GB∕T 33336-2016 高纯工业品三氯氧磷.pdf

ICS71.060.50
中华人民共和国国标准
GB/T33336-2016
高纯工业品三氯氧磷
High purity phosphorus oxychloride of industrial use
2016-12-13发布
2017-07-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
中国国家标准化管理委员会
发布
GB/T33365--2016
前言
本标准按照GB/T1.1-2009给出的规则起草
本标准由中国石油和化学工业联合会提出。
本标准由全国化学标准化技术委员会(SAC/TC63)归ロ。
本标准起草单位:贵州威顿晶磷电子材料股份有限公司、贵州省产品质量监督检验院、徐州市建平
化工有限公司、铜山县宏达精细化工厂、西化工研究院有限公司。
本标准主要起草人:蒋飚、钟宏波、祝飘、冯永渝、陈文强、周大颖、刘涛、陈泉、程永福、龚宁、程群
邵青松、伍昌维、程化鵬、张建刚、殷浩、马西刚、李富荣
GB/T3336-2016
高纯工业品三氯氧磷
警示一一高纯工业品三氯氧磷在湿空气中激烈发烟,遇水猛烈反应生成磷酸,并释放出氯化氢气
体,遇热时分解成磷的氯化物和高毒的氧化物薄膜。在取样、检测、搬运等过程中要注意采取防护措施。
接触高纯工业品三氯氧磷时应佩戴眼镜、口罩、橡皮手套等防护用具。严禁与水接触,避免吸入蒸汽、接
触皮肤及黏膜。当发生泄漏时,应用泥沙或石灰处理,如已接触皮肤,应立即用大量流动水冲洗。
范围
本标准规定了高纯工业品三氯氧磷的分级、要求、试验方法、检验规则、标志、标签、包装、运输和
贮存。
本标准适用于高纯工业品三氯氧磷。该产品主要应用于太阳能光伏电池、液晶显示器件、集成电路
和超大规模集成电路芯片等的扩散源。
2规范性引用文件
列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件
GB190危险货物包装标志
GB/T191包装储运图示标志
GB/T601化学试剂标准滴定溶液的制备
GB/T603化学试剂试验方法中所用制剂及制品的制备
GB/T6678化工产品采样总则
GB/T6680液体化工产品采样通则
GB/T8170数值修约规则与极限数值的表示和判定
GB/T11446.1电子级水
GB15258化学品安全标签编写规定
GB50472电子工业洁净厂房设计规范
HG/T3606-2009工业用三氯氧礫
3分子式和相对分子质量
分子式:POCl3。
相对分子质量:153.3(按2013年国际相对原子质量)
4分级
高纯工业品三氯氧磷分为两个等级:
6N级:纯度(基于阳离子)≥99.9999%,主要用于太阳能光伏电池扩散源
7N级:纯度(基于阳离子)≥99.9999%,主要用于大规模集成电路(IC)、分离器件扩散源。
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GB/T33336-2016
5要求
5.1外观:无色透明液体。
5.2高纯工业品三氯氧磷应符合表1要求。
表1要求
指标
项目
6N级
7N级
三氯氧磷(POCl3)vu/%
99.9
99.9
纯度(基于阳离子)u/%
99.9999
99.99999
铝(Al)U/(g/kg)
锑(Sb)/(g/kg)
M# (As)w/(Hg/k)
钡(Ba)vu/(g/kg)
≥≤≤≤≤≤≤
10
15
鉍(EBi)/(p=g/kg
镉(Cd)o/(g/kg)
0
5361135
钙(Ca)vu/(kg/kg)
铬(Cr)w/(pg/kg)
钴(Co)/(pg/kg)
0
铜(Cu)u/(pg
2
镓(Ga)/(pg/kg
金(Au)w/(pg/kg
铁(Fe)u/(g/kg)
≤≤≤≤
30
铅(Pb)U/(Hg/kg
3
锂(L)vw/(Pg/kg)
镁(Mg)/(g/kg)
5
锰(Mn)o/(Ag/kg)
20
汞(Hg)o/(pg/kg)
镍(Ni)/(ug/kg)
(Nb)て/(g/kg)
钾(K)/(pg/kg)
≤≤≤≤≤≤≤≤≤
20
银(Ag)u/(g/kg)
1
钠(Na)/(pug/kg)
10
3151
锡(Sn)z/(pg/kg)
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GB/T33336-2016
表1(续)
指标
项目
6N级
7N级
锶(Sr)ve/(g/kg)
饮(Ti)v/(gg/kg)
Vw/(ug/kg)
≤
10
锌(Zn)m/(pg/kg)
色度/APHA
颗粒(≥0.3am)/(个/mL)
6试验方法
6.1安全提示
本试验方法中的样品及部分试剂具有毒性、腐蚀性,操作者须小心谨慎!如溅到皮肤上应立即用水
冲洗,严重者应立即治疗。使用易燃品时,严禁明火加热
6.2一般规定
本标准所用试剂在没有注明其他要求时均指优级纯试剂。所用水为GB/T146.1规定的电子级
水,25℃在线电导率不大于0.0055mS/m。试验中所用标准滴定溶液、制剂及制品,在没有注明其他
要求时,均按照GB/T601、GB/T603的规定配制。电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS)操作和颗粒测
定均需在不低于GB50472中规定的1000级洁净室进行,其溶液的配制及样品的处理宜在不低于
GB50472中规定的100级环境下进行。
6.3三氯氧质量分数的测定和废液处置
6.3.1三氯氧磷质量分数的测定
按HG/T3606-2009中5.1和5,2规定进行。
6.3.2废液处置
按HG/T3606-2009中附录A规定进行
6.4纯度
6.4.1方法提要
通过扣除阳离子质量分数总和的方法,计算得出高纯工业品三氯氧磷的纯度。
6.4.2结果计算
三氯氧磷的纯度1,按式(1)计算:
o1=100%->wn×10×100%…