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类型QJ 2040.2-1991 标准漏孔的校准方法 相对校准方法.pdf

  • 上传人:sealevelrise
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    QJ 2040.2-1991 标准漏孔的校准方法 相对校准方法 2040.2 1991 标准 漏孔 校准 方法 相对
    资源描述:
    中华人民共和国航空航天工业部航天工业标准
    QJ2040.2-91
    标准漏孔的校准方法相对校准方法
    主题内容与适用范围
    本标准规定了通道型和薄膜渗氨型标准漏孔漏率的相对校准方法。
    本标准适用于等值标准空气漏率在1.0×106~1.0×10-Pa?m23/s范围内的通道型
    和薄膜渗氮型标准漏孔。
    2引用标准
    QJ2040.1标准漏孔的校准方法绝对校准方法
    3术语
    参照漏孔
    在标准漏孔相?校准方法中,作为对比基准的一种经绝对校准方法校准过的标准湘
    4校准原理
    利用氮质谱检漏仪对漏孔产生的指示值与漏孔漏率Q在一定范固内呈线性关系的
    特性,使被校孔与参照漏孔对氮质谱检漏仪处于相同状态,若参照漏孔的漏率为?
    在检漏仪上产生的输出指示值为び。,则在检漏仪上产生的输出指示值为Uム的被校漏孔
    的漏率Q,可由公式1计算
    式中:22一被校漏孔漏率,Pa?m'/s
    被校漏孔产生的输出指示值
    参照漏孔产生的输出指示值;
    参照漏孔漏率,Pa?m"/s;
    航空航天工业部1991-01-14批准
    1991-08-20实施
    QJ2040.2~-9
    S校准装置
    校准装置主要由氮质谱检漏仪、参照漏孔、被校漏孔、稳压室、压力计、热偶计以及
    机械泵等组成,见图1.
    O
    (a)通道型标准漏孔的校装置
    (b)薄膜渗氨型标准漏孔的校准装置
    图]校准装置示意图
    QJ2040.2-91
    1一质谱检漏仪;2,14一放气;3一被校漏孔;4一参照漏孔
    被校漏孔阀;6一参照漏孔阀
    稳压室;8一热偶计;
    9-压力计;10.-充气;11-校准气源:12一机械泵阀;13一机械泵
    5.1质谱检漏仪的灵敏度应优于1.0x1012Pa?m'/s,输出指示值ひ与漏率Q之间
    的非线性误差,不超过±10%,随机误差,不超过±2%,且仪器应具有粗抽功能
    5.2参照漏孔选用其漏率与被校漏孔漏率为同一址级的经绝对校准方法校准过的分子通
    道型标准漏孔。校准中允许采用降低漏孔入口端压力的方法来获得较小的漏率。
    5.3稳压室的容积不小于2×10m
    5.4压力计的测量范固为1x103~1x103Pa,其误差不超过±0.5%。
    5.5薄膜渗氨型标准滿孔的校准须配有恒温装置
    6校准条件
    6.1被校漏孔岩为薄膜渗氨型漏孔,则必须保持恒温(23±0.5t)。
    6.2环境温度为23±3℃
    6.3校准气体为纯度不低于99.9%的氮气
    6.4参照漏孔须在计量部门规定的有效期内方可使用。
    7校准程序
    7.1通道型标准漏孔的校准
    7.1.1被校濕孔须在真空室中经350~400℃高温烘烤,时间为3~4h
    7.1.2启动氮质谱检漏仪(简称检滿仪),将其调整到检漏状态,并校验其灵敏度
    7.1.3关闭放气阀2,开启检漏仪粗抽阀,对被校漏孔和参照漏孔出」端抽气,使其压
    力不大于1Pa
    7.1.4关闭充气阀10和放气网14,开启机械泵阀12、被校漏孔阀5和参照漏孔阀6,
    对参照漏孔和被校漏孔入口端抽气。使其压力不大于1Pa。
    7.1.5关闭检漏仪粗抽阀,逐渐打开检漏仪节流阀至全开,当真空指示值达到稳定
    后,准备校准
    7.1.6关闭被校漏孔阀5和机械泵闷12,开启充气阀10对参照漏孔人口端充以炷述力为
    P2的校准气体,记下参照漏孔产生的输出指示值R
    7.1.7关闭充气阀10,开启机械泵阀12对参照漏孔入口端抽气,使其压力不大于
    1Pa,然后打开被校漏孔阀5,重新对被校漏孔入口端抽气。
    7.1.8关闭参照漏孔阀6和机械泵阀12,开启充气阀10,对被校漏孔入口端究以压力
    为P2x的校准气体,记下被校漏孔产生的输出指示值?
    QJ2040.2-91
    7.1.9重复7.1.6~7.1.8条。每校一支漏孔,测量次数n不少于5次。
    7.1.10被校漏孔的漏率按公式2、3计算:
    LH =S> LA P.
    2.7Q
    Q
    式中:2-被校漏孔在标准状态(10Pa,23℃)下的氮漏率,Pa?m2'/s
    Q,被校漏孔在标准状态下的空气漏率,Pa?m3/
    n一测量次数;
    UA一第次测得的参照漏孔产生的输出指示值;
    第次测得的被校漏孔产生的输出指示值;
    ②。一参照漏孔在标准状态下的空气漏率,Pa?m3/s;
    第次测量时,参照漏孔入口端所充氮气压力,Pa;
    ali
    第次测量时,被校漏孔人口端所充気气压力,Pa。
    7.2薄膜游氮型标准漏孔的校准
    7.2.1按7.1.2条执行,
    7.2.2关闭放气阀2,打开被校漏孔阀5,开启检漏仪粗抽,对被校漏孔和参照漏孔
    出山端抽气,使其压力不大于1Pa
    7.2.3关闭充气泗10和放气阀14,开启机械泵阀12和参照漏孔阀6,対参照漏孔入
    口端抽气,使其压力不大于1Pa
    7.2.4按7.1.5条执行
    7.2.5关闭被校漏孔阀5和机械泵网12,开启充气阀10;对参照漏孔入口端充以压力
    为P2的校准气体,记下参照漏孔产生的输出指示值U。。
    7.2.6关闭充气阀10,开启机械泵阀12对参照漏孔入口端抽气,使其压力不大于
    7.2.7开启被校漏孔网5,待被校漏孔产生的输出指示值稳定后,记下由被校漏孔产生
    的输出指示值U
    7.2.8重复7.2.5~7.2.7条。每校一支漏孔,测量次数n不少于5次。
    7.2.9被校漏孔的氨漏率按公式4计算
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