JJG 739-2005激光干涉仪.pdf

H:i注
中华人民共和国国家计量检定规程
JG739-2005
激光干涉仪
laser interferometers
2005-10-09发布
2006-04-09实施
国家质量监督检验檢疫总局发布
JJG739-2005
激光干涉仪检定规程
JG.739-2005
Verification Regulation of
代替JG739-19918
Laser Interferometers
本规程经国家质量监督检验检疫总局2005年10月9日批准,并自2006
年4月9日施行。
归口单位:全国几何量长度计量技术委员会
起草单位:中国计量科学研究院
本规程委托全国几何量长度计量技术委员会负责解释
JG739--2005
本规程起草人:
许婕(中国计量科学研究院)
邹玲丁(中国计量科学研究院)
JG739--2005
目录
范围
智P智中●中●中●·中中=中中
2引用文献
(1)
3术语
4概述
5计量性能要求…
5.1激光波长不确定度
5,2位移测量示值误差
5.3环境参数示值误差
5.4角度分度误差…
5.5直线度示值误差…
(2)
5.6非线性
即?
6通用技术要求…
6.1外观…
(2)
6.2仪器各部分相互作用
6.3预热时间
…………………………(2)
7计量器具控制
7.1检定条件
7.2检定项目
7.3检定方法
7.4检定结果处理…
检定周期
附录检定证书(内页)格式
JJG739-2005
激光干涉仪检定规程
范围
本规程适用于激光干涉仪的首次检定和后续检定
2引用文献
本规程引用下列文献
JF1001-1998通用计量术语及定义
JF1059-1999测量不确定度评定与表示
JrF1094-2002测量仪器特性评定技术规范
JG353-1994兰姆凹陷稳频He-Ne激光器检定规程
JG998-2005激光小角度测量仪检定规程
JG860-1994压力传感器(静态)检定规程
使用本规程时,应注意使用上述引用文献的现行有效版本。
3术语
激光干涉仪非线性:指激光干涉仪为了获得高分辨力,在一个干涉周期内对干涉条
纹进行细分时引起的测长误差。
4概述
激光干涉仪是以激光波长为测量标准,进行位移、直线度、角度等几何量测量的高
精度、多功能计量仪器。它是利用两東单频激光東,或两東具有微小固定频差的双频激
光東,进行干涉湖量的仪器。
激光干涉仪包括激光头、电箱(其中包括数据传输卡)、光学组件、计算机、环境
参数传感器、测量软件等。主要用于机床、加工中心、坐标测量机等设备的检测。
5计量性能要求
激光波长不确定度
激光波长的相对扩展不确定度应符合1x10-7(ん
5.2位移测量示值误差
5.2.1标准条件下的位移测量的最大允许示值误差:土(0.03+0.5L)xm
测量长度,单位m
使用空气参数补偿单元的位移测量最大允许示值误差:±(0.03+1.5Z)
L一测量长度,单位
5.3环境参数示值误差
5,3,1空气温度传感器的最大允许示值误差:士0.55℃。