2015年我国半导体设备和半导体材料业现状分析 - 学兔兔 www.bzfxw.com .pdf

市场分析j 2 015 年我国半导体设备和半导体材 料业现状分析 王龙兴 ( 上海市集成电路行业协会，上海2 0 1 2 0 3 ) 摘要：随着我国集成电路产业的持续快速发展，我国半导体设备和半导体材料产业越来越得到政府 和业界的重视和支持。国产设备已进入大生产线的运行和应用，初步建立了我国半导体设备和半导 体材料工业体系。在今后我国集成电路产业持续快速发展过程中，我国半导体设备和半导体材料业 将越来越发挥助推器的重要作用。 关键词：中国集成电路；制造设备；半导体材料 中图分类号：F 4 2 6 6 3 文献标识码：A 文章编号：16 7 4 2 5 8 3 ( 2 0 16 ) 12 0 0 16 一0 7 D O I ：10 19 3 3 9 j i s s n 16 7 4 2 5 8 3 2 0 16 12 0 0 4 中文引用格式：王龙兴2 0 1 5 年我国半导体设备和半导体材料业现状分析 J 集成电路应用，2 0 1 6 3 3 ( 1 2 ) ：1 6 2 2 A n a l y s i so n t h eC u r r e n tS i t u a t i o n J 5 e m I C 0 n d U in2 015 0 rE q u i p m e n ta n dM0 rt a U I D m e n ta n aI V I o fC h i n a 。s a t e r i a l sl n d u s t r y W A N GL o n g x i n g ( S h a n g h a iI n t e g r a t e dC i r c u i tl n d u s t r yA s s o c i a t i o n ，S h a n g h a j2 0 12 0 3 ，C h i n a ) A b s t r a c t ：W i l ht h er a p i dd e v e I o p m e n tO fC h i n a 。si n t e q r a t e dc i r c u i ti n d u s t r y ，C h i n a ss e m i c O n d u c t o r e q u i p m e n la n ds e m i c O n d u c t O rm a t e r i a I si n d u s t r Vh a sr e c e i v e dm O r ea n dm o r ea t t e n t i O na n d s u p p O r tf r O ml h eg O v e r n m e n ta n dl h ei n d u s t r y D O m e S t i ce q u i p m e n th a se n t e r e dl h eO p e r a f i O na n d a p p | I c a t i O no ft h ep r O d u C t i o nl i n e ，a n db e c o m e st h ei n i t i a Ie s t a b | s h m e n tO fC h i n a 。ss e m i c O n d u c t o r e q u i p m e n ta n ds e m i c o n d u c t O rm a t e r i a I si n d u s l r ys y s t e m I nl h ef u t u r e ，C h i n a si n l e q r a t e dc i r c u i t i n d u s t r yw i l lb ei nt h ep r O c e s sO fr a p i dd e v e l O p m e n t ，C h i n a ss e m i c O n d u c t O re q u i p m e n ta n d s e m i c O n d u c t O rm a t er i a I si n d u s t r yw i l Ib em o r ea n dm O r ep I a Va ni m p O r t a n tr O I ei nt h eb O O s t e r K e Vw o r d ：C h i n a 。sI C ，m a n u f a c t ur - n qe q u j p m e n t ，s e m i c o n d u c t O rm a t e r i a l s 王龙兴 上海市集成电路行业 协会 高级顾问 “L 欲善其事，必先利其器”，半导体设备和半 导体材料是发展集成电路技术和集成电路产业的先 导基础和重要支撑。半导体设备和半导体材料的特点 是：品种多、涉及面广、技术要求高、研发投入大、 入市周期长、部分产品市场用量少，但不可或缺。长 期以来，发展高端产品的核心技术和主要市场被国外 公司控制或垄断J 。 1 我国半导体设备产业 1 1 我国半导体设备的市场规模 基金项目：上海市软件和集成电路产业发展专项资金项目( 2 叭5 R J 0 3 5 ) 。 作者简介：二E 龙兴， 海市集成电路行业协会高级顾问，教授级高级工程师。研究方向：超大规模集成电路制造技术。 收稿日期：2 0 l6 3 10 ：定稿日期：2 0 1 6 8 1 9 。 16I 集成电路应用第3 3 卷第1 2 期( 总第2 7 9 期) 2 0 1 6 年1 2 月 万方数据 万方数据 ； 市场分析j 图22 0 11 2 0 1 4 年我国半导体设备销售收入完成情况 ( 资料来源：中国电子专用设备工业协会。2 0 1 5 0 5 2 1 。) 太阳能电池产业受挫，我国半导体设备业的总销售额 也严重下跌，直至2 0 1 4 年晶硅太阳能电池设备才开 始回升。