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试?
基于在线检测的曲面光学零件加工技术
□刘长明口戴玉堂2口崔健磊
1.武汉龙安集困公司武汉430074
2.武汉理工大学光纤传感技术研究中心武汉430070
摘要:提出了一种基于在线面形检测与补偿加工相结合的光学曲面零件的超精密加工方法,在线面形检測系统由
空气静压浮动探针和光纤式激光千涉位移计构成。利用该加エ方法实际加エ了一个光学球面零件,其综合面形精度达到
P-V值0.41Lm
关键词:曲面光学零件在线检測补偿加工
中分类号:TH161
文献标识码;B
文章编号:1000-4998(2009)04-0070-03
随着工业技术的快速发展,超精加⊥.与检测技现的。实际加工中,往往需要加工、面形检测、再加工,
术越来越受到重视-2。曲面光学零件的面形测量可如此反复多次才可达到要求·。如果每次加工層銲
分为数控机床上的在线測量和专用检测仪器上的离线下工件进行离线检测,不仅浪费大量非加工时间,常常
测量。由于刀具的制造误差、刀具在加工二过程中的磨还会因装卸过程而产生新的定位误差,不利于快速达
损、加工力的波动、主轴头或工作台的微小振动以及环成高精度的目标。因此,迫切需要开发在超精密数控机
境噪声等的影响,均可导致亚微米级的加工误差。而曲床上的曲面在线面形检测技术,以提高曲面光学零件
面光学零件的面形精度多要求控制在亚微米,无论是的加工效率,降低生产成本
単晶金刚石车削或者精密磨削,一炳次走刀是很难实
本文提出了一种基于在线面形检测的光学曲面零
教育部留学回国人员科研启动基金资助项目(编号:教外司留「200件的超精密加工方法,在线面形检测系统应用了空气
24号)
静压轴承探针和激光干涉位移檢测法,通过循环补偿
收稿日期:2008年10月
数控加工实现高效、高精度加工。
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编辑林凡)
2009/4
机械制造47卷第536期