台积电气体供应系统.pdf

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Specialty Gas System Introduction
口 System Introduction
Piping Design Concept
specialty Gas Classification(MSDS)
口 Gas Cabinet
ABSGS(Bulk Specialty Gas System)
scrubber
OVMB/VMP
ucomponent
specialty Gas
Ihigh Purity Gas System
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System Introduction
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特氣中央供應系統目的
經由廠務部門統籌建造及操作之氣態化學物質輸迭系統
即廠務部針對晶圓製造過程所須化學物質需求量及其物質
特性,分別建立其特定輸送系統,得以安全的,高品質,丕
中斷的輸迭至生產線供各機台使用.例如:離子植入製程,
擴散製程,蝕刻製程,黃光顯影製程,薄膜製程..等
系統基本流程
1 GMS
洗滌器
氣瓶櫃
調壓盤
Scrubber
Gas Cabinet
VMB/P
製程機
Gas Box
由氣櫃鏰擿供應,再經調壓盤調壓供應至生產機
GMS負責監測GC,VMB/P及 Tool Gas Box內部是否又異常
洩漏,並依標凖程續處理.
Scrubber主要爲處理,更換鋼瓶所產生之廢氣
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System Introduction
氣體依其化學特性區分種類如下
育性氣體( inert gas)
C:4. C2F6. SE6 N20.C4F8 Ne/Kr He/020.5%
CHIF3
毒性( toxic)/腐蝕性( corrosive)氣體:
NF3,CL2,WF6,HBR,BCL3,SIH2CL2(亦具可燃性)
Ne/Kr/E2
可燃性(们 amiable)氣體
SIH4 CH2E2 CO CH4/AR CH3F
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System Introduction
氣體依其操作壓力區分種類如下
矿低壓氣體:
低壓氣體有BCL3,CLF3,WH6,是以液態儲存於鋼瓶內,其在室溫下飽
和蒸氣壓均小於10Psig,若輸迭氣體管線太長極易因經過區琙溫度
不同而冷凝成液態,造成管線阻塞,故氣櫃需就近放置在機臺下方
SUB-FAB低壓氣體爲避冤在管線上冷凝鐍瓶可包加熱套( heater)或
冷卻套( chiller)而其管線翯加裝加熱帶及包保溫棉,加熱之溫度從
供氣首銂鋼瓶至尾銂機臺逐漸提髙,預防氣體冷凝並增髙氣體菾氣
壓,如此更能充分供應氣體,而加熱之溫度控制器需有過熱警報,若
加熱溫度太高,控制器必須自動關閉電源的保護.
矿高壓氣體
除低壓氣體以外之氣體
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System Introduction
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特殊氣體系統之安全防護措施
矿特殊氣體系統之安全防護措施有下列幾種
-火警偵测器
地震儀訊號連結
氣體房負壓控制
滑防灑水系統
曲豆
偵
氣體偵测器之偵測管線裝設位置
裝設處如下所示,而偵测器本身則集中在另一區監控管理,如此
氣體警報時監控人員不必暴露在毒氣環境中
機臺之風管
氣瓶櫃之風管
VMB之風管上
特殊氣體使用端供應端周圍之環境
物品儲存櫃
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