电子束蒸镀机使用手册.pdf

聖約翰科技大學精密儀器中心
撰寫∷辜誌良
電子
束蒸
機使用于册
操作前請於紀錄表示填入使用者資料開始時間丶結東時間
文件編號:HB-008
更新日期:2006/6/24
聖約翰科技大學精密儀器中心
撰寫∷辜誌良
一.設備介紹
1.1控制箱開
CPOWER
( CONTROL
CV-6S
ON
ON
ON
O
OFF
OFF
OFF
POWER:總電源開關
CONTROL:杀統控制開關
CV-6S:電子槍控制開關
1.2真空計
??5E-
Lo
H
顯示高真空
??5E
包底ー??E
EDWARDS
Active Gauge Controller
1.3温度顯示器
Pt-co THERMO INDICATOR
OK
OP
MODE
CSET POINT 1
C SET POINT 2
SHIF
TAG05
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更新日期:2006/6/24
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1.4膜厚控制器
∑
Sigma
sqc-122c Thin Film Deposition Controller
Next THICKNESS(KA) RATE(A/)POWERT)
Ment
Process
film
System
500
Params
Start
Final Thick: 3005
1.5微調手動控制器
ABORT
立即終止鍵(嚴禁使用)
電流遞增鍵
電流遞減鍵
> Sigma
Handheld Controller
1.6電子槍控制器
a H.V. CONTROL
GUN CONTROL
Doo
ADJ2°os
Temescal
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1.7CV-6S電源供應器
Temescal
CV-6S
開機程序
將控制箱下方的( POWER)、「 CONTROL)2個開關打開?接著再將觸控式人機界面
操控器打開,此時觸控式人機界面操控器會出現開機畫面。
2.1人機畫面
AUTO 12 RM M
MM/DD/YYYY hh: mm: ss PUMPING TIME: 12: 12: 12
PUMPING
ATM
高
MANUAL E
STAND-B
READY
PUMPING
MAIN
PUMPING READY
POCKET
CHAMBERCOMPLE
VENT
CRYO
REGEN COMPLETE
START
RESET
AUTO
DEPOSITION
REGEN TIMER
1234n
H-f RECORD PEPOSIIION
OUIT
2.1.1「 CP STAND BY】的程序
按畫面右上方的【 CP STAND BY)?待此鍵閃綠色並按下『 STARI】鍵會啟動RP
3秒後FⅣ開啟,把CP內部抽到設定真空度G3亮燈,FW即關閉,自動執行壓力
上升試驗5分鐘?當通過壓力上升試驗後? Cryo pump自行啟動,等待 Cryo pump
温度降到15K以下,此時【( READY)鍵燈會亮綠色,表示 Cryo pump已 cool down
完成( cool down完成時間需90-120分鐘)
文件編號:HB-008
更新日期:2006/6/24
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2.1.2( MAIN PUMIPING)的程序
接著按下 MA N PUMPING)鍵?待此鍵閃綠色後再按下【 START】鍵,接著即會
自行執行抽氟流程,直到高真空設定值G1燈亮起,此時【 READY】燈會亮起,即
完成 MAIN PUMPING的程序
2.1.3 Chamber Vent)的程序
當執行完畢 MAIN PUMPING的程序即可執行腔體洩真空的動作,接下【 Chamber
Vent),待此鍵閃綠色後再按下( START】鍵?接著即會自動執行腔體洩氣的流程
直到「ATM』燈亮起,此時 Complete燈會亮起即完成腔體洩氣的動作。
2.1.4 Cryo pump)自動再生操作猩序
當 Cryo pump的温度超過2K時 Error訊息會做動·即要執行 Cryo pump再生
的動作,此時按下( REGEN】待此鍵閃綠色後再按下【 START】鍵,接著即會自動
執行 Cryo pump再生的流程。畫面右下角『SVa為設定再生流程的時間再生設
定方式為按一下[SV旁邊的數字區域?即會彈出對話方框?輸入時間後按( CNTER)
就完成時間的設定。畫面左下角『PV』為氪體通入的實際時間? regeneration Time
跑完後『 Complete n燈亮起,即再生完成
2.1坩鍋旋轉與擋板開閥
1.坩鍋旋轉:點選介面上的【 MANUAL)改為手動控制,從【 POCKET1~4】選擇放
置坩鍋之位置
2.檔板開:點選介面上的 MANUAL)改為手動控制點選[CH2)”此時此按鍵
會亮起。(關閉再點選【CH2)即可)
※註:CI2為下擋板
CH1為上檔板
三.蒸鍍程序
3.1開敵CV-6S電源
1.按下儀控箱【CV-6S】開關?開啟CV-6S電源供應器前端【( MAN BREAKER)即
可,此時電源供應醫面板的指示燈『「PWR』會亮起
.將電子槍控制器上的綸匙開關切至為【ON】?此時面板的指示燈『DORS」』會亮
把
3.將左邊「ON】開關按鍵按下,此時高壓已開啟。
4.確認電子槍控制器面板的指示燈『TANK』『VACa『REM』、『Ha0a『POS』『AUX
皆要亮起
4.將右邊【ON】開關按鍵按下,此時電子槍已開啟
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更新日期:2006/6/24