差压传感器技术的现状与发展.pdf

2013年6月
机床与液压
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第41卷第11期
MACHINE TOOL& HYDRAULICS
Vol. 41 No 11
DOI:10.3969/1j-issn.1001-3881.2013.11.053
差压传感器技术的现状与发展
胡浩,钟丽琼,周潜
(1.贵州大学机械工程学院,贵州贵F阳55003;2.贵阳学院机电系,贵州贵F旧550003)
摘要:对差压传感器技术的现状与发展进行综合评述。总结了差压传感器技术在现有生产领域的应用,对现有的主流
差压传感器的结构与工作原理进行了介绍,对现今发展起来的新型差压传感器的结构及工作原理进行了概述,指出了其重
要性及发展趋势。
关键词:差压传感器;技术现状;发展趋势
中图分类号:TP212文献标识码:A文章编号:1001-3881(2013)11-187-4
Actuality and Development of the Differential Pressure Sensor Technology
HU Hao, ZHONG Liqiong', ZHOU Qian
(1. College of Mechanical Engineering, Guizhou University, Guiyang Guizhou 550003, China
2 Department of Mechanical and Electrical, Guiyang College, Guiyang Guizhou 550003, China
Abstract The actuality and development of the differential pressure sensor technology were synthesized. The application of the
differential pressure sensor technology in existing production areas was summarized, The structure and working principle of the main-
stream differential pressure sensor were introduced as well as the new type of inferential pressure sensor. Its importance and the devel
opment trend were pointed out
Keywords: Differential pressure sensor; Technology actuality; Development trend
差压传感器DPS( Differential Pressure Sensor)是进行了研究-川。目前,差压传感器主要有压阻式
种用来测量两个压力之间差值的传感器,通常用于和电容式两种。
测量某一设备或部件前后两端的压差。差压传感器在1压阻式差压传感器
徵流量测量、泄漏测试、洁净间监测、环境密封性检
压阻式差压传感器的主要测压部件是硅压阻式传
测、气体流量测量、液位高低测量等许多高精度测量感芯片,芯片的核心部分是一片硅膜片,上面用半导
场合都有着广泛的应用。
体工艺的扩散掺杂法做4个相等的电阻,接成惠斯登
例如,差压传感器应用于密封件检测领域中,已电桥〈惠斯登电桥原理图见图1)。膜片的一侧是和
对差压传感器应用于发动机喷油嘴密封性检测、差压被测系统相连接的高压腔,另一侧是低压腔,当膜片
传感器应用在汽车制动主缸的密封性检测等进行了研两边存在压力差而
究-?,其检测原理是通过差压传感器检测出被测件发生形变时,扩散
相对于标准件的压力变化量,从而确定出被测密封件电阻的值发生变化,
体倍货工中领、可以用来信确体经种友电底,共
两点之间的微小压力差;差压传感器还可用于测量电压大小就反映了
汽车发动机尾气颗粒捕集器(DPF)前后通道的尾气膜片所受的压力差
压力差,将压力差信号送至电子控制单元(ECU),值。其输出电压
ECU根据该压力差判断捕集器中颗粒的积聚程度,与硅膜片两侧所受
决定“再生”触发时刻及额外燃料注入量;差压传的压力差值△p的关
图1惠斯登电桥
感器还能应用在液体的液位高度精确测量领域中,如系式为
自来水水位的测量和控制,油田、炼油厂的油罐和储
U。=U.×Sメ△P+U
油槽的油位测量等。因此,对差压传感器的研究式中:为硅膜片上电阻电桥的供电电源电压;S为
具有很大的现实意义,在这一领域已有很多学者对其硅压阻式差压传感器的灵敏度;U。为电桥输出的零
收稿日期:2012-04-19
基金项目:贵州省科学技术基金项目([201]2190)
作者簡介:胡浩(1980-),男,博土研究生,讲师,主要从事传感技术方面的研究。E-mail:baohu05@126.como