SJ 20129-1992 金属镀覆层厚度测量方法.pdf

中华人民共和国电子行业军用标准
FL0140
SJ20129~-92
金属镀覆层厚度测量方法
Methods for measurement
of metallic coating thickness
1992-11-19发布
1993-05-01实施
中国电子工业总公司批准
次
范
2引用文件
…?………………に…い………?(1)
定义………………"………wm(1)
4一般要求
甲看甲甲甲即や甲中管甲甲甲学学甲甲甲甲中甲即甲甲甲中中中中甲甲甲中甲申中单4●自自中自
“(2)
详细妥求……(2)
方法101断面显微镜法…
(3)
方法102称量法?………(5)
方法103阳极溶解库仑法
方法201X射线光谦法……
甲甲哪甲学甲学由由果和中4+曲h量h???h???
方法202β反向散射法……m…o(12
附录A室温下使用的一些典型浸蚀剂(补充件)…………………………(16)
附录B典型退除液(朴充件)…
ow(17)
附录C典型电解液(补充件)…………………………………………………?(18)
附录D阳极溶焊库仓法厚影响渊量精度的因素(补充件)
(20
附录EX射线光诺法测厚影响测量精度的因素(补充件)…………………………(21)
附录F反向射法测厚影响测量精度的因素(补充件)………mm…………(22)
附录Gβ反向散射测序仪使用的放射源(补充件)…
(23)
中华人民共和国电子行业军用标准
SJ20129~-92
金属镀覆层厚度测量方法
Methods for measurement of
metallic coating thickness
1范?
本标准规定了用横断显赏镱法、称量法、阳极溶解库仓法、Ⅹ射线光谐法和β反向散射
法等测量金属镀覆层厚度的方法。
本标准适用于电子元器件引线及其他类似产品金属镀覆层厚度的测量。
2引用文件
本章无条文
3定义
3-1有效表面 significant surfaces
产品上某些已电镀或待电镀的表面,在该表面上镀层对产品的外观和使用性能是重要的
3.2放射性活度 radio activity
所有放射性同位素的原子核都是不稳定的。它们能自发地释放出能量或粒子而变为稳定
状态,这种过程叫放射性衰变。单位时间内发生衰变的原子核数叫做放射性活度。在β反向散
射测量中,放射性活度越高相当于β粒子发射得越多。
放射性活度的单位是贝可[勒尔](Bg)
3.33粒子 beta particle
由发生衰变的B放射性同位素的原子核中辐射出的高速电子
3.4半衰期 half-life, radioactive
单一放射性衰变过程放射性活度降低一半所需贇的时间
3.53反向散射 beta backscatter
β粒子穿过物质时,由于与原子相碰撞而改变了运动方向和速度3粒子从入射面被反射
的现象称为β反向散射
3.-6反向散射计数 X backscatter count X
在一定时间间隔内,反向散射并被检测器接收到的β粒子数。它与放射源的强度、瀏量时
间、测量系统的几何形状、检测器的性能、镀覆层厚度及镀覆层与基体材料的原子序数等因素
有关
中国电子工业总公司1992-11-19发布
193-0501实施
SJ20129--92
3.7妇一化反向散射计数 N normalized backscatter count N
反向散射计数经过归一化处理后的一个量。它与放射源强度、测量时间、检测器性能等无
关,常以百分数来表示。
≈x
100
式中:X。-一基体材料饱和厚度的反向散射计数;
X,一…镀覆层金属饱和厚度的反向散射计数
X一镀覆层试样的反向散射计数
每次计数均在相园耐间阿隔内取值。
镀覆层厚度与归一化反向散射计数N的函敷关系曲线,称为归一化反向散射曲线,典型
的归一化反向散射曲线示于图4。
3-8等效原子序数 equivalent atomic number
物体反向散射的粒子数与入射粒子数之比称反向散射系数。某种合金或化合物与某一元
素的反向散射系数相同,则该元素的原子序数可视为这种材料(合金或化合物)的等效原予序
数。
3.9饱和厚度 saruration thickness
物质的反向撤射计数或X射线二次辐射计数不再随厚度増加而变化的最小厚度。
4一般要求
.1厚度测量方法分类
金属覆￡厚疫测量方法分为无损法和破坏法两类。本标准中规定的无损法有ⅹ射线
光谱法和β反向散射法等。本中规定的破坏法有断面显微镜法、称量法和阳极溶解库仓
法等。
A.2各狆测量方法的厚度测量范围
測量方法
厚度测量范围gmn
横断ⅲ显徽镜法
称量法
50以下
极溶解库仑法
.25~50
X射线光道法
0.25~65
反向散射法
0.1~100
4.3测量误差
在正确使用适合于各种方法的试样、正确操作和校准仪器的条件下,称量法的测量误差为
5%、其余各种方法的测量误差为士10%。
5详细要求
5.1厚度测量方法编号
木标准中100系列试验方法为破坏法。其中方法101为横断面显微镜法;方法102为称量
法:方法103为阳极溶解库仑法