JBT 53021-1999 真空镀膜设备 产品质量分等.pdf

J78
中华人民共和国杌械行业标液
JB/T53021-1999
真空镀膜设备
产品质量分等
(内部使用)
199912-30发布
2006-01实施
国家机械工业局发布
JB/T53021-1999
木标准是对JB/T53021-92《真空膜设备产品质量分等》进行的修订。此次修订,对其主要
技术内容作了大的修改。
木标准自实施之日起代替JB/T53021--92。
本标准由全国真空技术标准化技术委员会提出并归口。
本标准起草单位:沈阳真空找术研究所。
本标准主要起草人:李卡英、李春影。
本标准于1992年首次发布。
中华人民共和国机械行业标准
真空镀膜设各
JB/r53021-199
产品质量分等
代替JBT53021-92
(内部使用)
木标准规定了真空镀膜设备(以下简称产品)的质量等级、检验规则和评定方法
木标准适用于压力在104~10-3Pa范围的蒸发类、溅射类、离子镀类真空镀膜设备产品
引用标准
下列标准所包含的条文,通过在本标准中引用而构成为本标准祖的条文。本标淮版付,所示版本均
为有效。所有标准都会被修订,使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性。
GB/T111644-199点空镀膜设备通用技术条件
品的质量等级
3.1产品根据其质量水平和使用价值分为合格品、一等品和优等品。
3.2产品的考核项日及指标
a)各等级的产品均应满足GB/T1114-1999中4.3、4.4和4.5的要求
b)A类各等级的产品还应込到表1规定的各项相应指标,B类各等级的产品还应达到表2规定的
各项相应指标。
4檢验规则和评定方法
4.1抽样方法
4.1.1检查批的组成
在生内经检验合格入库(或用户处)的产品构成检查批。检査批可以与投产批、销售比、运输
批相同或不同,由同一规格型号或不同规格型号、同一质量等级、生产条件和生产时间基本相同的单台
产品组成,但每个检査批的批量不得超过250台。
当没有明确规定时,批的组成、批量人小以及识别批的方式等,应协商确定。
4.1.,2抽样方案
采用一次抽样方案,每批样木数为2台,合格判定数为0。
4.1.3样木的抽取
样木应从检査批中随机抽取,抽样可在批构成之后或在批的构成过程中进行
4.2试验方法
按GB/T1114-1999中第5章的规定。
4.3评定方法
国家机械工业局199912-30批准
2000604实施
JIB/"T53021
99
判定产品的质量等级,必须符合该等级全部考核项目的要求,否则按达到的最低一项指标定等数
批的质量等级以2台样品中最低等级判定。
表
考核项日
极限压力
≤5x10
≤3x10
≤1x104
抽气时间(10~7x103Pa)
≤15
≤10
min
升压率
≤810
≤8×10
Pa/h
淀积源型式、尺寸、数量、最大耗电功率
工件架尺寸及转动方
件烘烤方式及烘烤温度
离子发击,工件偏压功率
按设计要求
莫厚监控方式及控制精度
设各控制方式
设备最人耗电量
表2
考核项H
极限压力
≤5k10
≤3×103
≤1×10
抽气时间(1057x102Pa
≤10
升压率
2
≤7x101
2×10
Pa/h
数量、最人耗电功
工件架尺寸及转动方式
离子发击,工件偏压功率
按设计要求
膜厚隘控方式及制精度
设备控制方式
设备最大耗电量
民共和国
机械行业标准
真空镀膜设备
产品质量分等
(内部使用)
JBT53021-1999
机械科学研究院山版发行
机械科学研究院印刷
(北京首体南路2号邮编100040
开本880×123016印张12字数6000
2000年5月第一版2000年5月第一次?印刷
印数1-500定价1000元
99-1635
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