jis b9921-1997 光散射式自动粒子计数器.pdf

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B9921-1997
まえがき
この規格は,工業標準化法に基づいて,日本エ業標準調査会の審議を経て,通商産業大臣が改正した日
本工業規格である。これによって,JISB9921-1989は改正され,この規格に置き換えられる.
JSB9921には,次に示す附属書がある。
附属書1(規定)粒径判別に用いる試験用空気の作り方
附属2(規定)相対比較試験
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日本工業規格
JS
B9921-1997
光散乱式自動粒子計数器
Light scattering automatic particle counter
適用囲この規格は,連続的に空気を吸引しレ,その中の浮遊微粒子の粒径及び個数を測定し,空気
中の粒子濃度を求める光散乱式自動粒子計数器(以下,粒子計数器という。)について規定する
情考1.この規格の引用規格を,次に示す。
JISB922クリーンベンチ
JIS78103計测用語
JISZ8122コンタミネーションコントロール用語
JIS28901試験用粉体及び試験用粒子
2.この規格の中でて」を付けて示してある単位及び数値は従来単位によるものであって,参
考として併記したものである。
2.用語の定義この規格で用いる主な用語の定義は,JIS28122及びびJISZ8103によるほか,次による。
(1)粒経区分特定の粒径より大きい微粒子だけを選別して粒子機度又は徴粒子数の測定を行う場合にお
ける粒径の選別範囲。粒径区分は粒径値で表す。
(2)清浄空気空気清净装置などによって,粒子計測に支障が生じない程度に清净化した空気。
(3)偽計数測定した空気中に測定可能範囲の大きさの粒子が存在しないにもかかわシず,計数器の表示
に現れる計数値。
(4)計数効率粒子計数器の試料吸入口から吸引された試験用空気中の微粒子の基準的な粒子濃度(C
と,粒子計数器が裁示する粒子濃度(C)との比率によって計数効率(の)は,次の式によって求める。
×100
(5)計数損失光の照射領域を複数個の微粒子が同時に通過したり,電気回路の分解時間などの原因で生
じる微粒子数の数え落とし。
(の予熱時間電源投入後,粒子計数器が安定に作動するまでに要する時間。
(7の最大定格粒子濃度個々の粒子計数器について定める,測定が許される最大の粒子濃度。
情考粒子濃度が増すと粒子計数器の計数損失が増し,正しい表示をしなくなるので,最大定格粒そ
濃度を個々の粒子計数器について定める必要がある。
(8)試験用空気計数器の性能を試験するために用いる空気で,乾燥清浄空気中に直経の分かっている
PSL粒子を浮遊させたもの。
備考この規格に用いるPSL粒子は,JSZ8901に規定する試験用粒子1である。
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B9921-1997
3.測定原理浮遊微粒子を含。一定流量の試料空気を試料吸引ロから吸引し,安定化された光源による
照射領域を通過させる。このとき個々の浮遊微粒子によって前方ヌは側方に散乱される光を光電子増倍管
などの光電素子に集光し,パルス状電気信号に変換する。パルス信号の波高値は散乱光量に比例し,芸た
散乱光量と浮遊微粒子直径とが一定の関係にあることを利用して,パルス波高値の分析によって粒径を選
別し,かつ,選別したパルスの個数を計数することによって特定の粒径より大きな微粒子の通過個数を求
め,一定の測定時間中の吸引空気体積と選別された微粒子数とによって粒子濃度を求める。
4.樽成粒子計数器は,図1に示すように,光源,空気吸引系,照射及び集光用の光学系,光電変換部,
波高分析部,内部参照光発生部並びに試験用入出力端子をもつものヌは同等の機能をもつ構成であること
ただし。単一の粒径区分をもつ粒子計数器では,試験用入出力端子をもたなくてもよい。
図1粒子計数器の成例
内部照光発生部
光」「光光
波「表
源
系
電愛換部
学」目変
、\示
分析部
部
穵气吸引系
驗用入力端子
試》用出力子
仕様及び性能
5.1仕
5.1.1測定施粒子計数器は,浮遊微粒子を含む空気について,0.Ium以上の粒径区分の一つ又は数粒
子について粒子濃度ヌは微粒子数を測定できるものでなければならない。
5.12測定量の表示測定結果は粒子濃度,又は任意の体積の空気について測定された特定粒径より大き
い微粒子の総個数をもって表示し,単位はそれぞれ個ノm3:個ノトヌは個で表示するものでなければなら
ない。
なお,粒子計数器の表示能力を超えて計数されたときは,その旨を明らかに判定できる表示をしなけれ
ばならない
微粒子数から粒子濃度(の)を求める際は,次の式による。
N
C=
ここに,Q。:試料空気最(m3
N:浮遊微粒÷数(個
5.2性能
5.2.1試料空気の流量吸引流量が固定の場合,及び吸引流量が可変であって流量計を用いる場合,いず
れの場合においても,6.3.1に規定する試験方法で試験した流量の経時変化は1時間に土3%以内とし,流
量の平均値は定格流量の士5%以内でならればならない。
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