了热阴极电离真空规管的技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装与贮存等内容。
本标准适用于中、高真空及超高真空(限于极限压力不低于105Pa)热阴极电离真空规管,包括
玻璃规管和棵规。(以下简称规管)。
2规范性引用文件
下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件,其随后所有的
修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本标准,然丽,鼓励根据本标准达成协议的各方研究
是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件,其最新版本适用于本标准。
GB/T191包装储运图示标志(GB/T191-2000, eqv ISO780:1997)
GB/T2828.1计数抽样检验程序第1部分:按接收质量限(IQL)检索的逐批检验抽样计划(GB/T
2828.12003,ISO2859-1:1999,DT)
GB/T2829周期检査计数抽样程序及抽样表(适用于生产过程稳定性的检査)
GBT3163真空技术术语
GB/T6071超高真空法
GB/T15464仪器仪表包装通用技术条件
JB/T9329仪器仪表运输,运输贮存基本环境条件及试验方法
3术语和定义
GBT3163确立的以及下列术语和定义适用于本标准
X射线极限值X- ray limit
一种热阴极电离真空计的Ⅹ射线极限值为与主要由离子收集极发射的光电子产生的残余电流所引
起的相同读数的纯氮压力值。
3.2
零散性 scattered
规管系数的偏差
3.3
裸规 nude gauge
种没有外壳的规头,其敏感元件直接插入真空系统
漏率 leak rates
在规定的条件下,一种特定气体通过漏孔的流量,单位为Pa
4技术要求
4.1工作环境
规管在下述环境条件下应能正常工作
a)环境温度:0C~40℃
JB7462--2005
b)相对湿度:≤90%(25℃时)
4.2外观
a)玻璃规管外壳应无裂缝或明显的气线、气泡等缺陷
b)规管内壁与电极应无污染与明显的氧化现象;
c)规管外壳与管基之间的固定应牢固
4.3连接
4.3.千玻璃规管与真空系统连接部分的玻壳外径应为:@(15.5±0.5)mm;中(25土1)m。
4.3.2裸规封装结构应符合GB/T6071的规定
4.4漏率
玻璃规管的漏率应小于10-HPa?m3s
裸规的漏率应符合GB/T6071的规定
4.5零散性
在压力为10~a时,中、高真空规管系数的零散不超过±20%,超高真空规管系数的零散不超过
士30%。
4.6測范围
规管测量范围的上限由规管非线性δ不超过20%所对应的压力确定;规管测量范圃下限由规管x
射线极限值〈mo)的10倍确定。
4.7收集极与其他电极间的电阻
收集极与其他电极间的电阻R应符合下式:
R≥100Us/(S?11)…
式中:
R收集极与其他电极间的电阻,单位为2:
加速极与收集极之间的电位差,单位为V
S管系数,单位为Pa1
一发射电流,单位为A
-下限压力,单位为Pa
4.8抗运输环境性能
规管在包装条件下,应符合JB/T9329的要求。其中:高温试验选用+55℃:低温试验选用-40℃
跌落高度为250mm。
5试验方法
5.1规管是否符合4.2的要求,用目测来检验。
52规管同真空系统连接部分是否符合4.3.1的要求,用测量误差≤1%的外径测量工具检验。
5.3对于玻璃规管在其封离加工系统、存放48h后,对其检验若内部压力低于10~2?a,则认为符合4.4
的要求。
5.4检验规管系数的零散性是否符合4.5的要求,先按下式计算规管系数S:
S=H(lep)
(2)
式中
一离子流,单位为A(用测量误差≤5%的仪表测量
l发射电流,单位为A(用测量误差≤5%的仪表测量)
压力,单位为Pa(用总不确定度≤10%的装置测量)。
再按下式计算规管系数的零散δ
6=(S-Sn)/San…