JBT 5610-2006 激光干涉仪.pdf

J42
备案号:190562006
中华人民共和国机械行业标准
JBT5610-2006
代替JB/T5610-1991
激光干涉仪
Laser interferometer
2006-10-14发布
2007-04-01实施
中华人民共和国国家发展和改革委员会发布
JB/T56102006
目次
前言.
范固
中中中中中
中中即甲中
2规范性引用文件
电看
3术语和定义
00001
4要求
检验
导ep中中中中中电中中自●由
5.1检验条件
D?中●D事电由自身由中音身D口邮e=哪中p
5.2外观及相互作用
2222
5.3激光于涉仪预热时间
中如·由加看电看p即看
自自●自由D
5.4单次开机激光频率稳定时间
5.5激光于涉仪准确度
5.6量程。
5.7测量速度,0
5.8激光波长准确度,
5.9抗电磁干扰
6检验规则
6.1型式检验
身身号中甲甲中中甲甲学导曾量号导?自·导·●中●命看·看?●●电p自电哪事自静静也
6.2交收检验
7标志、包装和储存
7.1标志
7.2包装
7.3储存
JB/T5610-2006
前言
本标准代替JB/T5610-1991《双频激光干涉仪》。
本标准与JB/T5610-1991相比,主要变化如下:
一标准的名称改为“激光干涉仪”,并重新定义了“激光干涉仪”术语
一标准的范围改为“适用于几何量测量”;
删去了第3章中的3.2条“分辦率”:第4章表1中的“分辨率”改称“分辨力”,分辦力改为
≤0.16m;
将术语“响应速度”改称为“最大测量速度”,并重新定义了“最大测量速度”术语,最大测
量速度改为≥50mm/s
一第4章表1中的量程改为≥1m
第4章表1中的激光波长准确度改为≤1×10°
一激光干涉仪工作前的预热时间政为“不超过20min”;
一激光器的寿命“应不低于2年”改为“应不低于200”
一增加了单次开机激光频率稳定8h的变化量应不大于1um;
明确了检验规则,将检验分为了型式检验、交收检验两种;
抗电磁干扰试验采用了GB/T17626.2~-1998《电磁兼容试验和测量技术静电放电抗扰度试
验》和GB/T176263~-1998《电磁兼容试验和测量技术射频电磁场辐射抗扰度试验》中规
定的方法。
本标准由中国机械工业联合会提出。
本标准由全国量具量仪标准化技术委员会( SAC/IC132)归口。
本标准由成都工具研究所负责起草,中国测试技术研究院参加起草、
本标准主要起草人:邓宁、舒阳、许刚、黄小荣、薛梅、余翔。
本标准所代替标准的历次版本发布情况:
-JB/T5610-1991。
JBT5610-2006
激光干涉仪
范围
本标准规定了激光干涉仪的基本参数、技术要求和试验方法等。
本标准适用于几何量测量的激光于涉仪
2规范性引用文件
下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注目期的引用文件,其随后所有的
修改单(不包括勒误的内容)或修订版均不适用于本标准,然而,鼓励根据本标准达成协议的各方研究
是否使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件,其最新版本适用于本标准。
GBT191包装储运图示标志( eqv ISO780:1997)
GB/T6388运输包装收发货标志
GBT17163-1997几何量测量器具术语基本术语( neg BS5233:1986)
GBT17626.2~-1998电磁兼容试验和测量技术静电放电抗扰度试验( idt IEC610004-2
995)
GB/T176263~-1998电磁兼容试验和测量技术射频电磁场辐射抗扰度试验( idt IEC610004
3术语和定义
GBT17163~-1997中确立的以及下列术语和定义适用于本标准
激光干涉仪1 aser interferometer
利用稳频氨氖激光器,以激光波长为基准,按迈克尔逊原理产生干涉条纹进行几何量测量的测量仪
器。激光干涉仪由激光头、干涉镜、反射镜和显示器等组成
3.2
最大测量速度 measurement speed
保证激光干涉仪正常工作的测量反射器最大移动速度
3.3
激光波长准确度 accuracy of laser wavelength
激光波长与给定波长的相对变化量
4要求
4.1基本参数:
于涉仪的基本参数见表1。
表
名称
参数值
分辦力m
≤0.16
量程
≥1
最大测量速度mm/s
≥50
激光波长准确度()
≤0.3×10°
JB/r56102006
4.2外观及相互作用:
4.,2.1激光干涉仪光学件表面不应有霉、雾及影响使用的气泡、麻点、划痕等疵病,各工作表面不应
有锈蚀、碰伤和镀层脱落等缺陷。各种标志、数字清晰、正确。
4.2.2各紧固部件应牢固可,无松动现象,各运动部件应灵活平稳,无卡滞。
4.2.3电箱、计算机的清零、置数、显示和打印等功能应正常。
4.3激光干涉仪工作前的预热时间应不超过20min
4.4激光干涉仪单次开机激光频率稳定时间应不少于8h
4.5激光干涉仪准确度由以下公式计算得出:
6=士k+√0.05)2+(△)2+(0929の2+(007202+(0.00?06.L
式中:
δ激光干涉仪准确度,单位为pum
k激光干涉仪的分辨力,单位为m
△λ/ん一激光波长准确度,10°
一测量中空气温度不确定度,单位为℃
p一测量中大气压力不确定度,单位为Pa
测量中湿度不确定度,单位为Pa;
L测量长度,单位为m。
4.6激光器寿命应不低于2000
4.7激光干涉仪应具有一定的电磁兼容能力,受电磁干扰时,激光干涉仪应能正常工作。
5检验
下述的检验方法不是唯一的,如有其他不大于本标准规定的测量不确定度的方法,也可采用
5.1检验条件
5.1.1检验场地应无影响检验精度的灰尘、振动、气流扰动和较强磁场。
5.1.2激光干涉仪检验时的环境温度为(20±1)℃,其变化应不大于0.5℃h。
5.1.3激光干涉仪、检验设备及仪器应在同等温度条件下等温4h
5.1.4进行准确度检测时,其环境条件还应满足:温度不确定度应不大于02℃,大气压力不确定度应
不大于60Pa,湿度不确定度应不大于100Pa。
5.2外观及相互作用
目力观察及手感检验
5.3激光干涉仪预热时间
用计时器记录干涉仪电箱电源开启至激光干涉仪开始正常工作的时间
5.4单次开机激光频率稳定时间
将长度光学组件固定,待激光干涉仪预热完毕,即刻观察显示器的计数变化,并用计时器记录计数
变化不大于μm的持续时间。
5.5激光干涉似准确度
5.5.1进行比对检测,激光千涉仪检测系统的不确定度应小于被检激光干涉仪的准确度(按照4.5的公
式计算);取连续三次比对偏差的平均值为一组测量结果,重复5组~