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ISO 14644-1 洁净室及相关受控环境—第1 部分空气洁净度的分级(中文版).pdf

  • 上传人:eila
  • 文档编号:41800676
  • 上传时间:2018-12-25
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    ISO 14644-1 洁净室及相关受控环境第1 部分空气洁净度的分级中文版 14644 洁净室 相关 受控 环境 部分 空气 洁净 分级 中文版
    资源描述:
    前言
    ISO为全球各国标准化团体(IS0会员团体)的联合会。其国际标准工作
    般是由ISO各技术委员会执行。每个会员团体若对技术委员会的某一课题感
    兴趣,均有权作为此技术委员会的代表。任何与ISO保持联系的国际组织,无
    论是政府的还是非政府的组织,同样可参加此项工作。ISO与国际电气技术委员
    会(EC)在电气技术标准化方面进行紧密合作。
    国际标准草案由其技术委员会认可后送各会员团体进行传阅,以待表决。
    草案作为国际标准颁布至少需要75%的会员团体投赞成票。
    国际标准TSO14644-1由 ISO/TC209洁浄室及相关受控坏境技术委员会提
    ISO14644在浩净室及栩关受控环境的总标题下,由下述各部分组成
    第1部分:空气洁净度等级划分
    第2部分:为认证与ISO14644-1连续的相符性的测试和监测技术要求
    第3部分:计量和测试方法
    第4部分:设计、施工和启动
    第5部分:运行
    第6部分:术语和定义
    第7部分:増强的洁净装置
    用户应注意,第2至第7部分的标题为第1部分发行时的工作标题。如果从工作
    计划中删除了一部分或儿部分,剩余部分可以重新编写
    附录B和C为ISO14644的组成部分,附录A、D、E和F仅作资料用。
    引言
    沾浄室及相关受控环境保证气中悬浮粒子被控制在合适的级别,以确保完成对污染敏
    感的有关活动。以下行业的产品和工艺均得益于空气中浮污染物的控制:航天、微电子
    医约、医疗器械、食品和保健品。
    ISO14644的本部分指定ISO分级的各级别,以此作为洁浄室及相关受控环
    境内空气洁浄度的技术要求。本部分不仅确定了空气中悬浮粒子测试的程序,而
    且确定了测试的标准方法
    为划分等级,ISO14644的本部分仅限于确定粒子浓度限值用的指定的粒径
    范団。本部分还提供了标准协议,以依据大于或小于指定分级用粒径范围的悬浮
    粒子浓度等级标识。
    ISO14644的本部分为洁浄室和污染控制系列标准中的一个标准。除悬浮粒
    子洁浄度之外,还有许多因素必须在洁浄室及其受控环境的设计、技术要求、运
    行和控制中予以考虑。这些内容在ISO/TC209技术委员公制定的其它国际标准
    中有详细论述。
    在某些情况下,有关管理机构可能会規定动作一些补充的政策或限制。这
    就可能要求对标准的测试程序作适当的修改。
    洁净室及相关受控环境
    第1部分:
    空气洁净度的分级
    1范围
    ISO14644的本部分是根据空气中悬浮粒子浓度米划分洁净室及相关受控环境中空气洁
    净度的等数。只有在0.1um-0.5um的阈值(低于阈值)粒径范围内呈累积分布的粒子群体
    才可供分级用
    ISO14644的木部分不包含0.1um-0.5um规定粒径范围以外的粒子群体的分级。超微
    粒子(<0.1um)和大粒子(>05um)可分别以U描述符和M描述符来量化粒子群体。
    ISO14644的本部分不能川于表征悬浮粒子的物理性、化学性、放射性或生存性。
    注粒径遵纪守法增范围内粒子浓度的实际分布情况通常是不可预测的,并且是随着时间而变化的
    2定义
    下述定义适用于1SO14644的本部分
    2.1通则
    洁净室
    空气悬浮粒子浓度受控的房间、房间的建设和使用方式要尽可能减少室内引入、产生和
    滞留粒子,室内其它相关参数如温度、湿度和压力按要求进行控制
    洁净区
    悬浮粒子浓度受控的限定空间。空间的建设和使用方式要尽可能减少区内引入、产生和
    滞留粒子,空间内其它相关参数如温度、湿度和压力按要求进行控制
    注:该区可以是开放式或是密闭式,可以位于或不位于治净室内。
    设施
    洁浄室或一个或多个洁净区,连同所有相关的构筑物、卒气处理系统、动力和公川设施。
    分级
    适用于一个的悬浮粒子清浄度等级(或规定或确定该等级的过程),以ISO等级N米表
    示,它表示所考虑的粒径的最大允许浓度(以pem2空气计)。
    注1此浓度用3.2中的公式(1)定
    注2按照本国际标准进行分级,限定在ISO1级至ISO9级
    注3适用于按本国际标准分级的粒径(低阅值)范围限于0.1um-0.5m。分级范围之外的阈值粒径之
    空气沽浄度可以用U或M描述符(见2.3.1或2.3.2)来说明和规定(但不是分级)。
    注4S(O分级可以规定中间等级号,用最小允许递增值0.1,规定为自ISO)1.1至8.9级。
    注5等级可以按3种占用状态(见2.4)规定或实现。
    2.2悬浮粒子
    粒子
    川于空气洁浄度分级的固体或液体物,其粒径阈值(低限)范围在0.1um-0.5m,并
    早累积分布。
    粒径
    由给定的粒径测定仪响应出(与被测粒子作出的响应当量)的球体的直径。
    注离散粒子计数和光散射仪器使用当量光学直径
    粒子浓度
    单位体积空气中的单个粒子数。
    粒径分布
    作为粒径函数的粒子浓度之累积分布
    超微粒子
    当量直径小于0.1um的粒子。
    大粒子
    当量直径大于0.5um的粒子
    纤维
    长宽比等于或大于:10的粒子。
    3描述符
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