SJ 20448-1994 玻璃光学元件减反射膜规范.pdf

中华人民共和国电子行业军用标准
FL5971
SJ2044894
玻璃光学元件减反射膜规范
Specification for anti-reflection
coatings of glass optical elements
1994-09-30发布
1994-12-01实施
中华人民共和国电子工业部批准
中华人民共和国电子行业军用标准
玻璃光学元件减反射膜规范
SJ20448-94
Specitication for anti-reflection
coatings of glass optical elements
1范
1.1主题内容
本规范觌定了在玻璃光学元件上镀制的氟化镁减反射膜的最低光学要求和耐久性要求。
1.2适用范围
本规范适用于玻璃光学元件上镀制的氟化镁减反射膜。
2引用文件
GB2423.17~-81电工电子产品基本环境试验规程试验Ka:盐雾试验方法
GjB1525~-92激光光学元件总规范
3要求
3.1材料
镬膜材料应采用光谱纯的氟化镁。
3.2镀膜面积
光学元件应在其整个有效通光孔径范围内镀膜。除另有规定外,当光学元件图纸或订货文
件未规定有效通光孔径时,允许不镀膜的范应符合表1的要求。
表
光学元件直径或对角线最大尺寸(mm)
不懷膜范的最大宽度(mm)
1
>50
大于50mm部分,每1mm,增加0.15m
在觌定了有效通光孔径情况下,有效通光孔径以外部分的镀膜范围应由供需双方协商确
定
3.3镀膜质量
镀膜质量应均匀一致,并符合下列要求:
3.3.1物理要求
膜层应无脱膜、起皮、裂纹或气泡等损伤现象。
中华人民共和国电子工业部1994-09-30发布
1994-12-01实施
SJ20448--94
3.3-2外观要求
位于焦平面的镀膜元件表面不允许有超出元件图纸允许的色斑、油溃.条痕或斑纹等缺
陷。除非元件图纸或订货文件中另有规定,位于焦平面以外的镀膜元件表面上的色斑、油渍、条
痕或斑纹等缺陷符合下列要求时是合格的
a.3,4.1条和3.4.3条中的透射率和/或反射率要求;
b
5条中的附着力要求;
c.3.5.4.2条中的对努氏( Knoop)硬度大于450kg/mm的基片的重度磨擦要求,或者
3.5.4.1条中对于努氏硬度小于45kg/mm2的基片的中度磨擦要求。
注:对于本规范而音,当光学元件难以确定是否位于焦平面时,通常按其位于焦平面內的情况进行处理
3.3.3溅滴和针孔
膜层上的溅滴和针孔应被视作麻点,并且其尺寸和数量不应超过元件图纸或订货文件上
所规定的要求。
3.3.4表面疵病(擦痕和麻点)
膜层上的擦痕和麻点不应超过元件图纸或订货文件中所规定的要求(不含基片上的擦痕
和麻点)。
3.4光学性能
3.4.1透射率
光学元件在镀膜相当于四分之一波长光学厚度(QWOT)的波长处,对于各种折射率的基
片透射率增量等于或大于图1中的数值。
膜
两面镜膜
非接受区
接受区
非接受区
1.60
接受区
10
图1镀膜与未镀膜样品透射率差
SJ20448--94
非受区
接受区
0.20.40.60
图2最大反射率(%
3.4.2膜层厚度
除非元件图纸或订货文件另有规定,膜层的中心波长应在0.45~0,60pm之问。
3.4.3最低点的反射率
每一个镀膜表面的光谱反射率曲线上最低点的镜面反射率的数值应不超过图2中依据
基底折射率所给出的数值
3.5耐久性
3.5.1盐溶性
室温下膜层在浓度为5%的盐水溶液中浸泡24h后,膜层应符合3.3,1条的要求和3.5.4
条中相应的耐磨性要求。
3.5.2湿度
膜层在相对湿度为95~100%、温度为50士3℃的环境中放置24h后,膜层应符合3.3.
条要求和3.5.4条中相应的耐磨性要求
3.5.3耐盐雾
膜层在盐雾中连续暴露24h后,膜层应符合3.3.1条的要求和3.5.4条中相应的耐磨性
要求
3.5.4耐磨性
3.5.4.1中度磨擦
当用干燥、清湝的干酪布磨擦膜层表面后,膜层表面应无可见的损伤,如擦痕或脱落。本要
求适用于努氏硬度小于450kg/mm2的基底
3.5.4.2重度圈擦
SJ20448-94
当用橡皮浮石磨擦头擦膜层表面后,膜层表面应无可见的损伤,如擦痕或脱落。本要求
适用于努氏硬度大于450kg/mm2的基底。
3.5.4.3附着力
将玻鹅胶纸带牢固地粘压在膜层表面上,在与膜层表面垂直的方向上迅速撕下胶纸带,膜
层表面应无脱落现象
4质量保证规定
4.1检验责任
除合同或订货单中另有规定外,承制方应负责完成本规范规定的所有检验。必要时订货方
或上级机构有权对规范所述任一检验项目进行检查。
4,1.
格责任
所有产品必须满足本规范第3章和第6章的所有要求。本规范中规定的检验方法应成为
承制方整个检验体系或质量大纲的一个组成部分。若合同中包括本规范未规定的检验要求,承
制方还应保证所提交验收的产品符合合同的要求,质量一致性抽样不允许提交明知有缺陷的
产品,也不能要求订货方接收有缺陷的产品。
4.2检验分类
本规范规定的检验分为:
签定检验
b.质量一致性检验。
4-3检验条件
除另有规定外,鉴定检验和质量一致性检验应在16~32℃之间的温度环境下进行
4.4鉴定检验
鉴定检验在国家认可的试验室进行。检验项、检验要求及检验方法按表2的规定进行。
4-4.1鉴定检验用样品
鉴定检验的样品应是代表承制厂正常生产的,并应从现行生产中随机抽取的镀膜元件,同
时还需制备专门的镀膜试片
表
检验项目
要求的章条号
检验或试验方法的章条号
膜面积
3.2
4,6,2
物理要求
3.3,1
4.6
膜
外观要求
4、6.3.2
质
溅滴和针孔
3,3.3
4.6.3.3
表面疵病
3,3,4
4。6.3.4
透射率
4.6.4,1
膜层·厚度
4,6,4.2
最低点的反射率
46,4.3
盐溶性
3.5.1
4、6、5
湿度
3.52
4、6、6