JBT 5537-91 半导体压力传感器 技术条件.pdf

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中华人民共和国机械行业标准
JB/T5537~-91
半导体压力传感器技术条件
1991-07-16发布
992-07-01实施
机械电子工业部发布
中华人民共和国机械行业标准
B/T5537-91
半导体压力传感器技术条件
1主题内容与适用范围
本标准规定了半导体压力传感器的基本参数。
本标准适用于用具有压阻效应的半导体材料制成并且经过补偿的压阻式压力传感器
2基本参数
2.1精度等级和基本误差
半导体压力传感器(以下筒称传感器)的精度等级分为12级。精度等级对应的基本误差用相対满量
程输出的百分数表示(见表1)。其计算方法推荐使用本标准附录A规定的方法。
情度等级
基本误差
0.02
士0.02
士0
0.05
士0,05
士0.1
0.2
士0,2
士0.3
土0,5
士2.0
士3,0
5.0
士10
测量同上.H
机械电子工业部1991-07-16批准
1992-07-01实施
JB/T5537-91
传感器的测量范围上限应符合下列规定:
5、4,0、5。0、6.0、8,0分別乘以10"Pa(必要时可用kPa,MPa)。其中n=0、
1、2、3……。上述数值还可以是负值。
3激励
2.3.1当传感器的激励是恒压源时,激励电压的数值应符合下列规定:
9、(10)、12、15、18、24V
当传感器的激励是恒流源时,激励电流的数值应符合下列规
疋
(3)、1
10MA
注:括号内为不推荐数
2.4标称电阻
组成传感器的标称阻值应符合下列规定:
006、0。12、015、0。3、0.35、0.6、0.8、
、1.6、3、5k2。
标称电阻值的允差用标称阻值的百分数表示,优先采用下列数值:
士5%、士10%、士20%、±40%。
3主要性能指标
3.1非线性、迟滯和重复性
每个传感器出厂时应分别给出非线性、迟滞和重复性指标。其计算方法按本标准附录A规定。经使
用单位同意,允许只给出精度等级。
32热零点漂移
各精度等级的传感器,在其工作温度范围内,由于环境温度变化而引起的热零点漂移应符合表2规
定
表
精度等级
热零点漂移(%FSノ℃)
に士0,02
0.05
に士0,04
に士0.06
JB/T5537-91
续表
精度等敦
热零点漂移(%FS/℃)
s:士0
士0.4
3.3热灵敏度漂移
各精度等级的传感器,在共工作温度范围内,由于环境温度变化而引起的热灵敏度漂移应符合表3
规定
表
精度等级
热灵敏度漂移(%FS/℃)
0.02
0,03
で土0,03
士0,04
0.5
士0.08
传感器的零点,其数質在規定的室温が称激下成符下列定
ェ2%、ェ5%、主10%、土15%、士20%⊥S。
JB/T5537~91
3.5零点时漂
传感器的零点时漂值,在规定的试验大气条件下和规定的时间间隔内应符合下列规定
士0,01%、土0.02%、士0.05%、土0,08%、士0。1%、士0、25%、士0。5%FS。
3.6工作温度范团
3,6.1传感器环境工作温度的下限值,优先从下列效据中选取:
40、-30、-20、-10、0、+5℃。
36.2传感器环境工作温度的上限值,优先从下列数据中选取
+40、+50、+70、+80、+100、+125℃。
37温度补偿范围
各种精度的传感器,在要求进行温度补偿时,其温度补偿范围优先从下列数据中选取
0~+50℃-10+60C;-30~+80℃。
3.8允许过载
传感器的过载能力用承受测量范围上限的倍数来表示,其数值(正向加压时)应符合下列规定
1.2、1.5、2、2.5、3倍
当载荷卸除后,该传感器各项性能指标不超过规定的基本误差
3.9绝缘电阻
在室温条件下施加规定的直流电压,从传感器规定绝缘部分之间测得的电阻值应从下列数值中选
取
50、100、200、500M2
直流电压值推荐采用
50、100V。
3.10击穿电压额定值
在规定的环境条件和电压持续时间下,在传感器规定的绝缘部位施加交流电压应从下列数据中选
50、110、220、500V
长期稳定性
在规定的时间内,传感器的长期稳定性应符合下列规定:
士0.1%、土0.2%、土0,5%、土1%FS。
规定时间建议采用
30、90、180、360日。