JC-T 597-1995 半导体用透明石英玻璃管.pdf

中华人民共和国建材行业标准
JC/T597-1995
半导体用透明石英玻璃管
1995-11-23发布
1996-05-01实施
国家建筑材料工业局发布
中华人民共和国建材行业标准
JC/T597-1995
半导体用透明石英玻璃管
1主题内容与适用范围
本标准规定了半导体用透明石英鼓璃管的分类、规格尺寸、技术要求、试验方法,检验规则及标志
包装运输和贮存等。
本标准适用于天然水晶或天然高纯二氧化硅、硅卤化物作原料,应用于半导体工业的透明石英玻璃
管(以下简称石英玻璃管)。冶金、化学工业用透明石英玻璃管也可参照本标准。
2引用标准
GB/T3284石英玻璃化学成分分析方法
GB5949透明石英玻璃气泡、气线检验方法
GB10701石英玻璃热稳定性检验方法
GB/T1242石英玻璃中羟基含量试验方法
3术语
3.1气线:石英玻璃管壁内或表面的线状棱形空穴。
3.2气线密度,每平方厘米中气线条数。
3.3破皮气线:暴露在石英玻璃管内外表面的开口气线,其边缘锋利。
3.4色线:石英玻璃管上带有颜色的线条。
3.5沟棱:石英玻璃管表面在长度方向形成的凹凸不平的沟槽和凸棱
3.6晶纹:石英玻璃管上有明显可见的各种微小的炸裂纹。
3.7麻点:石英弢璃管壁上的小斑点。它是粘附在管壁上的粒状杂质经清除后残留的痕迹
3.8杂质:石英玻璃组成中二氧化硅(Si∩2)以外的组分。
3.9生料颗粒:透明石英玻璃管的内、外壁上在熔制过程中所粘附的未熔化的石英质颗粒。
3.10透明颗粒:石英玻璃管中完全熔化的透明石英质颗粒
3.11波纹;石英玻璃管的内、外壁圆周呈现轴向的波浪形凹凸不平。
3.12色斑:在石英玻璃管壁上的黑、白、褐色等任意形状的色点。
3.13气泡群:透明石英玻璃管壁中,由微小气泡(小于标准中气泡的下限尺寸)密集而成的群集气泡
3.14揪痕;排除石英玻璃管壁上较大杂质点、气泡等弊病后留下的痕迹。
3.15暗疤:透明石英玻璃管壁内呈现的一种斜状、透明、有明显界面的玻璃态(俗称雪花,破皮或梅
花)。在高温熔烧中发橙色亮光。
16炸裂:石英玻璃管经急冷急热而产生的裂纹或碎裂。
17析晶:透明石英玻璃在特定温度下析出晶体,造成失透
3.18枯皮:透明石英玻璃管外观呈现的象桔子皮似的影像。
3-19云雾:石英玻璃管烧制如工中,所产生的二氧化硅(SiO2)挥发物,冷凝后附着在表壁上的白色不
透明物
国家建筑材料工业局1995-11-23批准
1996-05-01实施
JC/r597-1995
3.20偏壁度:石英玻璃管同一横截面上最大、最小壁厚之差。
3.21楠园度:石英玻璃管同一横被面上最大、最小直径之差。
3.22弯曲度:石英璈璃管在长度方向的平直程度
4产品分类
4.1分类
按生产工艺分以下5类
a真空常压法管(常压管);
b.真空加压法管(加压管)
电熔二步法管
d.气炼、电熔二步法管(气炼二步法管)
e,气炼一步法管(气炼管)。
4.2等级
石英璃管按外观分为优等品(A)、一等品(B)和合格品(C)3个等级。
5技术要求
5.1规格尺寸
5.11石英玻璃管的规格尺寸范围及外径、壁厚偏差应符合表1、表2的规定。
5.1.2石英玻璃管的标准长度为I0mm
表1
外径范围,mm
外径差,%
10~50
5l~70
土3.0
士2.7
101~150
士2.5
2.2
表2
壁厚范,mm
壁厚偏差,
1.5~3.0
12
3.1~4.0
士14
4。1~5,0
士15
注;
管子为两端开口亦可为一端开口,封口管其弧度部分不包括在长度内。
2.特殊规格或其它焱格的管子,由供需双方南定
5.1.3矩形管、钟罩式石英管规格尺寸由供需双方商定。
5.2尺寸偏差
5.2.1外径偏差、壁厚偏差应符合表1、表2的规定。
5.2.2长度;偏差为管长的士1%。
5.2.3偏壁度:不得大于壁厚偏差的绝对值。
5.2.4椭圆度:不得大于外径偏差的绝对值。
JC/T597一1995
5.2.5弯曲度:不得超过管长的3%‰。
注:管长在Io00m以上,其曲度不得超过管长的2.5%‰。
5.3外观指标
5.3.1常压管、加压管、电熔二步法、气炼二步法管的外观指标应不大于表3的规定
表3
等指标
等级
优等品
等品
合格品
外观名称
气线密度,条/cm2
40
其中长度ン5mn的气线,条
气线宽度,mm
0.2
0.3
0.5
气线长度,mm
20~30
3L~200
长气线条数
10~6mm
条/l00mm
61~120mm
4
121~200mm
6
8
色线
不允许
不允许
管径<8om允许有1条
管径>80mm允许有2条
20~60mmn
占
61~120mm
不允许
mn
121~200mm
沟
于摸感觉不明显
晶纹、裂纹、内壁破皮气线
不
许
注:①长度小于10m的色线不计
②色线的长度及宽度指标按各等级气线长度、宽度的指标规定。
5.3.2气炼管的外观指标应不大于表4的規定。
表4
等级指标
等缀
优等品
等品
合格品
外观指标
气直径,mm
0.3
0.5
袍数量,个/em2
4
气长径,mm
泡
不允许
群」总数,个/100cm
9
暗长径
疤「数量,个/10cm
色[长径、mm
斑数量,个/10cn