SJT 31109-1994 高压单晶炉完好要求和检查评定方法.pdf

中华人民共和国电子行业标准
高压单晶炉完好要求和检查
SJ/T31109-94
评定方法
1主题内容与适用范剧
本标准规定了制取大直径单晶的高压单晶炉的完好要求和检查、评定方法
本标准适用于LD150型高压单晶炉,亦适用于GD761型高压单晶炉。
2完好要求
2.1性能
高压单晶炉的性能,应能满足生产工艺要求;系统内各配套设备(装置)的性能,应符合主
设备技术性能要求。设备的主要性能技术指标,应符合下列要求。
a.炉工作室最高压力:10MPa
b.温度控制精度:1450土1C
C.冷炉极限真空度:0.1Pa;
冷炉抽真空时间:<0.5h。
2.2操作系统
2.2.1各操作开关、启动按钮、空气闸开关接触良好,运作灵活,定位可靠,标志齐全。
2.2.2制动、限位装置齐全,性能灵敏,功能可靠。
2.3传动系统
2.3.1各传动机构、装置功能可靠,零、部件无松动、脱落现象,传动平稳,无抖动、异常振动和
异常声响,润滑良好。
2.3.2籽晶、坩埚提升机树、旋转机构运转平稳,无停滞、爬行、卡顿现象。
2.3.3变速机构变速齐全,运转平稳、无噪音;变速箱润滑油质、油量符合要求
2.3.4籽晶、坩埚提升、旋转运动;应符合下列要求
a.籽晶拉速:0.1~2mm/min
b.将晶快速升降:>100mm/min;
C.籽晶转速:2~20r/min
坩埚升速:0.1~1mm/min
e.坩埚快速升降:>80mm/min;
F.坩埚转速:2~15r/min。
2.3.5各传动部分密封元件应符合真空要求,在高压下不泄漏。
2.4真空系统
中华人民共和国电子工业部1994-04-15批准
1994-06-01实施
SJ/T31109-94
2.4.1机裓泵、扩散泵性能稳定、可靠,运转平稳,无异常噪音、振动
2.4.2机械泵启动后15min,真空度应达到0.1Pa;扩散泵工作30min后,真空度应达到0.
01Pa。
2.4.3扩散泵运行正常,机械泵的完好要求,参照SJ/T31412~-94执行
2.5气路系统
2.5.1气路系统各管道整齐、清洁,无损伤、老化、锈蚀现象。
2.5.2气路各联接元件、联接端功能符合高压要求,联接密封性好,当压力高达9.80665MPa
时,应无泄漏。
2.6电气系统
2.6.1电气装置齐全,性能良好,运行可靠,保护装置齐全、有效
2.6.2管线完整,绝缘层无老化、无破裂,无漏电现象。
2.6.3电气控制箱内整洁,布线整齐,各种线路标志齐全、明显;各电气元器件性能灵敏,功能
良好;线路端子与元器件联接牢固、可靠。
2.6.4温度、直径、电源变化等自动控制器性能稳定,可靠,无失常现象。电气系统,包括温度
控制系统和闭路监控系统,连绫运行30h以上应无故障
2.6.5各种仪表灵敏、可靠,指示正确,有有效期内校验合格证。
2.7微机控制系统
2.7.1各开关、按钮、操作键完整无损,动作灵敏、可靠,控制裝置各组成部分保持完整、功能
齐全,性能稳定,工作状态良好,显示清晰。
2.7.2显示器能正常显示通电自检的正常信息,微机系统通电自检功能必须正常。
2.7.3输入/输出程序正确无误。
2.7.4打印机、穿孔机与主机接口良好,工作正常。
2.7.5装置内部清洁,布线整齐,线路无老化、破裂,各线路标志齐全、正确。
2.7.6所有裸露导体件(包括外壳),必须与保护接地端子构成通路,保证有永久良好的导电
性,保护接地端子与微机控制系统任何裸露导体件和整机外壳之间的电阻不得大于10。
2.8冷却系统
2.8.1冷却装置齐全、完整无损;管路各联接处密封性好,无泄漏.
2-8.2冷却水压力达到规定指标,水质符合要求,水温不超过35℃。
2.9附件及附属装置
2.9.1设备附件齐全,保管良好,无油污、黄袍、积灰。
2.9.2温度记录仪及图象显示器性能灵敏,功能齐全,记录准确、无误,有有效期校验合格证。
2.9.3真空表、气压表等各种仪表灵敏、可靠,无损伤或缺陷,有有效期内校验合格证。
2.10安全防护
2.10.1安全排风过器性能可靠,工作正常。
2.10.2高压安全阀功能可靠。
2.10.3提升机构安全装置齐全、完整,有效。
2.10.4设备接地可靠,标志明显。
2.11维护保养
按SJ/T31002~-94《设备维护保养通则》执行。
SJ/T31109-94
检查、评定方法
3.1检查方法
3.1.1炉体应按高压容器管理规定,定期作X射线探伤检测,并取得合格证后才可继续使
用。试验、检测资料应存档备查。
3.1.2温度误差的检查方法
在炉体温度达到工艺所需温度后,用温度记录仪作出温度曲线,以30~60min内的温度曲
线确定温度控制精度和随时间变化情况。
3.1.3冷炉真空度及抽空时间检查方法
按工艺常规对整个系统抽真空,10~20min后打开复后真空计测试,以后每隔5min记录
真空计示值,记录3~5次,取平均值为系统的真空度。真空度第一次达到0.01Pa的时间为抽空
时间。
3.1.4运动参数的检查方法
在籽晶杆和坩埚杆升降均匀无振动的情况下测定籽晶杄和坩埚杆的升降速度,当被测物
开始升降时,用秒表计时,在被测物移动1min时,用标准直尺测量被测物的移动行程,用下列
公式求出被测物的运动速度
式中;V一被测物的运动速度(mm/min)
d一一被测物的运动行程(mm)
t一被测物运动行程所用的时间(min)
3.1.5完好要求所列其他内容,在设备现场,采用主观法检査。
3.2评定方法
3.2.1完好要求中,2.1和2.10.1~2.10.4为主要项目,其余为次要项目。
3.2.2主要项目有一项不符合要求,为不完好设备」次要项日有二项不符合要求,亦为不完好
设备。
3.2.3完好设备的维护保养,应达到优等设备标准。
附加说明;
本标准由电子工业部经济运行与体制改革司提出。
本标准由电子工业部第13所组织起草。
本标准主要起草人:潘时庚、孙同年、李蔚。