而在2 0 1 1 年至2 0 1 4 年间，集成电路、半 导体分立器件和L E D 设备一直呈现持续稳定上升的态 势，如图3 。2 0 l l 2 0 1 4 年的4 年间年均复合增长率 ( C A G R ) 为4 2 5 。从2 0 1 3 年起，集成电路、L E D 及 分立器件设备的合计销售收入超过太阳能电池设备， 我国半导体设备业的产品结构进入了理性发展阶段。 在0 2 专项和国家集成电路产业发展基金的支持 下，更多的国产! F 导体设备进入了大生产线应用，国 内半导体设备的销售规模进一步增长。2 0 1 5 年我国 半导体设备销售额达到5 0 亿元左右，比2 0 1 4 年增长 2 3 4 ，如表3 所示。其中集成电路专用设备销售规 模由2 0 1 4 年1 5 9 6 亿元提升至2 0 1 5 年2 2 亿元，增 长3 7 8 。L E D 设备由2 0 1 4 年7 1 4 亿元提升至2 0 1 5 上 _ l 年1 0 亿元，增长4 0 0 左右。分市器件设备由2 0 1 4 年2 7 7 亿元提升至2 0l5 年3 2 亿元左右，增长 1 5 5 ，太阳能电池设备由2 0 1 4 年1 4 8 6 亿元提升至 20 1 5 年1 6 0 亿元，增长7 7 。 1 3 我国半导体设备企业的状况 我国大陆主要的半导体设备制造企业共4 0 余 家，主要分布于北京市、上海市、沈阳市和长沙市等 地。其中从事集成电路高端装备研发和生产的企业近 2 0 家。这些企业的主要状况如F ： 中国电子科技集团公司第四1 + 五研究所( 中电 科集团4 5 所) 位于北京市，成立于1 9 5 8 年，现有 14 2 8 人。主要设备产品：硅材料加工设备含多线切 割、国内切片机，晶圆加工设备含光刻曝光机、C M P 抛光机、湿法清洗机、旋转甩干机，封装测试设备 表32 0 15 年我国国产半导体设备的销售规模 ( 资数据来源：本报告整理。2 0 1 6 0 3 。 表42 0 11 2 0 1 5 年我国大陆自制半导体设备销售规模占 我国大陆半导体设备市场的份额 ( 数据来源：本报告整理，2 0 1 60 3 。) 1 8l 集成电路应用第3 3 卷第1 2 期( 总第2 7 9 期) 2 0 1 6 年1 2 月 含全自动探针台、激光划片、激光打标机 等。2 0 1 4 年销售额5 3 6 亿元。 北京七星华创电子股份有限公司( 七 星华创) 位于北京市，成立于2 0 0 1 年， 现有115 0 人。主要设备产品：氧化、扩 散设备，湿法清洗、腐蚀设备，气相沉 积设备( C V D ) ，质量流量计等当关键部 件。2 0 1 4 年销售额2 2 3 亿元。 北方微电子基地设备工艺研究中心有 限责任公司( 北方微电) 位于北京市， 成立于2 0 0 1 年，现有12 j O 人。主要设备 产品：硅刻蚀机、通用型刻蚀机、深硅刻 蚀机( T s v ) 、金属及化合物半导体刻蚀 机、晶圆P V D 、溅射系统、化学气相沉积 系统( C V D ) 。2 0 14 年销售额2 6 6 亿元。 北京中电科电子装备有限公司( 中电 科电子设备) 位于北京市，成立于2 0 11 万方数据 表52 0 1 4 年我国大陆半导体设备企业销售收入前1 0 位排名表 ( 资料来源：中国电子专用设备工业协会，2 0 1 5 0 52 1 。) 年，现有6 0 0 人。传承4 5 所技术基础，着力发展先 进封装设备：全自动晶圆减薄机、全自动划片机、全 自动焊线机、多功能焊线机、多功能压焊机、环氧粘 片机、倒装焊机( F l i p C h i p ) 、自动排片机以及多 动能压焊机等。 沈阳拓荆科技有限公司( 沈阳拓荆) 位于沈阳， 成立于2 0 l O 年，现有1 5 0 人。专注于8 英寸1 2 英 寸P E C v D 设备，用于沉积S i 0 9 、S i N 、S i O 和低温 T E O S 沉积工艺。 沈阳芯原微电子设备有限公司( 沈阳芯源) 位于 沈阳，成立于2 0 0 8 年，现有2 0 0 人。专注于8 英寸 1 2 英寸涂胶、显影、去胶机湿法清洗等设备。 大连佳峰电子有限公司( 大连佳峰) 位于大连， 成立于2 0 0 1 年，现有7 0 人。专注于先进封装设备， 包括全自动装片机、全自动共晶装片机芯片倒装机、 全自动铝丝键合机。 中微半导体设备( 上海) 有限公司( A M E C ) 位于上海， 成立于2 0 0 4 年，现有440 人。主要设备产品：6 5 14 n m 介质刻蚀机、8 英寸1 2 英寸晶 圆深硅刻蚀机( T S V ) 、L E D 外延用M O C V D 等。2 0 1 4 年销 售额4 4 6 亿元。 上海微电子装备有限公 司( S M E E ) 位于上海，成立 于2 0 0 2 年，现有10 5 9 人。 主要设备产品：晶圆前道光刻 机、先进封装光刻机、L E D 芯 片制造光刻机、平板显示用光 刻机、激光退火设备等。2 0 1 4 i l | 市场分析 年销售额1 6 3 亿元。 盛美半导体设备( 上海) 有限 公司( 盛美半导体) 位于上海，成 立于2 0 0 5 年，现有1 0 0 人。主要 设备产品：1 2 英寸单晶园兆声波清 洗机、铜互连镀铜设备、铜互连无 应力抛光机( 研制中) 、12 英寸涂 胶、显影、去胶设备。2 0 1 4 年销售 额O 8 2 亿元。 睿励科学仪器( 上海) 有限公 司( 睿励科学仪器) 位于上海，成 立于2 0 0 5 年，现有11 8 人。主要 设备产品：1 2 英寸全自动硅片薄膜和关键尺寸光学测 量系统、L E D 宏观缺陷检测系统。 上海凯世通半导体有限公司( 凯世通半导体) 位 于上海，成立于2 0 0 9 年，现有8 0 人。主要设备产 品：太阳能电池及A MO l 。E D 离子注入、F i n F E T 离子 注入机离子源、石墨烯改性离子注入机。2 0 1