SJT 11259-2001 制冷机低温泵总规范.pdf

CS31-550
L97
号:9880-2002
中华人民共和国电子行业标准
SJ/T11259-2001
制冷机低温泵总规范
General specification for refrigerator cryopump
2002-01-31发布
2002-05-01实施
中华人民共和国信息产业部发布
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前
言
本规范参照GB774、GB7776、GBT6070、GBT3163制定,可用于指导该类产品的研制与
生产
本规范由中国电子技术标准化研究所(CESI)归口
本规范起草单位:信息产业部合肥低温电子研究所。
本规范主要起草人:柳汉莹、赵东辉、徐友平、严善仓、田渠
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中华人民共和国电子行业标准
制冷机低温泵总规范
SJ/T11259~-2001
General specification for refrigerator cryopu
1范围
本规范规定了制冷机低温泵的要求、试验方法、质量评定程序及标志、包装、运输、贮存。
本规范适用于制冷机低温泵的研制生产
2引用标准
下列标准所包含的条文,通过在本规范中引用而构成为本规范的条文。本规范出版时,所示版
本均为有效。所有标准都会被修订,使用本规范的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性。
GB191-2000包装储运图示标志
GB/T3163-93真空技术术语
GB5080.7-86设备可靠性试验恒定失效率假设下的失效率与平均无故障时间的验证试验
方案
GB/T6070-1995真空法兰
GB774-87涡轮分子泵.性能测试方法
GB777687蒸汽流真空泵泵液返流率测试方法
3定义
本规范采用下列定义
3.1低温泵 Cryopump
利用低温表面搜集气体的真空泵。
3.2制冷机低温泵 refrigerator cryopump
用封闭循环制冷机提供冷源的低温泵
3降温时间 cooldown time
从室温启动制冷机至冷头温度达到20K时所需的时间。
3.4极限压力 ultimate pressure
泵装有标准试验罩并按规定条件工作,在不引入气体正常工作的情况下,趋向稳定的最低压力
抽气速率 volume fow rate
体积流率
当泵装有标准罩并按规定条件工作时,从试验罩流过的气体流量与在试验罩上指定位置测得的
平衡压力之比。简称泵的抽速。
3.6抽气容量 capacity
中华人民共和国信息产业部2002-01-31批准
2002-05-01实施
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SJT11259--2001
制冷机低温泵的抽速由最大下降至抽速( Smaxe)时所抽的气体量,又称排气量。
4分类与會名
4.1命名
制冷机低温泵系列产品型号命名由以下部分组成:
基本型号
辅助型号
国代表制冷机低温泵名称,以构成名称的两个关鍵字(低温、制冷)的汉语拼音第一个字母
DZ表示
代表制冷机低温泵的规格,以其泵口直径表示,见表1
代表制冷机低温泵设计序号,从第一次改型设计开始,以字母A、B、C…顺序表示。
4.2规格
制冷机低温泵泵口直径推荐尺寸见表1
亵1氯口直径
泵口直径
100
200
250
300
4.3示例
泵口直径为200mm、第三次设计改进的制冷机低温泵命名示例如下
200
设计序号
泵口直径,m
制冷机低温泵代号
5要求
5.1工作环境条件
制冷机低温泵工作环境条件如下:
a)室内运行;
b)环境温度:0C~40°C;
c)相对湿度:<85%。
5.2外观质量与尺寸
5.2.1外观质量
制冷机低温泵外观应光滑平整,无毛刺、裂纹等影响寿命和使用的缺陷
5.2.2尺寸
制冷机低温泵的泵口直径应符合表1的规定。
5.3性能特性
5.3.1降温时间
制冷机低温泵的降温时间应符合表2的规定
5.3.2极限压力
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SJT11259-20
5.3.3执这
制冷机低温泵的抽速应符合表2的规定
5.3.4抽气容量
制冷机低温泵的抽气容量应符合表2的规定。
5.4安全性
5.4.1制冷机低温泵必须配有压力安全装置。
5.4.2在正常工作条件下,制冷机低温泵的电源线与机壳之间的绝缘电阻应大于10MG。
5.5可靠性
制冷机低温泵平均故暲间隔时间(MTBF)大于或等于10000h
2主要技术指标
项目
泵口直径
160
200
250
(150)
(300)
2500
4200
6500
18000
抽速
N/Ar
500/400
800/600
1500120012200/15003000200050003700
L/S
N2/H
S00/150
1000/3002000/600400012005500/17005500/1700
抽气容
Ar/N2
2x10
2.7x10
8x10
2x [O
2.3x10
3x10
Pal
2.0x10
4.0x105
9,0x10
2.5x10
10
极限压力Pa
7
10
-7
10
10
降温时间
≤80
30
≤100
≤100
≤150
≤150
6试验方法
6.1測试条件
6.1.1在整个测试过程中,室温应为15C~25C,温度允许变化tC。
6.1.2测试罩烘烤后,测试系统温度应均匀,为15C~25C。温度变化不超过±3c。
6.2外观质量与尺寸查
以目测和满足精度要求的量具对制冷机低温泵的外观、标志和泵口知己感进行检査应符合
5.2.1、S.2.2、8.及详细规范的要求
6.3降温时间
6.3.1测试装」量
测试用温度传感器(精度应在0.1K之内)、二次仪表、计时器须经国家授权单位鉴定合格,并
在有效期内。
6.3.2測试程序
a)用预抽泵对制冷机低温泵抽空至2Pa后,关闭真空阙
b)启动制冷机,测量冷头温度,即冷头从常温降温至20K时所用的时间。
6.4极限压力
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