HGT 4509-2013 工业高纯氢氟酸.pdf

ICS71.060.30
G11
备案号:41827-2013
LAG
中华人民共和国化工行业标准
HG/T4509-2013
工业高纯氢氟酸
High purity hydrofluoric acid for industrial use
2013-10-17发布
2014-03-01实施
中华人民共和国工业和信息化部发布
HG/T4509-2013
前言
本标准按照GB/T1.1-2009给出的规则起草
本标准的附录A为资料性附录。
本标准由中国石油和化学工业联合会提出。
本标准由全国化学标准化技术委员会无机化工分会(SAC/TC63/SC1)归ロ。
本标准起草单位:浙江凯恒电子材料有限公司、福建省邵武市永飞化工有限公司、鹏集团/宣城享
泰化工科技有限公司、浙江蓝苏氯化有限公司、贵州省产品质量监督检验院、巨化集团技术中心、山东兴
氯新材料有限公司、上海哈勃化学技术有限公司、多氯多化工股份有限公司、中海油天津化工研究设计
院、国家无机盐产品质量监督檢验中心
本标准主要起草人:田志扬、赵晓亚、杜宏军、林益兴、施卫寅、钟宏波、周晓红、周鹏鹏、孙宏华、刘海
霞、郭风鑫。
HG/T4509-2013
工业高纯氢氟酸
范國
本标准规定了工业高纯氢氟酸的分级,要求,试验方法,检验规则,标志、标签,包装、运输和贮存及
安全。
本标准适用于工业高纯氢氟酸。该产品主要应用于太阳能光伏电池、液品显示器件、集成电路和超
大规模集成电路芯片的清洗、蚀刻,以及作为生产其他高纯氟化物的原料等。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅所注日期的版本适用于本
文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB190危险货物包装标志
GB/T191-2008包装储运图示标志
GB/T6678化工产品采样总则
GB/T6680液体化工产品采样通则
GB/T6682-2008分析实验室用水规格和试验方法
GB/T8170数值修约规则与极限数值的表示和判定
HG/T3696.1无机化工产品化学分析用标准溶液、制剂及制品的制备第1部分:标准滴定
溶液的制备
HG/T3696,2无机化工产品化学分析用标准溶液、制剂及制品的制备第2部分:杂质标准
溶液的制备
HG/T3696.3无机化工产品化学分析用标准溶液、制剂及制品的制备第3部分:制剂及制
品的制备
3分子式和相对分子质量
分子式:HF
相对分子质量:20.01(按2011年国际相对原子质量)
分级
工业高纯氢氟酸按用途分为四个等级
EL级:主要用于太阳能光伏电池及液晶显示器件的制造,以及作为生产其他高纯氟化物的原料;
UP级:主要用于线宽为0.8pm~1.2m集成电路的清洗与蚀刻;
UPS级:主要用于线宽为0.2pm~0.6gm集成电路的清洗与蚀刻;
UP-SS级:主要用于线宽为0.09gm~0.2gm集成电路的清洗与蚀刻。
5要求
5.1外观:无色透明液体。
5.2工业高纯氢氟酸按本标准规定的试验方法检测应符合表1技术要求
HG/T4509--2013
表1技术要求
指标
项目
EL.级
UP级
UP-S级
UP-SS级
总酸度(以HF计)xu/%
49.0士0.5
49.0土0.5
49.0士0.5
49.0士0.5
氯硅酸(H2SiFs)wu/(mg/kg)
30
30
氯化物(以C!计〉w/(mg/kg)
0.2
0.05
硝酸盐(以NO计)w/(mg/kg
0,1
0.05
磷酸盐(以PO计)au/(mg/kg)
0.1
0.05
硫酸盐(以SO7-计)u/(mg/kg)
0.2
0.05
铝(AI)w/(g/kg)
10
0.1
砷(As)/(g/kg)
200
丽(B)/(pg/kg)
100
10
0.1
钡(Ba)u/(g/kg)
0.1
钙(Ca)ャo/(pg/kg)
100
10
0,
镉(Cd)r/(Hg/kg)
50
10
0,1
铬(Cr)zu/(pg/kg)
0.1
铜(Cu)u/(pg/kg)
10
0.1
铁(Fe〉au/(p
10
0.
钾(K)z/(g/kg)
10
0.1
锂(Li)/(pg/kg)
10
0.1
镁(Mg)xo/(Hg/kg
0.1
F(Mn)w/(ug/kg)
10
0,1
钟(Na)u/(g/kg)
100
10
0.1
镍(Ni)vm/(pHg/kg
10
0.1
铅(Pb)zw/(g/kg)
50
10
钕(T)u/(g/kg)
0.1
锑(Sb)vo/(gg/kg)
10
0.1
锡(Sn)z/(ug/kg)
10
0.1
锌(Zn)u/(g/kg)
10
(≥1.0m)/(个/mL.)
颗粒(≥0.51m)/(个/mL)
(≥0.2m)/(个/mL)
20
6试验方法
6.1告
本试验方法中所使用的部分试判和样品具有腐蚀性,操作者应小心道,免与皮肤接触,如接触
到皮肤上应立即用水冲洗,严重者应立即治疗。