透过率实时可调的PDP屏滤光膜.pdf

第35卷第1期
电子器件
Vol 35 No
2年2月
Chinese Joum of Electron Devices
Feb.2012
A PDP Screen Filter with Real-time Adjustable Transmissivity
L Pengfei, CHEN Zexiang RUN Jun, WANG Yudi
(SsehodoopoEetroniclnfonmin,UiniaiyofEiaronieseaneamndTehnsgygfChina,Chengda61004,China)
Abstract: A PDP screen filter with real-time adjustable transmissivity was developed by reactive DC magnetron
sputtered nickel oxide coating which presents good electrochromic feature, to increase the luminance emergence
efficiency of PDP and improve the picture quality at diferent environment. The morphology, crystal phase and
optical transmissivity of sputtered products were characterized by scanning electron microscope(SEM), X-ray
diffraction(XRD and spectrophotometer. The results show hat the nickel content in nickel oxide film decreases with
the increase of oxygen partial pressure when sputtering. The nickel oxide filter visible transmissivity difference
between bleached state and colored state is about 70% while the nickel content is about 45%, which presents an
excellent adjustable transmissivity feature
Key words: PDP; electrochromic; magnetron sputtering; Nio, filter
EEACC.7260
dioi:10.3969/j,sn.1005-9490.2012.01.005
逶过率实时可调的PDP屏滤光膜
李鹏飞,陈泽祥“,任俊,汪于迪
(电子科技大学光电信息学院,成都610054)
摘要:利用NO.薄膜具有优良的电致变色性能,制备了透过率可实时调整的PDP屏滤光膜以提高PDP屏的出光效率,在不
同环境照度下获得更好的图像质量。采用扫描电镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、分光光度计研究了采用磁控溲射法制备的
NiO薄膜中镍的含量对薄膜光电特性的影响。分析测试结果表明:溅射时随着氧分压的提高,氧化镍薄膜的镍含量明显降低;
NiO,薄膜中镍原子含量为45%左右时,NiO,薄膜对可见光透过率的调节能力最强,其最高透过率与最低透过率差值达70%。
关键词:PDP;电致变色;磁控溅射:NiO;滤光膜
中图分类号:TN873.94
文献标识码:A
文章编号:1005-9490(2012)01-0018-04
为了获得较好的图像质感和减少外界光对图像WOっ薄膜一起制备性能优良的电致变色器件(
质量的影响,目前PDP屏的滤光膜的透过率比较低,
氧化镍薄膜的制备方法有很多种,包括喷雾热
从而使PDP的有效光效很低。采用透过率可调的滤解法、溶胶一凝胶法、电化学沉积法、化学气相沉积
光膜可以大幅度提高PDP屏的有效光效。NO,晶体法、真空蒸镀法、电子東沉积法和磁控溅射法3-2。
属于密堆积面心立方的Na?结构,由于出现镍空位磁控戏射法较其他制备方法具有成膜密度高、均匀
或过氧的情况,导致NiO.成为一种p型半导体材料,性好、与衬底的附着力强等优点。本文采用磁控溅
其晶格常数为a=0.4195mm,禁带宽度约3.6eV-4.0射法制备氧化锞滹膜作为PDP的滤光膜,实现PDP
eV。在八面体之间存在一些通道,可以作为H、滤光膜的透过率动态可调,并研究了氧化镍薄膜中
等小离子迁移通道和注入的位置。氧化镍薄膜作镍原子含量对光电特性的影响。
为阳性电致变色材料,具有低能耗、高着色效率和良
好的电化学氯化还原可逆性等特性,在高对比度无视】实验
角显示器件、智能节能窗和无昡光反射镜等领域有着11氧化镍薄膜的制备与測量
广泛的应用前景1。氧化镍薄膜还可以与互补的
氧化镍薄煐的制备采用磁控溅射方法,基片为
项目来源:同家自然科学基金项目(61071022);中央高校基本科研业务费(2808):新世纪优秀人才支持计划(NCIT-09-060
收稿日期:2011-09-20修改日期;2011-10-15
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