JBT 11081-2011 真空技术 制冷机低温泵.pdf

ICS23.160
J78
备案号:33646-2011
中华人民共和国机械行业标准
JB/T11081--2011
真空技术制冷机低温泵
Vacuum technology-refrigerator cooled cryopumps
2011-08-15发布
2011-11-01实施
中华人民共和国工业和信息化音部发布
JB/T11081~2011
目次
前
规范性引用文件.
3术语和定义
4结构与基本参数
4.1结构
4.,2型号规格
4.3基本参数
5一般要求
5.1工作环境
5.2外观质量
5.3性能特性
5.4安全性
5.5可靠性
5.6使用说明+
6主要性能测试
6.测试准备
6.2抽气速率(体积流率)的测试
6.3最大抽气能力
6.4抽气容量的测试
6.5渡越容量的测试
6.6最低工作压力.
6.7降温时间的测试
6.8测试报告
10
7质量评定
标志、包装、运输和存
8.2包装
8.3运输
8.4贮存
图1制冷机低温泵的结构原理简图
图2流量法测试單示意图
图3流导法测试罩示意图.
图4流量法测量抽气速率(体积流率)的装置
图5流导法测量抽气速率(体积流率)的装置
图6渡越容量测试装置
表1低温泵的基本参数
表2检验项目.
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JB/T11081~2011
本标准由中国机械工业联合会提出
本标准由全国真空技术标准化技术委员会( SAC/TC18)归口。
本标准负责起草单位:北京卫星环境工程研究所、安微万端冷电科技有限公司、沈阻貞室技术研
本标准主要起草人:邵容平、闫荣鑫、孙立臣、郭欣、史纪军、刘国青、丁怀況、李谷影。
本标准为首次发布。
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JB/T11081~2011
真空技术制冷机低温泵
1范
本标准规定了制冷机低温泵(以下简称低温泵)的术语和定义、结构与基本参数、一般要求、主要
性能测试、质量评定以及标志、包装、运输和贮存
本标准适用于外接式氢制冷机低温泵
2规范性引用文件
下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。儿是注日期的引用文件,其随后所
有的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本标准,然而,鼓励根据本标准达成协议的各
方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件,其最新版本适用于本标准。
GB/T191-2008包装储运图示标志(ISO780:1997,MOD)
GB/T3163真技术术语(GB/T31632007,ISO3529:1981,MOD
GB/T4842-2006瓴
GB/T74451995纯氢、高纯氢和超纯氢
GB/T8979-2008纯氮、高纯氮和超纯氮
GB223602008真空泉安全要求(EN1012-2:1996,MOD)
3术语和定义
GB/T3163中确立的及下列术语和定义适用于本标准。
抽气速率(体积流率) pumping spccd( volume flow ratc)
在理想状态下,単位时间从测试罩流过泉入口的气体体积
但实际上,当泵在规定条件下工作,对给定气体的体积流率(S)通常约定为该气体的流量(Q,
Pam/s或Pa?Ls)与在给定测试罩内規定位置的平衡压カ(,Pa)之比。即
本标准抽气速率采用的单位是立方米每秒(m3/s)或川每秒(Ls)。
3.2
极限压力 ultimate pressure
测试單中逐渐趋近的压力值。
注:建议制造厂的说明书不要给出极限压力值。本杯准中也不给出极限压力的测试程序。但是如果制造厂列出了极
限压力,那就应当说明完成测试的工作条件。
最低工作压力 minimum operational pressure
起动低温泵后241,在低温泵入口端测试單上测得的压力。
3.4
降温时间 cooldown time
在低于10Pa的起始压力下,从室温起动低温泵到低温泵二级冷头温度达到20K所经历的时间
3.5
渡越容量 crossover valuc
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JB/T11081~-2011
在通入测试气体期间,低温泵二级冷头温度保持在20K或20K以下时允许瞬间流入低温泵的最
大氮气气量,单位为Pa?m2或Pa?L
3.6
抽气容量
gas capacity
低温泵连续运转时抽速下降到初始测量值的50%时所累计抽走的气体量,单位为Pa?m3或Pa?L
在抽走这部分气体后低温泵还必须具有能够在10min之内将测试罩内压力抽到优于10-3Pa的能力
3.7
最大抽气能力 maximum throughput
在某一给定压力下,单位时间内从测试斝流入泵进口法兰且能够导致低温泵に级冷头温度:升到
20K并稳定在20K的最大气体量,单位为Pa?ms或Pa?L/s。
4结构与基本参数
4.1结构
低温泉的结构简图如图1所示。制冷机冷头通过法兰直接插入到泉売内。屏敝板及入口障板与制冷
机一级冷头相连,或者与液氮管路相连接,工作温度小于100K。屏蔽板除『可以冷凝抽除H2O、CO
等气体外,主要是为低温冷板提供隔热屏。低温冷板和活性炭吸附板连接到级冷头法兰上,工作温
度通常在15K以下,能大量冷凝吸附除氢、氖、氮外的其他常见气体。活性炭吸附板用以吸附氢、氖
氮等难凝气体。
兽
冷头;2一泵売:3一籹板:4低温冷板;5一活性炭吸附板;6一障板
图1制冷机低温泵的结构原理简图
4.2型号规格
制冷机低温泵系列产品型号规格可由以下部分组成:
ZD-コ
ZD一代表制冷机低温泉,以制冷机、低温泵炳个关键词的汉语拼音第一个字来表示。
代表制冷机低温泵的规格,以其泵口高貞卒法兰公称通径表示,见表1。
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